SSY-10020
ロード/アンロードシステム
LED用をはじめとする新しい搬送方式のウェーハ用搬送システムで、複数枚処理用のサセプタ・トレイへのウェーハの自動供給、自動回収が可能です。 ウェーハ用、サセプタ用にそれぞれアライナを搭載し、ウェーハのオリフラ位置やサセプタのセンタリング及びインデキシングを行います。
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
搬送システム×株式会社ジェーイーエル - メーカー・企業と製品の一覧
搬送システムの製品一覧
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SSY-21000カセット搬送システム
カセット搬送システム
チルト機構によりウェーハのズレがなくスムーズなカセット搬送が可能 様々なカセット仕様にもカスタマイズ対応 バッチや枝葉処理の装置どちらにも対応
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
SSY-11000
450mmウェーハ搬送システム
450mmウェーハの高速搬送に使用できます。 走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。 ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mmまで対応可能。 走行軸を採用し、高速で4FOUP（450mmウェーハ）へアクセス可能 可搬重量：アーム第3関節換算5kgf(チャック、ワーク含む） ツインアーム採用により、ウェーハ交換時間の短縮 壁掛けタイプ走行軸により、低パスラインを実現 動作モニター装備 制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
