カセット搬送システム
チルト機構によりウェーハのズレがなくスムーズなカセット搬送が可能 様々なカセット仕様にもカスタマイズ対応 バッチや枝葉処理の装置どちらにも対応
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基本情報
被搬送物（※1）200mmウェーハ用オープンカセット（25段） 動作範囲アーム (R軸)上下ストローク (Z軸)スライダストローク (X軸)カセットチルト角度 (チルト軸) 590mm −350mm200mm980mm90度 搬送速度アーム (R軸)※カセット未保持状態上下ストローク (Z軸)スライダストローク (X軸)カセットチルト角度 (チルト軸) 290mm/sec80mm/sec130mm/sec40度/sec カセット保持エア駆動によるエッジグリップ式チャックによる保持 繰り返し精度±0.2mm 質量システム本体 約160kg（設置フレームを除く） ユーティリティエア：カセットグリップ駆動用 0.25±0.05MPa 各ワークサイズ、カセット仕様にも各種対応致します。仕様につきましてはお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造装置など
企業情報
◆信頼を大切にします ご満足いただける製品の提供はもとより、まず「お客様」「取引先」との信頼を経営の基本に据え、大切にしていきたいと考えております。 ◆心 「社員の働き甲斐、生き甲斐が無い職場に心のこもったサービスは生まれない。」との認識に立ち、小さな組織で隅々まで心の通いあった会社創りを目指しています。 ◆スピード どんなに良いものでも必要に間に合わなければ、良いものではない。 ◆技 長年の経験、蓄積したデータ、開発した技術により、ニーズを的確に理解した物創りができます。 ◆お客様の信頼と満足 「心」「技」一体で、「ＪＥＬ製品を導入してよかった」という、最終的なご満足をいただけるものと確信します。