450mmウェーハ搬送システム
450mmウェーハの高速搬送に使用できます。 走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。 ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mmまで対応可能。 走行軸を採用し、高速で4FOUP（450mmウェーハ）へアクセス可能 可搬重量：アーム第3関節換算5kgf(チャック、ワーク含む） ツインアーム採用により、ウェーハ交換時間の短縮 壁掛けタイプ走行軸により、低パスラインを実現 動作モニター装備 制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用
この製品へのお問い合わせ
基本情報
被搬送物～450mmシリコンウェーハ 動作範囲ワーク中心距離旋回角度 (θ軸)上下ストローク (Z軸)スライダストローク (X軸) 940mm340度300mm2000mm 搬送速度 (平均速度)アーム (R軸)旋回角度 (θ軸)上下ストローク (Z軸)スライダストローク (X軸) 775mm/sec280度/sec300mm/sec1300mm/sec 搬送速度 (最高速度)アーム (R軸)旋回角度 (θ軸)上下ストローク (Z軸)スライダストローク (X軸) 1600mm/sec550度/sec500mm/sec2500mm/sec ウェーハ保持方式真空吸着, 落とし込み, エッジグリップチャック, ベルヌーイチャック クリーン度ISOクラス2（ISO14644） (駆動部排気時搬送レベル) 質量ロボット本体 約60kg システム全体 約300kg ユーティリティ電源：AC200V±10% 30A 真空：-73kPa以上
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造装置など
企業情報
◆信頼を大切にします ご満足いただける製品の提供はもとより、まず「お客様」「取引先」との信頼を経営の基本に据え、大切にしていきたいと考えております。 ◆心 「社員の働き甲斐、生き甲斐が無い職場に心のこもったサービスは生まれない。」との認識に立ち、小さな組織で隅々まで心の通いあった会社創りを目指しています。 ◆スピード どんなに良いものでも必要に間に合わなければ、良いものではない。 ◆技 長年の経験、蓄積したデータ、開発した技術により、ニーズを的確に理解した物創りができます。 ◆お客様の信頼と満足 「心」「技」一体で、「ＪＥＬ製品を導入してよかった」という、最終的なご満足をいただけるものと確信します。
