更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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付着物除去・金属不純物低減！ご使用の用途に応じた洗浄をご提案
当社では、特殊ウェハの洗浄（再生）を行なっております。 ザグリ形状などの「治具ウェハ」とアルミナ、石英、SiC、AlNなどの 「特殊材料ウェハ」が対象となります。 ご使用の用途に応じた洗浄をご提案します。その他、各種ウェハの 洗浄についてもご相談ください。 【概要】 ■対象 ・治具ウェハ：ザグリ形状など（材質 Si） ・特殊材料ウェハ：アルミナ、石英、SiC、AlN他 ■対応サイズ：12インチ ■洗浄内容 ・付着物除去（メタル膜、有機物） ・金属不純物低減（5×E10～1×E12 atoms/cm2台） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造プロセスなどに用いられている！環境負荷が低いこともメリットの一つ
光洗浄は、ドライ洗浄法の一つでレーザー光を用いてガラスやウェハなどの 表面に付着した有機物を除去する技術です。 紫外光は酸素と反応して活性種を生成し、有機物を酸化して気化させます。 そのため有機物汚染に対しては有効ですが、無機物汚染に対しては効果的 ではなく、ウエット洗浄と組み合わせて使用されることが多いです。 また、化学洗浄に比べて環境負荷が低いこともメリットの一つにあげられます。 【特長】 ■ドライ洗浄法の一つでレーザー光を用いてガラスやウェハなどの 表面に付着した有機物を除去する技術 ■半導体製造プロセスなどに用いられている ■化学洗浄に比べて環境負荷が低い ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
同じ圧力なら水の使用量が1/3、同じ流量なら圧力が3倍、少ない流量で繰返しの衝撃。マスクやガラス洗浄ウェハ研磨後スラリー除去に。
使用する水の量が少なく水膜のできにくい 既存装置にも後付可能な洗浄ノズルユニット 最大30Hzで駆動する洗浄ノズル 5〜10MPaの高圧水を発生させるポンプ コントロールユニットの組合せ 従来の連続スプレーは、自ら作った水膜の上からスプレーで圧力を加えており、洗浄力を上げる＝圧力を上げる＝流量が増え水膜も厚くなる、という傾向がありますが、DP－Gunは間欠スプレーのため、同じ圧力（＝衝撃）でも少ない流量となり、水膜ができにくく、スプレーした水が対象物へダイレクトに衝撃を加えます。 断続スプレーが繰り返し衝撃を加えることで、被洗浄物の異物除去、マスク洗浄、カセット等の立体物（細い溝や入り組んだ形状）の洗浄などで、優れた洗浄効果を発揮します。 ポンプユニットはノズルの開閉による流量変化に合わせたフィードバック制御を行うことで、圧力調整での捨て水が少なく安定した水圧コントロールを実現しています。 ※液体の一定量をスプレーする 測量＋スプレー塗布についてもご相談ください ※ノズル、ポンプは定期的なメンテナンスが必要となります。
同じ圧力なら水の使用量が1/3、同じ流量なら圧力が3倍、少ない流量で繰返しの衝撃。マスクやガラス洗浄ウェハ研磨後スラリー除去に。
使用する水の量が少なく水膜のできにくい 既存装置にも後付可能な洗浄ノズルユニット 最大30Hzで駆動する洗浄ノズル 5〜10MPaの高圧水を発生させるポンプ コントロールユニットの組合せ 従来の連続スプレーは、自ら作った水膜の上からスプレーで圧力を加えており、洗浄力を上げる＝圧力を上げる＝流量が増え水膜も厚くなる、という傾向がありますが、DP－Gunは間欠スプレーのため、同じ圧力（＝衝撃）でも少ない流量となり、水膜ができにくく、スプレーした水が対象物へダイレクトに衝撃を加えます。 断続スプレーが繰り返し衝撃を加えることで、被洗浄物の異物除去、マスク洗浄、カセット等の立体物（細い溝や入り組んだ形状）の洗浄などで、優れた洗浄効果を発揮します。 ポンプユニットはノズルの開閉による流量変化に合わせたフィードバック制御を行うことで、圧力調整での捨て水が少なく安定した水圧コントロールを実現しています。 ※液体の一定量をスプレーする 測量＋スプレー塗布についてもご相談ください ※ノズル、ポンプは定期的なメンテナンスが必要となります。
超臨界二酸化炭素試験装置による抽出試験を実施！
株式会社アイテックでは、マルチユースCO₂試験機を用いた、 無水・無溶剤抽出試験などの受託試験を行っています。 健康食品、医薬品、香料等の有効成分を原材料から 超臨界二酸化炭素を用い、抽出する技術で 二酸化炭素は気化するため乾燥工程が不要です。 また、半導体等の洗浄にも用いられます。 当試験は、国公立大学、国立研究機関、食品メーカー、医療品メーカーなど、 その他様々な業種での実施実績がございます。 お客様との打ち合わせを綿密に行い、ご希望に沿った試験プランを提案いたします。 試験は大阪の当社研究所内で実施し、お客様の立会いも可能です。 記載以外の内容でも超臨界CO2場で試したい事がありましたらご相談ください。 【受託内容詳細】 ■医薬品、漢方等の有効成分の無水、無溶剤抽出試験 ■精密機械、ウェハー等の無水、無溶剤洗浄試験 ■ポーラス構造母材への薬剤浸透試験 ■各種乾燥試験 ■各種染色試験 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※下記より「ご提案シート」をダウンロードいただけます。
