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付着物除去・金属不純物低減！ご使用の用途に応じた洗浄をご提案
当社では、特殊ウェハの洗浄（再生）を行なっております。 ザグリ形状などの「治具ウェハ」とアルミナ、石英、SiC、AlNなどの 「特殊材料ウェハ」が対象となります。 ご使用の用途に応じた洗浄をご提案します。その他、各種ウェハの 洗浄についてもご相談ください。 【概要】 ■対象 ・治具ウェハ：ザグリ形状など（材質 Si） ・特殊材料ウェハ：アルミナ、石英、SiC、AlN他 ■対応サイズ：12インチ ■洗浄内容 ・付着物除去（メタル膜、有機物） ・金属不純物低減（5×E10～1×E12 atoms/cm2台） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
キャリーバック仕様で持ち運びが簡単！軽量かつ狭い現場でも対応可！
レーザークリーニングとは金属表面にレーザーを照射し、サビ・油分・塗装を取り除く最新レーザー洗浄技術です！ 素材に傷を付けにくく、薬品等を使用せず管理しやすいアイテムです。 ■ 特長 ・金属表面にダメージを与えずにクリーニングが可能！ ・化学薬品などは一切使用しないため、環境にもやさしい！ ・レーザーヘッド内部のガルバノミラーで、レーザー照射範囲を最大200mmまで調整可能！ ・短時間で広範囲のクリーニングにも対応！ ・AC100V電源を入れれば、誰でも簡単に使用できる！ ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、当社HPよりお問い合わせください。
治具・部品のメンテナンスは、品質維持から改善へ。溶射＋洗浄技術で、母材を傷めず高品質に再生します。
弊社グループ会社トムコでは、長年の実績を誇る洗浄・再生技術に加え、粉末パウダーを溶融し素材表面にコーティングする表面改質技術である「溶射」の完全内製化を実現しています。 【特徴】 ■高緻密・高絶縁特性・耐摩耗性・耐食性を実現 ・治具・部品の素材や形状などに最適化された溶射条件のもとで、高緻密・高絶縁特性・耐摩耗性・耐食性を実現するコーティング技術を提供致します。 ■部品や治具などを高品質に再生 ・自社クリーンルームでの超音波超純水洗浄から、減圧乾燥、真空パッキングまでの一貫した生産・管理体制で、真空チャンバー内に組み込まれている部品や治具などを高品質に再生します。 ■超純水洗浄、真空パックにも対応 ・視認できない汚れや残留物を除去する精密洗浄により、精密機械分野などお客様の生産性の向上をサポートします。 ■生産性の向上をサポート ・常に評価品と同等の品を納品する再現性の高い技術力を提供します。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
ミクロの汚れをすっきりキレイ
【 当社の受託精密洗浄プロセス 】 ▼炭化水素系溶剤超音波洗浄 安定した洗浄力で確実な精密洗浄を実現！ ▼クリーンルーム(1000)内純水超音波洗浄 純水（0.2μS/cm以下）を使用し、微細な汚れまで徹底的に除去！ ▼クリーンオーブン乾燥 クリーン環境での乾燥により、洗浄後のコンタミネーションを防止！ ▼クリーンルーム(1000)内脱気、シール梱包 清潔な環境での梱包により、製品を安全にお届けします！ 付着膜や重金属などの剥離や洗浄に対応致します。 鉛などの洗浄も受託可能です。 廃棄処理は専門業者に委託しており、責任をもって完全処理致します。 さらにHojitsuグループ独自開発した世界初の表面処理ERINをすることで、洗浄短納期化や製造装置部品の長寿命化も期待できます。
