【表面処理】耐プラズマエロージョン 半導体製造装置関連
半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマエロージョンを付与
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマエロージョン ■施工実績:半導体製造装置関連
- 企業:富士岐工産株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年07月30日~2025年08月26日
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半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマエロージョンを付与
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマエロージョン ■施工実績:半導体製造装置関連
【絶縁性向上】半導体製造装置部品へアルミナ溶射
【効果】絶縁性、耐プラズマ性向上のアルミナ溶射技術 【課題】 半導体製造装置部品において、静電気障害を防止する解決策としてアルミナ溶射技術が利用されてきたが、高純度被膜である事、及び短納期対応が課題であった。 【解決策】 当社のアルミナ溶射により高純度被膜を生成、短納期にも対応しました。 【当社の売り】 当社のプラズマ溶射設備は、単発品や試作品への対応を得意としております。 ※ネット上には、出していない資料もございます。 詳しくはPDFをダウンロードいただくかお気軽にお問合せください。 ※導入事例資料はカタログのアイ・シイ・エス導入事例集からダウンロード可能です。
溶けた粒子が超高速で母材に激突してコーティング!産業機械、科学機械装置などに好適
『プラズマ溶射』は、セラミック、サーメット、炭化物、 金属、合金等なんでも溶射が可能です。 1000℃以上の熱プラズマで溶射材の粒子を溶かし、溶けた粒子が 超高速で母材に激突してコーティングします。 産業機械、科学機械装置、自動車、製鉄・製鋼機械などに ご活用いただけます。 【特長】 ■セラミック、サーメット、炭化物、金属、 合金等なんでも溶射が可能 ■1000℃以上の熱プラズマで溶射材の粒子を溶かす ■溶けた粒子が超高速で母材に激突してコーティング ■産業機械、科学機械装置、自動車などに好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
溶射加工の事例です。
・繊維機械 ・製紙機械 ・印刷機械 ・石油化学プラント ・プラスチック製造機械 ・フィルム製造機械 ・ゴム製造機械 ・窯業・土石製品製造機械 ・製鉄機械 ・製缶機械 ・電線・ケーブル伸線機械 ・金属製品製造 ・汎用器械器具製造 ・蒸気機関・タービン・水力発電装置 ・ポンプ・圧縮機器製造機械 ・食品機械 ・紙・パルプ機械 ・フィルムコンバーティング機械 ・工作機械 ・半導体製造装置 ・ポンプ機械 ・電子機械 ・発電機械 ・内燃機関 ・プラスチック加工機械 ・自動車 ・船舶 ・航空機 ・産業用車両 ・工業用ポンプ ・生産用機械器具 ・一般産業用機械・装置 ・各種製造機械
様々な材料を溶射皮膜として選定でき、撹拌物によって材料を提案します。
溶射とは、金属やセラミックス、サーメットなどをさまざまな熱源を用い溶融噴射し、基材表面に材料を噴きつけて機能皮膜を形成する表面改質技術です。 異物の混入を嫌う撹拌装置内面に、異物とならない組成の溶射皮膜を形成させて撹拌装置基材成分の混入を防ぐことができます。 攪拌する製品との相性や使用温度・雰囲気などを考慮して、溶射仕様を選定する必要があります。 溶射は、さまざまな組成の材料を溶射皮膜として選定できるので、何を撹拌するかによって溶射材料を提案させて頂きます。 【特徴】 ○接粉部へセラミックスやタングステンカーバイドを 溶射することでの耐摩耗性向上 ○清掃、メンテナンスなどの時間短縮、基材劣化の防止 ○内容物への金属コンタミネーション防止 詳しくはお問い合わせください。
半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマ性を付与させます
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマ性付与
半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、真空蒸着時のシールドからの発塵を抑えることができます
■溶射材料:アルミニウム ■溶射方法:アーク溶射 ■施工効果:真空蒸着時のシールドからの発塵防止
形状はφ1500×5000L!Ni系合金溶射+封孔処理+研磨加工の溶射仕様で施工しました!
大阪富士工業は、製紙業界向けに各種ロールを施工しています。 『ドライヤーロールへの溶射』の事例をご紹介します。 形状はφ1500×5000Lで、防錆の性能を要求。 水分プロファイル装置(板紙)2郡♯11の使用条件でした。 Ni系合金溶射+封孔処理+研磨加工の溶射仕様で施工しました。 【事例概要(一部)】 ■品名:ドライヤーロール ■形状:φ1500×5000L ■要求性能:防錆 ■使用条件:水分プロファイル装置(板紙)2郡♯11 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
部分的な摩耗部の溶射補修!溶射仕様は13Cr系ステンレスでH23.4~使用中です!
大阪富士工業は、製紙業界向けに各種ロールを施工しています。 『ペーパードライヤーロールへの溶射』の事例をご紹介します。 形状はφ1500×5000Lで、形状復元の要求。水分プロファイル装置 (板紙)2郡♯11の使用条件でした。 溶射仕様は13Cr系ステンレスでH23.4~使用中です。 【事例概要(一部)】 ■品名:ペーパードライヤーロール ■形状:φ1500×5000L ■要求性能:形状復元 ■使用条件:水分プロファイル装置(板紙)2郡♯11 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
溶射で絶縁・除電皮膜を形成! -表面処理・コーティング技術-
▶表面処理・溶射・コーティングならトーカロにお任せください! 溶射皮膜で基材の表面に絶縁性・除電性を付与することが可能です。 ご希望の性能に合わせて最適な材料をご提案しますので、お気軽にお問い合わせください。 【特徴】 ・希望の絶縁破壊値に合わせて皮膜厚みを選択可能 ・体積抵抗率や表面抵抗率をコントロール可能 など 【本技術のねらい】 ・各種絶縁ロール ・ベアリング ・電極部材 ・半導体製造装置部品 等 【資料掲載内容】 ●絶縁皮膜と除電皮膜(3種類) ●各種データ ・表面抵抗率 ・体積抵抗率 ・皮膜膜厚と破壊電圧の関係 ●溶射とは? ・溶射の特徴 ・溶射工程 【資料ダウンロードはこちら】 https://tocalo-download.satori.site/tpr017-00?source=ipros
コストパフォーマンスは追求できる
溶射装置メーカー”エアロプラズマ社”と日本セラテック社セラミックス材料技術のコラボレーションにより、超緻密・高耐電圧・耐プラズマ特性等無限の可能性を秘めたセラミックス溶射技術を確立しました。
施工機器は延べ12,000基!お客様の機器使用環境に好適な溶射仕様をご提案致します
当社は、溶射を専門とする表面処理加工会社です。 大手石油精製・石油化学プラント顧客様に対して、脱硫装置熱交の 硫化水素応力割れ対策としての溶射施工実績が数多くあります。 お客様の機器使用環境に好適な溶射仕様をご提案致しますので、 お気軽にご相談ください。 【特長】 ■現地施工ができる ■部分的に施工ができる一方、長大な構造物にも施工可能 ■損傷部に対し、局部的修復施工ができる ■クラッド・溶接肉盛に比べ、比較的短期間で施工ができる ■塗装に比べ、熱膨張係数が機器の母材に近いので膨れが生じにくい ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい
シンコーメタリコンは、すべての溶射プロセスを保有します。
各種産業機械やシステムは、極めて苛酷な環境や条件にも耐えうるように設計する必要があります。 その意味で“溶射”は製品性能に欠くことのできない表面改質技術です。 溶射技術は、防せい・防食に対する鉄鋼構造物などの基材保護及び化学機器装置などの耐薬品に対する環境遮断を目的とした溶射と、各工業分野の設備、装置などにおける耐摩耗、耐熱遮熱、絶縁などを目的とする機能的な溶射に区分されます。 溶射とは、金属やセラミックス、サーメットなどをさまざまな熱源を用い溶融噴射し、基材表面に材料を噴きつけて機能皮膜を形成する表面改質技術です。 【特徴】 ○広範囲の基材に溶射加工ができ、幅広い溶射材料選択が可能 ○基材に熱影響を与えない ○基材の寸法に制限がない ○必要とする範囲のみの加工が可能 ○現地施工が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
溶射加工のスペシャリスト集団。アーク溶射、前処理から仕上まで各加工にも対応!
2本の金属ワイヤ間でアーク放電(電気スパーク)を発生させ、この放電エネルギーによりワイヤを溶融させる電気式溶射の一種である。溶融速度に合わせてワイヤを送給し、圧縮空気により溶融金属を微粒化し、基材に吹き付けて連続的に成膜する。フレーム溶射法に比べて溶射能力(時間当たりの溶射成膜量)が大きいこと、溶射材料が高温で十分に溶融されているため、基材への密着性に優れていることなどの特徴がある。アーク溶射装置の電源は交流でも可能であるが、アークの安定性の点で直流が利用される。ワイヤは電極となるので溶射材料は電気伝導性の材料に限られる。
表面処理の一種。基材表面に付着・積層させて皮膜を形成する技術
溶射とは溶接・メッキ・PVDなどと並ぶ表面処理の一種です。 可燃ガスによる燃焼炎やアークによる電気エネルギーを用いて、材料を 溶融させて吹き飛ばし、基材表面に付着・積層させて皮膜を形成する技術。 当社ではエリコンメテコ社の溶射装置及び材料を用いて完全な メテコ溶射方式を採用しております。 【概要】 ■基材表面に付着・積層させて皮膜を形成する技術 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。