高周波加熱式拡散接合炉
高周波加熱式拡散接合炉
【用途】 30パイまでの各種金属類の拡散接合に使用。 【仕様】 加圧能力:1Torr 常用圧力:10-4Pa 常用加熱温度:1300℃ 加熱長:30パイx100mm 高周波電源:20KW
- 企業:アトーテック 株式会社
- 価格:応相談
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高周波加熱式拡散接合炉
【用途】 30パイまでの各種金属類の拡散接合に使用。 【仕様】 加圧能力:1Torr 常用圧力:10-4Pa 常用加熱温度:1300℃ 加熱長:30パイx100mm 高周波電源:20KW
ボイドレス、フラックスレスリフローに対応したバッチ式の真空リフロー炉です。開発から量産に対応した各種ラインナップを提供します。
従来の常圧リフローでは、はんだ内に残るボイド領域が20%程度あるため、接合強度の劣化を招きます。セントロサーム社(ドイツ)のバッチ式真空リフロー炉「c.VACUNITEシリーズ」は、真空を用いることでボイド領域を2%未満に低減することが可能です。また、100%水素やギ酸などの還元効果ガスを用いることで、フラックスレスリフローに対応可能です。オプションとして、MWプラズマを用いた接合表面のプラズマクリーニングにも対応しております。