高周波加熱式拡散接合炉
高周波加熱式拡散接合炉
【用途】 30パイまでの各種金属類の拡散接合に使用。 【仕様】 加圧能力:1Torr 常用圧力:10-4Pa 常用加熱温度:1300℃ 加熱長:30パイx100mm 高周波電源:20KW
- 企業:アトーテック 株式会社
- 価格:応相談
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高周波加熱式拡散接合炉
【用途】 30パイまでの各種金属類の拡散接合に使用。 【仕様】 加圧能力:1Torr 常用圧力:10-4Pa 常用加熱温度:1300℃ 加熱長:30パイx100mm 高周波電源:20KW
ボイドレス、フラックスレスリフローに対応したバッチ式の真空リフロー炉です。開発から量産に対応した各種ラインナップを提供します。
従来の常圧リフローでは、はんだ内に残るボイド領域が20%程度あるため、接合強度の劣化を招きます。セントロサーム社(ドイツ)のバッチ式真空リフロー炉「c.VACUNITEシリーズ」は、真空を用いることでボイド領域を2%未満に低減することが可能です。また、100%水素やギ酸などの還元効果ガスを用いることで、フラックスレスリフローに対応可能です。オプションとして、MWプラズマを用いた接合表面のプラズマクリーニングにも対応しております。
医療用X線、非破壊検査用装置、質量分析装置などで活躍中
■モリブデン‐ルテニウムろう材開発 このろう材は融点が高いため、高融点金属同士の接合(ろう付け)に使用されますが、市販されていないため、独自に材料を調達する必要がありました。 作製したろう材を用い、タングステン同士のろう付けを試みました。 ※写真左側は多孔質タングステンです 写真1:CCDカメラによって観察。接合部に大きな隙間が生じてしまった失敗例です。実際のところ、なかなかうまく出来ませんでした。 写真2:成功例!(写真中央が接合部) 写真3:SEMによる反射電子像です。ろう材によって隙間なく接合できていることが分かります。 写真4:元素マッピング。接合部が明確になりました。左側は多孔質のためか、ろう材が拡散しているのでしょうか。 ◆弊社では最大【2700℃】の超高温熱処理炉を保有。 さまざまな雰囲気に対応ができる多数の炉を持ち、ご要望に合わせ熱処理炉を駆使したソリューションをご提案しております。 ・コーティング ・ろう付け ・機能性材料開発 ・焼結 ・残留応力除去 ・結晶粒サイズ制御 ・酸化除去 ・コンタミネーション除去 ・脱ガス ・脱脂 …など