照射装置×株式会社あすみ技研 - 企業1社の製品一覧
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R＆D用スキャン式エキシマ照射装置レンタル
100V電源ユーティリティだけでエキシマ洗浄表面改質の実験検証が可能です。
172nmを主波長としたエキシマ照射ユニットとスキャン用ステージ、オゾン分解装置を一体化し、100Vの電源のみで、簡単にかつ安全にエキシマ表面改質の実験が出来る装置です。 【特徴】 スキャン用ステージにより従来より大面積の処理が可能。 オゾン分解装置一体型で、排気設備などが不要。
- 企業：株式会社あすみ技研
- 価格：1万円 ~ 10万円
