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真空計×バキュームプロダクツ株式会社 - 企業1社の製品一覧

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水晶・ペニング冷陰極真空計

放電の停止による制御出力の誤動作をなくした安全な設計!複合型広帯域真空計のご紹介

『水晶・ペニング冷陰極真空計』は、大気圧から超高真空までを一つの ゲージヘッド・コントローラーで測定可能です。 水晶振動子の共振抵抗値が気体の摩擦による抗力が、圧力とともに 変化することを利用した水晶真空計と、磁場中の冷陰極放電電流が 圧力にほぼ比例することを利用したベニング真空計を一つのゲージヘッド、 一つのコントローラに組込んでいます。 高い圧力での電極の汚染が少なく、また放電の停止による制御出力の 誤動作をなくした、高信頼性でかつ安全な設計になっています。 【特長】 ■大気圧から超高真空までを一つのゲージヘッド・コントローラーで測定可能 ■ぺニング真空計部、高電圧は2.5x10^-2Torr以下で印加されるため、  高い圧力での電極の汚染が少ない ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 真空機器

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