1～2 件を表示 ／ 全 2 件
6.8インチSEMI規格ウェハ対応！基本移載パターンが選択できる装置をご紹介
当製品は、カセットが通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応可能で相互間で移し替えることができる装置です。基本移載パターンは、同一スロット移載、スロット上下逆転移載、指定スロット移載などが選択可能。また、オプションとして、スロット指定レシピやウェハIDリーダーの搭載も可能です。 【特長】 ■6.8インチSEMI規格ウェハ対応 ■カセットは通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応可能 ■相互間で移し替えることができる ■スロット指定レシピやウェハIDリーダーの搭載も可能(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
反転記載もできる！8インチタイコウェハ対応の装置をご紹介します。
当製品は、エッジグリップハンドによりウェハ中央部の研削部位に 接触することなく移載できる装置です。 研削面を下から上に、あるいはその逆の反転記載も可能。 カセットは通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応しており、 相互間で移し替えることができます。 【特長】 ■8インチタイコウェハ対応 ■研削面を下から上に、あるいはその逆の反転記載も可能 ■カセットは通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応 ■相互間で移し替えることができる ■エッジグリップハンドによりウェハ中央部の研削部位に 接触することなく移載可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
