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精製装置×株式会社ピー・ジェイ - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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活性炭ガス精製器

高清浄度活性炭を内蔵

(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。 超精密なガスフィルターエレメントと高清浄度活性炭を内蔵しており、ユースポイントにおいてドライエアー及び不活性ガス中の微粒子、ガス状有機物、酸系不純物を高効率で除去します。

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  • CVD装置
  • その他半導体製造装置

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超高純度ガス小型精製器

腐蝕によるパーティクルの発生や化学反応を起こしません。

(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。 ユースポイントにおいて、不活性ガスや特殊ガス中に含まれる水分・酸素・ハイドロカーボンなどの不純物を、条件により最大1PPB以下まで除去します。内蔵の粗取り用フィルターメディアには全てSUS316Lを標準として使用しております。面間84mm、120gの小型・軽量タイプもございます。ガス種により350℃から400℃のベーキングによって再活性処理をすれば、完全寿命まで繰り返しご使用いただけます。

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