高清浄度活性炭を内蔵
(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。 超精密なガスフィルターエレメントと高清浄度活性炭を内蔵しており、ユースポイントにおいてドライエアー及び不活性ガス中の微粒子、ガス状有機物、酸系不純物を高効率で除去します。
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基本情報
【特徴】 ○設計圧力は0.98MPaです。(142PSIG) ○最高使用差圧は0.68MPaです。(98.6PSIG) ○内蔵フィルターエレメント濾過精度は0.003μm以上です。(99.9999999%) ○初期清浄度は0.01μm以上の粒子が1個以下/100slpmです。 ○最高使用温度は350℃です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格情報
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納期
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用途/実績例
半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など
企業情報
株式会社ピー・ジェイは、(株)ピュアロンジャパンの総販売元として設立されました。(株)ピー・ジェイは全力を尽くしてピュアロン製品を世界に発信して参ります。 取扱商品 1.(株)ピュアロンジャパン製品全て ・セラミックガスフィルター ・メタルガスフィルター ・ハステロイガスフィルター ・PTFEガスフィルター ・ハイブリッドフィルター ・ガス精製器 ・ヒーター ・リキッドフィルター ・圧力センサー ・表示器 ・温度センサー ・微差圧計 ・比抵抗率計 ・デジタルフローコントロールシステム 2.半導体製造装置用及び一般産業機器向け流体制御機器部品