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蒸着法 各種金属薄膜
蒸着法により高性能・高品質な膜を提供 日本真空科学研究所が取り扱う、各種金属薄膜 【特徴】 ○蒸着法では⾼精度に膜厚を制御することが可能なため、 全反射ミラーコートはもちろんのこと、入射光の一部を透過させる ハーフミラーコートも対応可能 ○要求される性能・コスト・耐久性等に応じて最適な膜種を提案 ○製品一覧 ・アルミニウム(Al) 高い反射特性と低コストを兼ね備えた最もポピュラーな金属膜 ・クロム(Cr) 低コストと高耐久性（耐腐食性や耐傷性）を両立 ・金(Au) 赤外域にて極めて高い反射率を示すため、赤外線を用いた光学機器に使用 ・その他、インコネル・ニクロム・アルメル・クロメル等の合⾦の製膜も可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
膜の厚みがナノレベルのコーティング！材料を蒸発させたり叩き出したりして被膜を形成
「薄膜」は、“はくまく”や“うすまく”と呼ばれ、一般的には膜の厚みが ナノレベルのコーティング（被膜）を指します。 真空装置の中で、膜にしたい材料（金属等）を蒸発させたり叩き出したり して被膜を形成。湿式めっきのように、めっき“液”を使用しないことから “乾式めっき”と呼ばれることもあります。 当社保有装置では、「真空蒸着」「イオンプレーティング」「スパッタリング」 「プラズマCVD」といった薄膜作製法が可能です。 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 【当社保有装置で可能な薄膜作製法】 ■真空蒸着 ■イオンプレーティング ■スパッタリング ■プラズマCVD ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
プラズマ技術を応用し低温で硬質薄膜をコーティングする表面改質処理
当社では、アークイオンプレーティング（AIP）法により、TiN、TiCN、 CrN、TiAlN、S-AH（多元素系窒化物）、S-AX（複合処理皮膜）の 高硬度皮膜を金属製品の表面に成膜しています。 また、アンバランスドマグネトロンスパッタリング（UBMS）法により DLCの高硬度皮膜を金属製品の表面に成膜しています。 DLCはアルミや鉛合金等の軟質で凝着を起こしやすい材質に対しても 低い摩擦係数を示し、耐凝着性に優れています。 【概要】 ■PVD（Physical Vapor Deposition）：物理蒸着法 ■DLC（Diamond Like Carbon）：主にCとHで構成される非晶質のカーボン硬質膜 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
薄膜ってどんな機能があるの？メッキとどう違うの？何に使えるの？その素朴な疑問、大きな機能の差について丁寧にサポートいたします
薄膜の種類には大きく分けて２つあります。 １つは光学特性を有する薄膜。 身近ではメガネやカメラのレンズ対する反射防止膜で 反射防止の無いレンズの場合、レンズ介した光が眼やセンサーに90%程度した通せませんが、 ARをコーティングする事で100%にちかい光を通す事が出来るとともにレンズからの反射光を 抑える機能を持つ事が出来るようになります。 光学特性とは目で見える光の制御だけではありません。 高速通信網の光ファイバ端面にも近赤外線を対象とした反射防止膜が使われています。 近赤外線だけをロスなく高速に伝える為には赤外線の情報量をより多く通す必要がある為です。 もう1つは、機能性薄膜です。 例えば、雨が降るとカメラレンズに水滴がついてしまうお悩み事に提案する機能性薄膜は 【撥水・親水】という薄膜技術があります。 透明で機能を持った薄膜もあれば、色調を付与する薄膜もあります。 表面処理技術であるメッキの厚みは５～10μｍとなりますが、薄膜の厚みは数10ｎm～数100nmと 圧倒的に薄い事と、メッキにはない高級感がある光沢を有する事も蒸着による薄膜の特徴です。
用途に合わせて紫外域から中・遠赤外域まで対応が可能です！
当社で取り扱っている「光学薄膜」について、ご紹介いたします。 使用する波長域に応じた蒸着材料、成膜手法を検討することにより、 分光特性に忠実なノンシフト膜を成膜いたします。 ガラス、プラスチック、各種結晶材料、金属部品への成膜加工を材料より 一貫して承ります。 【ラインアップ(一部)】 ＜誘電体多層膜＞ ■反射防止膜 ■IRカットフィルター ■UVIRカットフィルター ■バンドパスフィルター ■ダイクロイックフィルター ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
