【総合カタログ】貼り合せ装置 ＶＪシリーズ
真空中で張り合わせるため、接着を塗布した基板や樹脂基板をボイドレスで貼り合せることが可能
貼り合せ装置はUV樹脂のような接着剤を用いてウェハ同士を接合する装置です。 加重・接合室、オリフラ合わせ機構、アライメント機構、貼り合せ面積検査機構、角度ずれ検査機構から構成されています。 また、グローブボックスと接続し、不活性雰囲気で基板を前処理することもできます。 顧客のニーズに応じて、これら機構から必要な機能を選択して装置構成が可能です。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：アユミ工業株式会社
- 価格：応相談
