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電源(静電チャック) - 企業2社の製品一覧

製品一覧

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【デモ機貸出可】静電チャック専用電源

直流高電圧、正負両極出力が可能な、静電チャックの専用電源です

株式会社クリエイティブテクノロジーでは、静電チャックの導入、専用電源や周辺機器の一括提案・購入が可能です。 当社の『静電チャック専用電源』は、より快適・安全に静電チャックが使用できるよう開発されており、用途に合わせたスペックの選択が可能です。 チャックシステム異常発生時には、電源が自動でOFFになる安全機能が搭載されており、未然に事故を防ぐことが可能です。 また、デチャックアシスト機能と極性切替機能により、電源OFF時の残留電荷の軽減や安定した把持力を維持できるよう設計されています。 【特徴】 ■用途に応じてスペックの選択が可能 ■異常時の自動電源OFF機能 ■残留電荷の軽減 ■極性切替による安定した把持力が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、HPよりお気軽にお問い合わせください。 HP:https://creative-technology.co.jp/products/chuck/

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ESC電源-1(PHV シリーズ)

既存の静電チャックへ対応できる様に設計され、極性反転機能と自動放電機能を搭載した電源。

『PHV シリーズESC 電源』は極性反転機能と自動放電機能があり、ウェーハのチャック解除特性を改善する電源です。既存の静電チャックへ対応できる様に設計され、小型軽量、更に蓄積エネルギーが低く電流制限が組み込まれている為、サージやアークからプロセスを保護します。又、Johnson-Rahbek及びクーロンタイプのESCアプリケーションの両方に適しています。 【特徴】 ■ 既存の静電チャック対応への設計 ■ 小型軽量 ■ 蓄積エネルギーが低い ■ 極性反転機能と自動放電機能付き ■ ウェーハのチャック解除特性を改善 ※詳細は添付PDFの参照、及びお気軽に弊社宛に直接お問い合わせ下さい。 047-369-3389

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