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焼結されている金属フィルター濾材で主に500℃まで対応可能。素材によって高温対応の製品もあり！（詳細は御問合せください）
フィルターエレメントの特性を活かし、クリーンエネルギーの分野で活躍するフィルターシステムを提案しています。特に、パルスジェット用ガスフィルターのエレメントとして、水素製造、ＳＡＦ、バイオマス燃料製造、ＧＴＬ・ＣＴＬ等で活躍しています。 【特長】 フジが提案するダウンフローのパーシャルバックブロー設計が、バックブロー時にガスの流れが交差しない、最も特徴的かつ効率的な構造です。 【提案の範囲】 ・フィルターエレメントの提案・設計・製造 ・フィルターハウジング及びシステム提案・設計・製造
あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。
GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。
GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。
GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。
GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。
GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
最高使用温度 400℃対応の高性能メンブレンガスフィルター
GasProTEM-700シリーズは、反応性のガスやハロゲン化マイクロエレクトロニクスガス用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、フィルター材質は0.01ミクロン。大流量で低いデルタPが必要なケース、またスペースが限られているところに最適です。 本体はグラスファイバーとSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されており、類似サイズのメンブレンフィルターよりも10～20倍高いろ過性能があります。 清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。TEM-700は高温用途向けで（Max.400℃）、様々な接続タイプをご用意しており容易に取り付けられるようになっています。
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
濾過精度
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。
全ての材質にハステロイを使用
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 高流量・高差圧下においても０.００３μｍ以上の粒子を高い効率で除去します。１０Ｌ/ｍｉｎ程度の少流量から２５０Ｌ/ｍｉｎ程度の中流量まで幅広いラインナップをご用意しております。従来のメタルフィルターと比較して圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。
濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。
全数疑縮核式パーティクルカウンターによって０.００３μｍのパーティクル捕捉試験を実施しております。
圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性等ガスフィルターに求められる特性面も優れています！高純度アルミナを使用
クアーズテック社のインライン・ガスフィルター『CEPURE』に採用したエレメントは、耐食性に優れた99.9%以上の高純度アルミナで、均一にコントロールされた2層もしくは3層からなる微細な細孔を有しています。 幾何学的に圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性などガスフィルターに求められる特性面においても非常に優れており、理想的なフィルターメディアです。 【特徴】 ・優れたガス置換特性 ・高耐食性 【仕様】 材料：アルミナ多孔体（エレメント部）/SUS/ニッケル/PTFE 【用途】 各種半導体プロセス用インラインガスフィルター ※詳しくはお問い合わせください
システムに接続したままメンテナンス可能
液体やパーティクルなどの不純物は、水平に取り付けたSwagelokフィルターで除去することができます。 Swagelokフィルターは、システムに接続したままメンテナンスを行うことが可能です。 FC シリーズ ■ 液体除去用／パーティクル除去用 ■ オンライン・プロセス分析システム用に設計 ■ エレメントの交換が容易 ■ エンド・コネクション・サイズ：1/8 インチ、1/4 インチ、6 mm
あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。
GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
高濾過精度0.003μmの性能をそのままに、低圧力損失を実現！
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。 従来のＰＧＦシリーズと全く同じ外形寸法で約2倍の流量を処理できます。
SPCシリーズは超小型（φ21×84mm）、軽量（90g）に設計されております。
取り付けスペースの狭いシリンダーキャビネットや装置などに最適です。
流量500L/minから3,000L/minまでの一次側バルク・ガスラインでの使用に適しています。
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製セラミックガスフィルターです。
歩留まりを大幅に向上
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 フィルター構成部材全てにＳＵＳ３１６Ｌを使用し、腐食や二次生成物の恐れがなく高耐熱性を発揮致します。窒素ガス（Ｎ２）をフィルターＩＮ側圧力０．２ＭＰａで流したときのＯＵＴ側圧力損失は△０．０５ＭＰａで９０ＳＬＭの流量を実現しました。また、定常流・脈動下において濾過精度０．００３μｍをＣＮＣで確認、サブミクロンＵＬＳＩ製造で歩留まりを大幅に向上致します。
幅広い濾過精度に対応
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 定常流・脈動下において濾過精度０.１〜１０μｍまでの幅広い濾過精度に対応。フィルター構成部材で腐蝕性材料は使用しておりませんので腐蝕や二次生成物の恐れはありません。専用のベーキングヒーターの併用によりＡＰＩＭＳの測定で脱ガス(水分量)１.２ｐｐｂを達成しました。継続使用により０.１ｐｐｂレベルまで可能です。
コンパクトサイズでより高流量のガスを処理
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 全ての材質にＳＵＳ３１６Ｌを使用。高流量・高差圧下においても０.００３μｍ以上の粒子を高い効率で除去致します。従来品と比較し圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。１０Ｌ/ｍｉｎ程度の少流量から２５０Ｌ/ｍｉｎ程度の中流量までの幅広いラインナップをご用意しております。
濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造
(株)ピュアロンジャパン製ガスフィルターです。 濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。全数疑縮核式パーティクルカウンターによって０.０１μｍのパーティクル捕捉試験を実施しております。
最大1,000lpmまでの流量を確保
■小型・大流量 一般的なインラインガスフィルタのサイズで、大流量濾過が可能です。 高い粒子除去性能 ■0.003μm 以上の粒子を高い効率で除去致します。 ■優れた耐食性 フィルターメディアとサポート材は全てフッ素樹脂を採用し、ハウジングにはSUS316L材を使用しております。 ※半導体製造装置からＰＶ用バルクガス供給ライン等幅広い用途にご使用できます。
微流量用超小型ガスフィルターです。
POUガスフィルター050は室温型ガス精製器で、窒素、希ガス、水素、アンモニア等を含めた様々なガス中から不純物を除去します。 ほとんどの場合、これらのガス中に含まれる不純物は1ppb未満にまで除去されます。用途に合わせて柔軟に対応できるよう設計され、流量を基準に各サイズに加えて、多種多様な形状となっています。 特徴： 〇 超小型で取り付けが簡単 〇 内蔵パーテクルフィルター選択が可能 〇 寿命 は定格流量で標準的な５N５を基準に1年 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
高純度ガス溶接時のバックシールドガス（Ar)精製に最適なガスフィルターです！
NuPure ガス精製器 Cシリーズは、高純度ガス溶接時のバックシールドガス精製に最適なガスフィルターです。実績あるガス精製技術と濾過テクノロジーを組み合わせて、一体・小型化した、ガスピュリファイアーです。 ArガスよりH2OとO2を1ppb以下*まで除去いたします（*5N5グレードのガスを使用した場合）。 電源不要の為、現場作業での使用などで好評をいただいております。
20"と40"の長さが選択可能！LCD及び半導体産業のバルクガスアプリケーション向けに設計
『HF170シリーズ』は、PTFEろ材を採用し、直径を 大きく設計したフィルターです。 高い捕捉効率が保証できると同時に、大流量を実現し、 フィルター交換時間の短縮も可能。 更に、PPコアセンターとポリエステルネットカバーと 組み合わせた設計のため、フィルターの変形を避けられます。 【特長】 ■PTFEろ材を採用 ■直径を大きく設計 ■高い捕捉効率を保証 ■大流量を実現し、フィルター交換時間の短縮も可能 ■フィルターの変形を避けられる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
広いろ過面積！当社の高精度ガスフィルターをご紹介
『GTFシリーズ』は、PTFE メンブレンと超高密度プリーツ技術を 採用した製品です。 広いろ過面積で、大流量と低圧力損失を実現。 最小のろ過精度は0.003μmであり、ガス中の粒子を高い捕捉効率で 確実に除去します。また、全品出荷前に完全性試験を行います。 【特長】 ■PTFE メンブレンと超高密度プリーツ技術を採用 ■大流量と低圧力損失を実現 ■最小のろ過精度は0.003μm ■ガス中の粒子を高い捕捉効率で確実に除去 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【半導体ガス 高純度ガス】【超クリーン性能】 VCR接続のUHPメタルガスフィルターです！ IGS用もございます!
当社で取り扱う、「DK-LOK UHPメタルガスフィルター」についてご紹介いたします。 材質のSUS316Lは日本製の材料を採用しており、高品質で低価格な製品です。 納期は都度対応になりますので、ご相談ください。 ロックフィットでは、継手、バルブ、圧力センサ、圧力計、デジタル微差圧計、微差圧センサ、水位計で多様なニーズにお応えします。 【当社の特長】 ■高品質でコストパフォーマンスに優れた製品 ■LOK継手、圧力センサ、圧力計のスペシャリスト ■豊富な製品のラインアップ ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
