ナノインコーター(離型剤塗布装置) NIC-1103
8inchウエハー対応用ナノインコーター(離型剤塗布装置)
本装置は、最大8inchウエハーを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- Company:株式会社SDI 京都本社
- Price:100万円 ~ 500万円