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スピンコータ×株式会社アクティブ - メーカー・企業と製品の一覧

スピンコータの製品一覧

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自立型スピンコーター(スピンコート機)『ACT-600AII』

□300mm、16インチ基板まで対応の自立型スピンコート機ACT-600AII スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ!

アクティブの『自立型スピンコーターACT-600AII』はφ400mm基板まで対応する汎用性の高い手動滴下用の装置です。 1分間の回転数を0~3000の範囲で設定でき、その精度は±2rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム(事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能)で求める条件をだしやすいのも特徴です。 キャスター付きで移動も楽な自立型で、使いやすい作業高さとなります。 インターロックセンサー付で基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で即回転停止、と安全面にも配慮しています。また、フリーランで止まる仕様の非常停止ボタンも装備しております。 操作パネルがシンプルで簡単です。わかりやすいマニュアル付で納品後すぐにご利用いただけます。 ACT-600AIIのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス!

  • その他半導体製造装置

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