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12インチ対応 セミオートプローバ SA-W300S
ベースにグラナイトを採用！ 高精度位置決めが可能なセミオートプローバ 【特徴】 ○ベースにグラナイト製石定盤を採用し、駆動モーターに リニヤシャフトモーターを搭載する事により バックラッシュ『0』の実現が可能 ○リニヤスケールの精度/分解能に見合った高精度位置決めが可能 ○マニュアルローダを搭載し、ウェハの着脱が容易 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
微小電流測定、ハイパワー測定に対応したセミオートプローバー！ それぞれ8、12インチまでのウエハサイズに対応です。
-60℃～+350℃の温度特性評価、微小電流測定 20ｋV以上、200A以上のパワーデバイス測定対応 ◎ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も結露しません。 ◎コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能です。 ◎オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフトです。 ◎画像認識を活かした自動ウエハアライメントや自動個別チップアライメント等を搭載できます。 ◎制御ソフトはオペレーターが操作に迷わないように工程順にアイコンを並べるなど、操作性に優れています。 ◎モデルを使用して、ウェハの角度調整、XY位置の微調整を行うウエハアライメント機能を有しています。 ◎ダイ原点位置の登録後、画像処理により、自動で特徴パターンを検出し、リファレンスモデルとして登録する機能を有しています。 ◎登録されたトレイ内に置かれた登録済みの個片チップを画像認識にて自動的に チップアライメントすることも可能です。（オプション） ◎ウエハの膨張などに対応するオートXYZを搭載できます。（オプション）
-60℃～+350℃の温度特性評価、微小電流測定に！マイナス温度時も結露しません
『AP-150／AP-200』は、それぞれ6、8インチまでのウエハサイズに対応した セミオートプローバーです。 コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能。 ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も 結露しません。 また、画像認識を活かした自動ウエハアライメントや自動個別チップ アライメント等を搭載できます。 【特長】 ■20kV以上、200A以上のパワーデバイス測定対応 ■それぞれ6、8インチまでのウエハサイズに対応 ■コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能 ■オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフト ■自動ウエハアライメントや自動個別チップアライメント等を搭載できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
最大12インチウェハ対応！低コストで、非常に小さなエリアでの設置が可能
当製品は、最大12インチウェハ対応の、高性能セミオートプローバーです。 「TS3000-SE」は、微小電流測定やセミオート機では難しかった、1/f測定 などの様々な測定に対応しておりながら、低コストで導入可能な革新的 モデルです。 チラーユニットを含め、非常に小さなエリアでの設置が可能です。 【特長】 ■「TS3000」 ・プローブカードとポジショナーの同時設定が可能 ・不良解析や信頼性試験、RF測定、ロードプル測定などに好適 ・広い開口を保持しながら低温環境下での測定にも対応 ■「TS3000-SiPH」 ・シリコンフォトニクスデバイスの特性評価用に設計 ・高い柔軟性の高精度ファイバーアライメントシステム ・安全な動作が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カスタマイズ対応！半自動操作、手動操作とも容易で、測定効率向上に寄与します
『AP-80A』は、ガード構造の徹底で、低雑音・高精度測定を実現した 微小電流測定用セミオートプローバです。 ガード電位技術を活用した構造により、fAレベルの微小電流測定が可能。 外部自動制御とジョイスティック(移動モード6種類)の手動操作ができます。 また、パワーデバイスにも対応可能なほか、使用目的に合わせた カスタマイズが可能です。 【特長】 ■低雑音・高精度測定を実現 ■簡易操作 ■ガード電位技術を活用した構造により、fAレベルの微小電流測定が可能 ■外部自動制御とジョイスティック(移動モード6種類)の手動操作ができる ■主要な測定器メーカーのシステムおよびソフトウェアに標準対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
fAレベルの微小電流測定が可能な高性能セミオートプローバ
■微小電流測定 ・ガード電位技術を活用した構造により、fAレベルの微小電流測定が可能 ・低雑音・高精度測定を実現 ■簡易操作 ・外部自動制御とジョイスティック(移動モード6種類)の手動操作が可能 ※半自動操作、手動操作とも容易で、測定効率向上に寄与します。 ■主要な測定器メーカーのシステムおよびソフトウェアに標準対応 ・キーサイト・テクノロジー （B1500A半導体デバイス・パラメータ・アナライザ・EasyEXPERT） ・ケースレーインスツルメンツ （ACS(測定ソフト)搭載システムおよび測定器） ※その他の測定器制御、ソフトウェアのカスタム対応可能 ■多彩なオプション・カスタマイズ対応 ・ホットチャック（+40℃～＋200℃）を用いた温度依存特性の評価に対応 ・プローブカードアダプタの使用により、微小電流用プローブカードを搭載可能 ・使用目的に合わせてカスタマイズ対応可能
