バタフライコントロールシステム Series 61.2
CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ
-優れた圧力制御能力 -サービス時期の自動検出(コンタミネーション検出) -サービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX接続用) -コンタミの多いプロセスへの優れた適応性
- 企業:VAT株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年12月24日~2026年01月20日
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CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ
-優れた圧力制御能力 -サービス時期の自動検出(コンタミネーション検出) -サービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX接続用) -コンタミの多いプロセスへの優れた適応性
ウォーターハンマーの抜本的な対策に、特殊バタフライバルブを採用!
製鉄会社様で、工場内配管に流量調整用としてシリンダーバルブを取付けられていましたが、弁開度の微調整が難しく、ウォーターハンマーが発生し配管を痛めてしまうとの事で、ハンマーを軽減出来るバルブは無いかご相談を頂きました。 問題点 1. 現在のシリンダーバルブでは、弁開度の微調整が難しい。 (開放状態から、いきなり全閉状態になってしまう) 2. ウォーターハンマーを軽減し、配管寿命を延ばしたい。 ※ウォーターハンマーとは・・・水撃作用(すいげきさよう)ともいわれ、水圧管内の水流を急に締め切ったときに、水の慣性で管内に衝撃と高水圧が発生する現象です。配管内の水や湯が瞬間的に停止させられることによって、流体の運動エネルギーが逃げ場を失い、圧力エネルギーに変換され、配管内に急激な圧力上昇(水圧変動)を招き「過大圧力波」(衝撃波)が発生します。この圧力波は配管や流体を通して瞬間的に遠方に伝播される為(水の場合、秒速千四百メートル以上)、原因となる機器以外の遠い場所で異音(コンコン、カンカンといった音)が発生したり、配管や弁体が損傷してしまうことがあります。
弁体の開度調整で流量調整ができるサニタリーバタフライバルブ
〇弁体の開度調整が左右どちらでもできるストッパー機構付き。 〇ストッパーは全開より全閉方向に0°、9°、18°、27°、36°、45°、54°、63°、72°、90°の10カ所。
コンパクト設計のISO小口径サニタリーバタフライバルブ
〇コンパクト設計のISO小口径バタフライバルブです。 〇弁座部は圧力損失を抑えた特殊形状で、弁体は片軸方式でよりサニタリーな構造です。
粉体用に軽量化されたサニタリーバタフライバルブ
〇粉体用に軽量化されたバタフライバルブです。 〇工具不要で分解・再組立ができます。 〇軽量・コンパクト設計により、取り扱いやすく取り付けに場所をとりません。 〇ハンドルの角度は変更可能です。
開閉時にタブレットが損傷しにくいシリコンコートの弁体を使用したタブレット用・軽量型バタフライバルブ
●開閉時にタブレットが損傷しにくいシリコンコートの弁体を使用しています。 ●工具不要で分解・再組立ができます。 ●軽量・コンパクト設計により、取り扱いやすく取り付けに場所をとりません。 ●ハンドルの角度は変更可能です。
水溶液の粘度も長期間安定!増粘・保水・懸濁・保護コロイドなどの優れた性能を示します
『HEC(ヒドロキシエチルセルロース)』は、セルロースに酸化エチレンを 付加させることにより、水溶性とした高分子化合物です。 水溶液は、増粘・保水・懸濁・分散・保護コロイドなどの優れた機能を有し、 各分野で使用されています。 また、酸化エチレンの付加の程度を示す指標として、平均付加モル数(MS)が あり、当社HECのMSは、1.5~2.5にコントロールされていて、製品の グレードにより異なります。 【特長】 ■冷水や温水に容易に溶解可能 ■水溶液は、低温、高温でも安定で、ゲル化しない ■ノニオン性で、広い範囲のpH域で安定 ■増粘・保水・懸濁・保護コロイドなどの優れた性能を示す ■変質しにくく、水溶液の粘度も長期間安定 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
工具不要で分解洗浄が行え、軽量タイプで扱いやすいオールステンレスのバタフライバルブです。
○工具不要で分解洗浄が行え、サニタリー性に優れています。 ○ヘルール接続のため取り付け・取り外しが簡単です。 ○弁の誤開閉を防ぐロック機能付きです。 ○軽量タイプで扱いやすいです。 ○【BFV-T】は弁がシリコンゴムで覆われたタブレット(錠剤)用です。 バルブ開閉時の粒体へのダメージを防ぎます。
粉粒体用ウエハ型バタフライバルブ
●粉粒体用ウエハ型バタフライバルブの本格派 ●コンパクトな複動エアシリンダによって大トルクが得られます。手動ハンドルも取り付け可能です。 ●レバーハンドル式、ウォームギア式、モータ式もあります。 ●耐圧1MPa ●FC、SCS13の他SCS14も別製致します。 ●粉体用に製作しておりますが、空気、水にも使用可能です。
高活性物質を含む様々な粉体を安全に移送可能なバルブ
〇アクティブバルブとパッシブバルブの二つの弁体で構成され、弁体を合体させた上でバルブを開閉して粉体を移送するシステムです。 〇弁体の合体と切り離しによりクリーン状態を維持しながら原料を移送できます 〇医薬品製造プロセスをはじめ、様々な現場で使用できます ※詳しくはPDF(カタログ)をダウンロード頂くか、ダルトンまでお問合せください
なんとキャップを配管に接続したまま本体だけを交換可能!しかも小口径(15A~50A)でPPS製弁体で腐食に強い!
小口径(15A~50A)に対応し、3ピース構造でメンテナンスが容易!PPS樹脂製弁体の採用で耐スケール付着性、耐腐食性を誇ります。
半導体グレードに対応したバタフライバルブです。シール性を良くし、余分な圧着力を必要としない!小さな開閉トルクで操作が可能
『BZD』シリーズは、従来の汎用バタフライバルブに独自のクリーン化技術を 投入し完成された、半導体グレードに対応したバタフライバルブです。 本体及び接液部品がステンレス製のウエハー形の工業用バタフライバルブで、 パーティクルの滞留や付着を少なくするため、接ガス(接液)部を研磨仕上げと 禁油処理を施しております。 ブラケットとコネクターを介して、空気式アクチュエーターの搭載が可能です。 【特長】 ■二重偏心構造を採用し高いシール性を確保 ■小さな開閉トルクで操作が可能 ■シート材質は耐久性のあるPTFEを採用 ■小さな力で操作でき、レバー操作式に比べ小スペースの配管が可能 ■ブラケットとコネクターを介して、空気式アクチュエーターの搭載が可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
チャンバー内を汚染しにくい構造!Oリングへのストレス低減、高い耐久性能を実現
『PCAシリーズ』は、バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能なバルブです。 新開発のシートリング機構が、フラッパーに取り付けられたO-RINGの ねじれや脱落の問題を解消。また、フラッパーシール部がグリスレスのため、 反応室を汚染しにくい構造です。 シートリング機構採用により、Oリングへのストレス低減、高い耐久性能を 実現しました。 【特長】 ■バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能 ■低真空から高真空まで圧力調整が可能 ■新開発のシートリング機構を採用 ■高耐久:全開・全閉動作 300万回 ■独自ヒーティングによる内部副生成物の低減 ■副生成物の多いプロセスへ優れた適応性を発揮 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
AUTO PID搭載!指定した目標圧力に自動で調整するAPCバタフライバルブ
AUTO PID制御を搭載したAPCバタフライバルブ [PCVAシリーズ]のご紹介です。 当製品はバルブ、コントローラー 一体型のAPCバタフライバルブで、 半導体製造の真空排気ラインでの使用に好適です。 半導体製造ラインでは温度や圧力の微細な変動が製品の品質に大きな影響を与えるため、 高精度な制御が不可欠です。AUTO PID制御は高精度な制御、迅速な応答、 長期的な安定性、外乱に対する強さに対して利点があり、 半導体製造において、要求されるプロセスの安定化に寄与します。 AUTO PID制御を搭載するAPCバタフライバルブ [PCVAシリーズ]は 自動で指定した目標圧力に到達でき、半導体製造プロセスの最適化と効率化に寄与します。 具体的には次の制御が可能です。 ■ 圧力制御:指定した目標圧力に自動で調整 ■ 目標変更:圧力制御時の目標圧力値の変化にも対応 ■ 流量変動:学習流量以外の流量に対しても圧力制御が可能 ■ 外乱影響:目標圧力制御中に流量が変化しても目標圧力に収束 ■ 位置ずれ検出:生成物付着やメカ部トラブル等による位置ずれの検知が可能
一般的なバルブより通過流量が高いバタフライバルブ
OMAL 社のバタフライバルブはWafer タイプとLug タイプ。Lug タイプは圧力下で反対側を切り離してメンテするときに使用します。静電気防止用ねじ溝があるのでアースにつなげばそのまま使用可能。レバーロック機構、開閉インジケータ、空圧アクチュエータ、電気アクチュエータと組み合わせて使用可能です。詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。