メカニカルブースタポンプ PRC-A/PMB-C(M)シリーズ
水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。【アルバック/ULVAC】
ドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10 000 ~ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PRC-A シリーズは、PMB-C(M)同様、汎用型としての使用はもちろんのこと、特にポンプ外部および内部のクリーン度が要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたルーツ型ポンプです。 PMB-040C PMB-060C は、熱処理炉、溶解炉や大型成膜装置などの大容量排気として最適です。 【ラインナップ】 ○PMB-001C CM ○PMB-003C CM ○PRC-003A ○PRC-006A ○PRC-012A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業:株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
- 価格:応相談