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水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。【アルバック／ULVAC】
ドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10 000 ～ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PRC-A シリーズは、PMB-C（M）同様、汎用型としての使用はもちろんのこと、特にポンプ外部および内部のクリーン度が要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたルーツ型ポンプです。 PMB-040C PMB-060C は、熱処理炉、溶解炉や大型成膜装置などの大容量排気として最適です。 【ラインナップ】 ○PMB-001C CM ○PMB-003C CM ○PRC-003A ○PRC-006A ○PRC-012A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
マルチ電圧モータも選択できる汎用型のメカニカルブースターポンプです。【アルバック／ULVAC】
メカニカルブースターポンプはドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10k ～ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PMB シリーズVer.D はマルチ電圧モータも選択できる汎用型のメカニカルブースターポンプです。 オプションで空冷での運転が可能な他、表面処理や大気圧駆動型も選べます。 【ラインナップ】 ○PMB100D ○PMB300D ○PMB600D ○PMB1200D ○PMB2400D 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
一般産業向けの多様なポンプソリューションを提供します
Edwardsでは様々な産業用途に対応できるよう、ロータリーポンプ、ピストン ポンプ、スクリューポンプ、メカニカルブースターポンプなど、すべてオイル シール型でご用意しています。 また、ポンプやアクセサリは、単独でも、工場検査済みの完成システムとしても 出荷することが可能です。 【取扱製品(抜粋)】 ■ロータリーポンプ E2Mシリーズ、ESシリーズ、Microvacシリーズ、EOSiシリーズ ■メカニカルブースターポンプ EHブースター、6インチブースター、HV8000ブースター ■ポンプアクセサリ インレットダストフィルタ、インレットキャッチポット ■真空システム用バルブ ■接続器具およびフランジ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
メカニカルブースターポンプEHシリーズは、310～4915m3/hの排気速度を持ち、産業・化学分野でも幅広く採用されています。
EHシリーズは、ルーツタイプの真空ポンプであり、メカニカルブースターとしてお使いになれます。 バッキングポンプと同時に使用する事により、ポンプのダウンタイムを短縮することができるため、差圧の大きい環境での使用に適しています。 排気速度310m3/hrから4915m3/hrまで、5モデルから選択できます。 ＜特長＞ ● 排気時間は非大気駆動型の1/2 流体動力継手によりバッキングポンプ（ロータリまたはドライポンプ）と同時に起動し、大気圧から排気が出来ます。従来の排気システムでは通常圧力が1000Pa以下になってからメカニカルブースタのスイッチをONにし、運転を開始していました。この場合に比較すると排気時間はおよそ50％も短縮されます。 ● コンパクトで経済的 EHシリーズは、バイパス配管、圧力スイッチ、バルブ、リレー回路等が不要です。よってコンパクトで経済的な排気システムの構築が出来ます。各種真空ポンプとの組合せも自由で、必要排気時間と予算に合わせて選択できます。
