プラズマ処理装置のメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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プラズマ処理装置 - メーカー・企業42社の業務用製品ランキング | イプロスものづくり

更新日: 集計期間:2026年03月25日~2026年04月21日
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プラズマ処理装置のメーカー・企業ランキング

更新日: 集計期間:2026年03月25日~2026年04月21日
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  1. サンワ・エンタープライズ株式会社 埼玉県/機械要素・部品
  2. 株式会社アルス 大阪府/産業用機械
  3. 株式会社アクア 京都府/研究・開発用機器・装置
  4. 4 株式会社ジェイ・サイエンス・ラボ 本社 京都府/試験・分析・測定
  5. 5 株式会社日立ハイテク 東京都/産業用機械

プラズマ処理装置の製品ランキング

更新日: 集計期間:2026年03月25日~2026年04月21日
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  1. ハンディタイプ大気圧プラズマ処理装置『ピエゾブラッシュPZ3』 株式会社アルス
  2. 小型空圧機器|円筒気流発生器 「サークル・ブロー」 サンワ・エンタープライズ株式会社
  3. 粉体用大気圧プラズマ処理装置 株式会社ジェイ・サイエンス・ラボ 本社
  4. 4 大気圧プラズマ装置:シリコーンゴムの「接着剤レス接合」技術 株式会社アクア
  5. 5 アズビルTACO_空圧機器 株式会社嶋田

プラズマ処理装置の製品一覧

31~60 件を表示 / 全 99 件

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大気圧プラズマ装置:シリコーンゴムの「接着剤レス接合」技術

シリコーンゴム接合の未来が今ここに。接着剤レスで、強固な結合を実現。

「シリコーンゴム接着の課題」「接着剤コストや環境負荷に悩む」貴社へ 株式会社アクアの大気圧プラズマ装置による「接着剤レス接合」 が、その悩みを解決します。 従来の接着剤による制約(硬化時間、剥離リスク、コスト、環境問題)を一掃。 薬品や熱を使わず、シリコーンゴム同士、ガラスとシリコーンゴムを直接、強固に接合するソリューションです。 また、シリコーンゴムと異種材料接合の課題に対してはプラズマ+粘着テープで解決。 これは単なる接合方法の変更ではありません。 貴社の「品質」「コスト」「生産性」「環境配慮」を飛躍的に向上させる、未来への戦略的投資です。 「圧倒的な接合強度」で信頼性を確保:プラズマがシリコーンゴム表面をナノレベルで活性化させ、分子レベルでの直接結合を実現。 接着剤劣化による剥離リスクを根本から排除し、製品寿命と信頼性を格段に向上させます。 「コスト・工程の大幅削減」で利益を最大化:接着剤の購入、塗布、乾燥、廃棄物処理が不要。 もう、シリコーンゴムの接着で妥協は不要です。 この技術は、医療、自動車、電子機器など様々な分野で新しい価値を創造します。

  • プラズマ表面処理装置
  • プラズマ処理装置

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大気圧プラズマ処理機『Aldyne』 ※技術資料を進呈中

0.3~0.4nm厚の分子単層コーティング。洗浄・乾燥工程不要でコスト削減【フィルム加工・印刷業界向け】

『Aldyne』は、基材の塗工剤との接着性を高める大気圧プラズマ処理。 厚み0.3~0.4nmの分子単層の機能コーティングを実現します。 水性、溶剤性、UV(紫外線)乾燥型のインクやラッカー、 接着剤に対し優れた接着性を発揮。 液体・固体のプライマーを使用しないため、残留物の洗浄や、 乾燥工程などが不要。コストを抑えた運用にも貢献します。 【特長】 ■高度な接着性と持続性 ■独立した冷却システム ■コンパクトな構造設計 ■生産ラインへの組み込みにも対応 ※【ダウンロード】より製品を解説した技術資料の抜粋版をご覧頂けます。  完全版をご希望の方は【お問い合わせ】よりお気軽にご連絡下さい。

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【表面処理の新技術】「Aldyne」大気圧プラズマ 技術資料進呈

処理コストが従来の1/10になり、接着性能も大幅に向上!

【表面処理の新技術】「Aldyne」大気圧プラズマの技術資料を進呈いたします! 大気圧プラズマ並びにコロナ技術は、数十年にわたってフィルムの押し出しや加工の分野でフィルムの表面処理に広く使用され続けています。 そんな中、新たな機能材の開発・生産において、コロナ処理では対応が難しかった、基材表面に官能基を形成できる「Aldyne」大気圧プラズマ処理技術を開発いたしました。 揮発性有機化合物も不使用で、処理コストが従来の1/10になり、接着性能も大幅に向上した新技術。 表面処理の新技術である「Aldyne」大気圧プラズマの技術資料を進呈します! 【掲載内容】 ■はじめに ■プラズマが科学的反応を引き起こす ■コントロールされたガス雰囲気中の大気圧プラズマによる表面処理 ■高プラズマ出力のための新設計 ■Aldyne大気圧プラズマ装置の効果 ■結論 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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Enercon社の表面処理装置の概要全般

プラズマ及び火炎処理技術で各種 材料表面を活性化 プラズマ処理対象物 表面を洗浄、エッチング、機能化して接着力を向上

アメリカのEnercon社は、表面を活性化して接着力を向上させるための幅広いプラズマ及び火炎処理技術を提供しています。多くの場合、表面は表面エネルギーが低く、正常な接合を妨げる障害を示すためには処理が必要です 。 プラズマ及び火炎表面処理は、有機および無機の表面汚染物質を除去して表面を清浄にし、表面をマイクロエッチングして追加の表面結合部位を作成し、表面を活性化してより強力な結合を作成します。

  • プラズマ表面処理装置
  • プラズマ処理装置

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ハンディタイプ大気圧プラズマ処理装置『ピエゾブラッシュPZ3』

驚くほど小型!低温大気圧プラズマ装置!広範な用途に使用可能です。

『ピエゾブラッシュPZ3』は、研究や開発、少量生産用に開発された小型で ハンディタイプの大気圧プラズマ処理装置です。 圧電素子による直接放電(PDD)技術を使って、最大消費電力18Wで50℃以下の低温プラズマを発生させます。 プラズマ発生部の高圧トランスにはTDK社のCelaPlas圧電素子を使用しています。 【特長】 ■研究や開発、少量生産用 ■小型のハンディタイプ ■最大消費電力18Wで50℃以下の低温プラズマを発生 ■高圧トランスにはTDK社のCelaPlas圧電素子を使用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • プラズマ表面処理装置
  • プラズマ処理装置

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フランス 1BLOW社 2軸延伸式ブロー成型機

独自の180度開閉グリッパー!コンパクト設計の2軸延伸式ブロー成型機

当社が取り扱う、フランスの1BLOW社製『2軸延伸式ブロー成型機』を ご紹介します。 1型~4型成型機で少量多品種市場に対応し、欧州主要成型機メーカーの 金型が搭載可能。 成型速度は毎時500~12,000本で、一般飲料、扁平、ガロン容器などの ボトルに対応します。 【特長】 ■コンパクト設計 ■1型~4型成型機で少量多品種市場に対応 ■欧州主要成型機メーカーの金型が搭載可能 ■ロータリーリニア方式 ■独自の180度開閉グリッパー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他加工機械
  • 押出成形機
  • プラズマ処理装置

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延伸ブロー成型機 1XL

フランスの1BLOW社製!最大12リットルのボトルを生産する延伸ブロー成型機

PET分野での複数年の経験に基づいて、1BLOWは、1時間あたり 1000本から9000本までの完全なPETブロー成形機を開発しました。 日本CBLでは、同社の『延伸ブロー成型機 1XL』を取り扱っております。 最大12リットルのボトルを生産します。 【特長】 ■タイプ:延伸 ■材料:PET用 ■仕上がり製品:ペットボトル用 ■モノキャビティ ■空洞部ボリューム ・最少:0 l (0 gal) ・最大::12 l (3.2 gal) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他加工機械
  • プラズマ処理装置

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ブロー成形の冷却サイクル短縮! 圧縮エアー冷却装置CAC

最大-35℃のブローエアー注入で厚肉ブロー成形品の冷却サイクルを大幅短縮!

オーストリアBlue Air Systems社のブロー成形機用の圧縮エアー冷却装置CACは、ブローエアーを-35℃に冷却して大幅なサイクルタイム短縮を実現する事が可能です。

  • 中空成形機
  • プラズマ処理装置

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バッチ式装置『Flexicoerシリーズ』

いくつものプラズマ技術を1つの装置に搭載可能!

当社のバッチ式装置『Flexicoerシリーズ』は、拡張性と信頼性を高い次元で 融合したモジュールコンセプトで出来ています。 いくつものプラズマ技術を1つの装置に搭載することが可能。また、 納入済み装置を新しい技術にアップグレードさせることも可能です。 多様なカスタマイズが出来るため、お客様独自の装置をご提供します。 【特長】 ■拡張性と信頼性を高い次元で融合した、モジュールコンセプト ■いくつものプラズマ技術を1つの装置に搭載可能 ■納入済み装置を新しい技術にアップグレードされることも常に可能 ■多様なカスタマイズ可能。お客様独自の装置をご提供できます ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • プラズマ表面処理装置
  • プラズマ処理装置

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乾燥技術

真空で優しく乾燥!お客様のニーズに対応したソリューションをご提供

加熱プロセスにおいて、様々な分野で真空乾燥の効果が証明されました。 真空での乾燥では、水分もしくは溶剤がすでに低い温度にて液状から蒸気へと 変化するように、乾燥システムの全圧が下げられます。 狙いを定めて熱を加え圧力を調整することにより、乾燥プロセスを最適化する ことができるのです。 通常、真空乾燥システムは、ヒーティングシステムを装備した乾燥オーブン、 特殊乾燥プロセスのための真空ポンプユニットおよび制御システムにて 構成されています。 【ラインアップ】 ■真空乾燥システム「VSD」 ■アイソレーター付き真空乾燥炉「VSDI」 ■アイソレータ/アイソレータおよび圧力ヌッチェ装備真空乾燥システム「VSDIN」 ■真空乾燥システム「VSD-e」 ■真空乾燥システム「VT」 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 乾燥機器
  • プラズマ処理装置

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PVAテプラ社マイクロ波プラズマ処理装置(前工程向け)

ユニークなウエハー移載機搭載のバッチ処理装置から枚葉処理装置まで、世界中のMEMSや半導体等のファブで使用されております。

2.45GHzのマイクロ波で励起された高密度のプラズマと、イオンの運動エネルギーを抑制することで、ダメージレスのプロセス結果を得ることができます。 ウエハープロセスにおけるアッシング、レジスト剥離、MEMSなどのSU-8レジストアッシング、デスカム処理、基板の表面クリーニングや表面活性化など、幅広いアプリケーションに対応できるよう設計されております。

  • アッシング装置
  • プラズマ処理装置

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PVAテプラ社マイクロ波プラズマ処理装置(後工程向け)

世界中のOSATのお客様向けに多くの実績があり、信頼性のあるパフォーマンスでその地位を確立しております。

マイクロ波(2.45GHz)により高密度のプラズマを生成することで、非常に効果的な表面処理が可能となります。また、お客様の様々なパッケージング工程に対応したプロセス形態をご選択いただくことができます。 ダイアタッチ、ワイヤーボンディング、フリップチップ、アンダーフィル、 樹脂封止を含むチップパッケージングにおいて、基板のクリーニング、表面活性化の為に設計されています。

  • アッシング装置
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小型空圧機器|空気増幅用エアーブロー・ノズル「ラウンド・ブロー」

吸引とブロー、1台2役。 強力なバキュームとブローを可能にするツールです。

空気増幅用エアーブロー・ノズル「ラウンド・ブロー」は圧縮空気を動力源とし、周囲の空気を大量に吸引し、吐出するエアー・ノズルです。 「ラウンド・ブロー」は、バキューム・システム或いは強力エアーブロー装置として二役の使い方が可能です。

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小型空圧機器|円筒気流発生器 「サークル・ブロー」

パイプやケーブル外周のブローを目的としたツールです。360°均等に吹く出すエアー流が水切り、清掃、乾燥を可能にします。

円筒気流発生器 「サークル・ブロー」は、薄いスリットから高速で吹き出される円筒状のエアーが、周辺空気を大量に誘引・増幅し、強力な環状増幅流を発生させるエアー・ノズルです。 360°むらなく均等に吹き付ける増幅流は、パイプ、ケーブル、押し出しロッド等、長尺製品の水切り、清掃、乾燥、冷却に効果を発揮します。 穴径25mmから180mmまで

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小型空圧機器|空気量増幅器「ジェット・ブロー」

手のひらにのるサイズでありながら強力なバキュームとブローが可能です。

ジェット・ブロ-は、本体内壁に沿って設けられたスリットから圧縮空気を吹き出すことで、片方から周囲の空気を大量に誘引する強力なバキュ-ム圧を発生させるとともに、他の片方から増幅された大量の空気を噴出する手のひらサイズの空気量増幅器です。 ダクト・ホ-スをつけて・・・ ゴミや煙霧、粒状・糸状の材料の集塵や回収、また空気力搬送に利用できます。 ダクト・ホ-スなしで・・・ 製品や部品の洗浄後の水切り、さらに乾燥や冷却、切削粉やゴミなどの吹き飛ばし作業に使用できます。

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総合カタログ|サンワ空圧機器

冷やす!吹き飛ばす!送る! サンワ空圧機器は、圧縮空気をつなぐだけで冷却、ブロー、乾燥、移送を可能にするエアー・ツールです。

40年近い実績を誇る超低温空気発生器「コルダー」をはじめとしたコンパクトで操作が容易なサンワ空圧機器は、さまざまな製造現場の環境改善、生産性向上に貢献します。

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【デモ動画】エアーの流れを可視化してみました。サンワ空圧機器

肉眼で捉えることのできないエアーをミストを使って可視化しました。

ライン・ブローは「圧縮空気を繋ぐだけ」をキーワードに、40年近く製造現場で選ばれ続けるサンワ空圧機器の1つです。 圧縮空気を繋ぐだけで、層状の空気(エアーカーテン)を生成します。 圧縮空気と同時に周辺の空気を取り込むことで、強力な増幅流を発生させます。 使用例 ・塗装ブースなどでのエアーカーテンに ・板状の製品や部品の洗浄後の水切り、さらに乾燥や冷却、切削粉やゴミなどの吹き飛ばし作業に ※詳しくは是非お問い合わせください

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サンワ空圧機器|ブロー(吹き飛ばし、水切り・乾燥、冷却・放熱)

ブロー:水切り、乾燥、吹き飛ばし用途に

サンワ空圧機器「ブロー」シリーズの特徴は、圧縮空気にプラスして周辺の空気を巻き込み増幅流を発生させることです。エアーカーテンや水切り、乾燥、切削粉の吹飛ばしなど、様々な用途に活躍し、製造工程の改善を実現します。 ーーーーーーーーーー 有明サテライト・ショールームは、「見て」「触って」「比べて」「確かめて」をコンセプトに、プラスチック製配管部品や、圧縮空気をつなぐだけで使用できる空圧機器を約3000アイテム展示しています。 場所は東京ビッグサイトにほど近いTFTビル。展示会ついでにお立ち寄りいただくと便利です。 ▼アクセス 〒135-0063 東京都江東区有明3丁目6-11 TFTビル 東館 8F

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小型空圧機器|空気量増幅器「ジェット・ブロー」ブロー専用

手のひらにのるサイズでありながら強力なバキュームとブローが可能

ジェット・ブロ-は、本体内壁に沿って設けられたスリットから圧縮空気を吹き出すことで、片方から周囲の空気を大量に誘引する強力なバキュ-ム圧を発生させるとともに、他の片方から増幅された大量の空気を噴出する手のひらサイズの空気量増幅器です。 ダクト・ホ-スをつけて・・・ ゴミや煙霧、粒状・糸状の材料の集塵や回収、また空気力搬送に利用できます。 ダクト・ホ-スなしで・・・ 製品や部品の洗浄後の水切り、さらに乾燥や冷却、切削粉やゴミなどの吹き飛ばし作業に使用できます 740-09SUSはブロー専用モデルです。 ーーーーーーーーーー 有明サテライト・ショールームは、「見て」「触って」「比べて」「確かめて」をコンセプトに、プラスチック製配管部品や、圧縮空気をつなぐだけで使用できる空圧機器を約3000アイテム展示しています。 場所は東京ビッグサイトにほど近いTFTビル。展示会ついでにお立ち寄りいただくと便利です。 ▼アクセス 〒135-0063 東京都江東区有明3丁目6-11 TFTビル 東館 8F

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小型空圧機器|空気量増幅器「ジェット・ブロー」インライン用

手のひらにのるサイズでありながら強力なバキュームとブローが可能

ジェット・ブロ-は、本体内壁に沿って設けられたスリットから圧縮空気を吹き出すことで、片方から周囲の空気を大量に誘引する強力なバキュ-ム圧を発生させるとともに、他の片方から増幅された大量の空気を噴出する手のひらサイズの空気量増幅器です。 ダクト・ホ-スをつけて・・・ ゴミや煙霧、粒状・糸状の材料の集塵や回収、また空気力搬送に利用できます。 ダクト・ホ-スなしで・・・ 製品や部品の洗浄後の水切り、さらに乾燥や冷却、切削粉やゴミなどの吹き飛ばし作業に使用できます 740-19SUSはホースの取り付けが可能なインラインモデルです。 ーーーーーーーーーー 有明サテライト・ショールームは、「見て」「触って」「比べて」「確かめて」をコンセプトに、プラスチック製配管部品や、圧縮空気をつなぐだけで使用できる空圧機器を約3000アイテム展示しています。 場所は東京ビッグサイトにほど近いTFTビル。展示会ついでにお立ち寄りいただくと便利です。 ▼アクセス 〒135-0063 東京都江東区有明3丁目6-11 TFTビル 東館 8F

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巻取式プラズマ処理装置(RtoRプラズマ装置 評価テスト受付中)

繊維の搬送・処理に実績を持っており電子関連や先端材料まで幅広い用途に対応!

当社では、フィルムや金属箔などフレキシブルな基板のクリーニング・親水化などの 表面処理に適したRtoR式の「プラズマ処理装置」を取り扱っています。 真空プラズマにより基板や目的に合わせたプロセスガスやプラズマモードが 選択でき、大気圧プラズマでは困難なプロセスに対応しています。 実績豊富な巻取式スパッタリング装置と基本構造を共通化しており、 信頼性の向上とコスト低減を図っています。 薄膜成膜前の表面処理に有効で、有機物の除去や親水化などに 大きな効果が得られます。 【特長】 ■真空プラズマによる効果的な表面処理 ■プラズマモードが選択可能(DC・RF/イオンガン)でプロセスの最適化 ■柔軟なカスタマイズ対応 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他理化学機器
  • 加熱装置
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還元性プラズマクリーナー『Aqua Plasma クリーナー』

金属酸化膜の安全な還元と洗浄を実現!水蒸気を用いたプラズマ処理装置

『Aqua Plasma クリーナー』は、主に水蒸気を用いた プラズマ処理装置です。 金属酸化膜の還元、有機汚れの洗浄、フォトレジストアッシング、 親水化などの表面処理を、安全に効率よく行うことができます。 銀電極、銅電極の還元、改質、洗浄やその他酸化金属の還元、 樹脂の表面改質、親水化、アッシングなどに応用可能です。 【特長】 ■金属酸化膜の安全な還元と洗浄を実現 ■酸素の添加により洗浄速度の高速化が可能 ■水蒸気生成、供給量の自動コントロールシステムを内蔵 ■専用デザインにより、設置面積を従来の60%に削減 ■多段処理に対応(最大3段) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他洗浄機
  • プラズマ処理装置

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『High-Rate Depo. 圧電膜形成スパッタリング装置』

半導体、MEMS、電子部品等に!単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで高速かつ安定した連続成膜が可能!

『圧電膜形成スパッタリング装置』は、単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで連続成膜することが可能な製品です。 プラズマエミッションモニターによるプラズマ分析とフィードバック制御により、高速かつ安定したリアクティブスパッタ成膜、圧電特性低下に寄与する元素検知も可能です。 当社独自の急速昇降温基板加熱機構を搭載しており、基板温度900℃を実現します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • s1.png
  • s2.png
  • スパッタリング装置
  • プラズマ処理装置

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ダメージレスで接着性&濡れ性向上!大気圧広幅低温プラズマ処理機

デモ機有り! 初回は無償でサンプル作成いたします。 安価なガスで低温ダメージレスな大気圧プラズマ処理をインラインで!

表面処理機でお困りの方は是非お声掛けください。 プラズマ処理機、コロナ処理機、フレーム処理機、各種処理装置を取り揃えております。 アクシス社の大気圧プラズマは樹脂、ガラスや金属などへの接着性、密着性、親水性、印刷性の向上、コーティング、塗装、接着、密着の前処理、有機物の除去や洗浄などのクリーニングとしても有効です。 金属、ガラス、樹脂の表面活性なら是非お試しください。 弊社にて濡れ性の確認テストがすぐに行えます。 N2,O2,H2といった各種ガスは常備しており、 サンプルをご持参いただければすぐに処理いたします。 小型電極は既存のラインへ設置が容易です。 ポテンシャルフリーなため対象物をダメージレスで処理が出来、 繊細な表面を持つプラスチックの光学フィルム、金属箔への処理に効果を発揮します。 裏抜けの心配もなく均一な表面処理が可能です。 プラズマ以外の様々なデモ機がございます。 詳しくは弊社HPまで!

  • プラズマ発生装置
  • プラズマ表面処理装置
  • その他表面処理装置
  • プラズマ処理装置

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接着性&濡れ性向上!大気圧プラズマ処理装置ULS 

小型ノズルで取付場所を選びません。 狭いスペースでも処理が可能!デモ機あり! サンプル作成可能です!

マーケット最小クラスのプラズマノズルで取付、扱いが簡単です。 その重さたったの280g! 小型でありながら最大1000Wの出力で高速プラズマ処理が可能です。 特殊ガスを必要とせず、圧縮空気のみで動作できます。 タッチパネルで簡単操作、出力も自由に変更可能です。 最大1台の発信機で3本のノズルまで搭載可能。 デモ機でサンプル作成や貸出での現地テストも可能です。

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プラズマ処理機で表面改質!接着性&濡れ性向上を実現します

10mmから70mm幅ノズルまで、簡単作業で取替可能です。 一つの機械で幅広い用途に対応します。

プラズマ処理とは、表面に生成される官能基により、科学的結合を変化させて接着効果を得る、表面改質技術です。   空気中で放電することにより、発生したプラズマの電子・イオン・ラジカルが基材表面に接触します。 基材表面の分子とプラズマ中のイオン・電子が反応して、親水性官能基が生成され、表面が活性化し、接着性やぬれ性が向上します。 (=分子間力、ファンデルワース力の働き)  表面に残存する有機物や酸化物を除去することで、表面活性・クリーニング効果も得られます。  RAantec社プラズマ処理機は、Plasmajet (5 - 10mm) と Plasphere (20 - 70mm) の2種類のノズルがあります。 スポットタイプのPlasmajetは、狭い隙間や細い場所の処理、ケーブルや電線への印字前処理に好適です。 Plasphereは広い面積用ノズルで、20mmから70mmまでの先端ノズルを簡単に取替可能です。 大きめの樹脂や金属表面の表面改質・前処理に好適です。 詳しい情報は弊社ブログまで。 https://www.kbrasch.co.jp/blog/2021/03/31/302

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大気圧プラズマ処理装置 リードフレーム向け

独自プラズマソースにて、低温で高速に処理致します。 従来では困難な試料でも処理可能です。例:リードフレーム、フィルム等

・低温処理  耐熱性の低い基材でも処理が可能 ・高速処理  最大75mm幅のリニアヘッドで高速処理が可能 ・マルチヘッド 大面積用ヘッドから、1.6mmのミニビ~ムヘッド、 ハンディタイプ等、複数ヘッドが選択可能。凹凸形状にも対応 ・混合ガス   水素ガスを混合可能 ・樹脂、金属基材 ナイロン、ポリイミド、アルミ、チタン等 ・安定した処理:トレースアビリティがとれます。

  • プリント基板
  • プラズマ処理装置

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プラズマ技術資料プレゼント(魁半導体)

各部材の表面変化(金・樹脂・ガラスなど)・XPS測定での表面組成・経時変化等、プラズマについての技術資料がまとまってます。

目次 1.プラズマとは!? 2.表面改質の原理 3.プラズマ処理の効果 4.表面組成 5.経時変化 6.導入用途 7.真空・大気圧プラズマ 8.チューブプラズマ 9.粉体プラズマ処理 10.技術対応範囲

  • その他洗浄機
  • プラズマ処理装置

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真空装置 基板用平行平板プラズマ処理装置 PC-RIEシリーズ

処理可能基板サイズ550×650mm。無廃液化・低ランニングコストを実現。

「PC-RIEシリーズ」は、中型液晶基板、プリント基板等のアッシング、デスミア、表面改質、F系ガスエッチング等の処理が行えます。チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○真空プラズマ技術は従来の処理に比べて良環境化 →クリーン化,無廃液化 ○低ランニングコスト ○処理可能基板サイズ550×650mm その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。

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真空装置 平行平板評価用プラズマ処理装置  

半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広く利用

チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、APCを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○8,12インチ用装置も設計可能 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。

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