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ダブルヘッドタイプで最も大流量のシリーズ。並列で台数を増やすことが出来ます。
メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 【特長】 ■優れた気密性 リークタイト 1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He) ■コンタミネーション無し 構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない ■高い耐食性 接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン 又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、 接ガス部をALLメタル構造にすることができる ■長寿命 運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで 設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る ※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。
230℃の高温ガスでも使用可能なシリーズ。高温ガスの他、排ガス等のサンプリング分析に好適です。
メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 【特長】 ■優れた気密性 リークタイト 1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He) ■コンタミネーション無し 構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない ■高い耐食性 接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン 又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、 接ガス部をALLメタル構造にすることができる ■長寿命 運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで 設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る ※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。
高温ガス用途でシングルヘッドのシリーズです。280kPaまで昇圧可能です。
メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 【特長】 ■優れた気密性 リークタイト 1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He) ■コンタミネーション無し 構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない ■高い耐食性 接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン 又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、 接ガス部をALLメタル構造にすることができる ■長寿命 運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで 設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る ※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。
高温ガス対応のダブルヘッドのシリーズ。高温タイプでは最も大流量のラインアップとなります。
メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 【特長】 ■優れた気密性 リークタイト 1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He) ■コンタミネーション無し 構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない ■高い耐食性 接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン 又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、 接ガス部をALLメタル構造にすることができる ■長寿命 運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで 設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る ※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。
標準型では対応できない275kPaG以上の昇圧、循環用途で使用可能です。
メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 【特長】 ■優れた気密性 リークタイト 1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He) ■コンタミネーション無し 構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない ■高い耐食性 接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン 又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、 接ガス部をALLメタル構造にすることができる ■長寿命 運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで 設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る ※仕様詳細は、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。
ポンプ全体の気密性も高く設計！振動低減仕様・高温仕様・防爆仕様を追加しました！
伸栄産業が取り扱う株式会社IBSの『ダイアフラムポンプ』をご紹介します。 小型・軽量設計により機器内蔵が容易。ガス分析のサンプリング用として 適しております。 また、ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサとして使用できる 「メタルベローズポンプ」も取り扱っております。 【ダイアフラムポンプ 特長】 ■独自設計により、バルブ・ダイアフラムは長寿命 ■耐食性の要求される環境下でも使用可能 ■吸排気口（IN/OUT）はチューブ接続の為、くい込み式の継手にも対応可能 ■気液混合流体にも対応し、液体用（自吸式）としても使用可能 ■様々な要求仕様や用途に合わせ設計、製造が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
100%プラスティックによりイオンコンタミを排除したポンプ
【特長】 ◆金属部品一切なし。100%樹脂製。 ◆自吸性あり。高吸込揚程。 ◆処理液温度範囲：０℃〜160℃ ◆メンテナンスが極めて容易。所要時間は30分以内。 ◆ポンプの駆動源はドライエアー、または窒素。 ※詳細は『資料請求』まで
金属汚染の心配なし！接液部以外も金属部品を一切使用しておりません。
CMP用スラリー対応型 (酸化膜スラリー・メタル用スラリー)
