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フロンガス不使用のペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエッチングに好適！
『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応！ 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 【特長】 ■消費電力を最大93％削減 ■冷却水使用量を最大60％削減 ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計 ■騒音・振動を低減 ■19インチラックに収まるサイズで省スペース
コンパクト！正確な温度コントロール！コストパフォーマンスの優れたペルチェ冷却チラ-
冷却能力最大290WのTCubeEdgeはすぐれた温度信頼性であなたの機器のパフォーマンスを最適化して高い採算性をもたらします。TCubeEdgeは循環水の温度変化に素早く応答して0℃～65℃の温度コントロールにおいて室温付近でさえも±0.05℃の再現性を実現します。スムーズなフローを実現するCentrifugalポンプは動作時の振動がなく、レーザー、光学、分析装置の様々なアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。 200,000時間を越える寿命の電子温調モジュールを内部しているTCubeEdgeはコンプレッサーを用いず稼働部品もほとんどないため騒音・振動が極めて少ないです。フロンを用いないので環境に優しい製品です。
コンパクト！消費電力大幅削減！低騒音・低振動！フロンガス不使用！ペルチェ冷却チラー
冷却能力200W,300W,400W,600WのThermoCubeはささやきのような静粛性・低振動で、室温付近でさえも±0.05℃温度制度を維持します。 コアとなる電子温調モジュールは20万時間を越える寿命をもち、世界中の電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。オプションを多数用意しており、様々なカスタマイズが容易なデザインとなっています。フロンガス不使用で環境にやさしいチラーです。 ＊オプションに関してはお問合せ下さい
コンパクト！消費電力大幅削減！低騒音・低振動！フロンガス不使用！ペルチェ冷却チラー
冷却能力200W,300W,400W,600WのThermoCubeはささやきのような静粛性・低振動で、室温付近でさえも±0.05℃温度制度を維持します。 コアとなる電子温調モジュールは20万時間を越える寿命をもち、世界中の電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。オプションを多数用意しており、様々なカスタマイズが容易なデザインとなっています。フロンガス不使用で環境にやさしいチラーです。 ＊オプションに関してはお問合せ下さい 【特徴】 ■半導体製造装置の温度コントロール ■レーザーの冷却 ■ガス容器の温度コントロール ■スキャニング電子顕微鏡
フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適！消費電力最大60％削減！騒音・振動も防止！
『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー です。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応！ 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 【特長】 ■消費電力を最大60％削減 ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計 ■騒音・振動を低減
装置に組み込めるコンパクト設計でありながら160W～600W冷却能力と強力なポンプを内蔵したノンフロンペルチェチラー
信頼性の高い高性能ペルチェモジュールとSolidStateCoolingSystems社が開発した独自の特許技術を持つ熱交換プレートの組み合わせにより、非常にコンパクトながら高い冷却能力を発揮するチラーです。フロンガスを一切使用しておりませんので、GWP規制による使用制限やフロン管理のための点検作業が不要です。また、機械的部品をほとんど使用しておりませんので、振動や騒音も少なく、摩耗や劣化による不具合を軽減します。装置の組み込みにも最適です。 必要な仕様に応じて複数のラインアップから最適な1台を選択可能です。 ・冷却能力 ： 160W～600W ・ポンプ ： アプリケーションに応じて選択可能（ThermoCube) ・接液部材質 ： 異種金億による腐食防止を考慮した材質の選択が可能 (UC、TCube edge、ThermoCube) ・循環液 ： 水/エチレングリコール溶液、Koolance、フッ素系溶媒 対応モデルもあります(ThermoCube) ＊空冷式 水冷式モデルもあります(ThermoCube)
省エネ効果でカーボンニュートラル、カーボンプライシング対策に！ 温室効果ガスフリーで環境問題に貢献 ！
Solid State Cooling systems社のペルチェチラー は、高性能なペルチェ素子と独自技術で開発した液体を媒体とする高効率な熱交換プレートを組み合わせることにより、温度安定性と温度レスポンス性に優れたペルチェ素子の特徴を最大限に生かしたチラーです。従来のチラーで採用されている冷凍機とヒーターを用いた非効率な温度制御方式に比べて、省エネ、省スペース、低騒音、低振動、脱フロンといった、多くの革新性と優位性を備え、半導体、レーザー装置、分析機器、医療機器、ストレージ、航空技術、軍事産業など、特にシビアな温度制御が要求されるマーケットで豊富な納入実績があります。 ＜ペルチェチラーの特徴＞ ・温室効果ガスフリーで環境に対する悪影響が無い ・小型・軽量で騒音・振動が極めて少ない ・消費電力を最小限に抑えた使い方が出来る ・温度応答性がよく、優れた温度安定性 ・機械部品が少ないため、故障率が低い ＊置き換え事例をまとめたハンドブックを用意しています ・省エネ効果 ・安全対策 ・フロン対策 ・老朽化対策 ・省スペース効果 ・低振動効果
