コリオリ式マスフローコントローラType8756 高精度計測原理
ビュルケルトのコリオリ式計測原理の液体MFC（マスフローコントローラ）は10～280g/minの液体流量を計測・コントロール可能
ビュルケルトのコリオリMFC（液体マスフローコントローラ）は、10～280g/minの液体流量を計測・コントロールします。 市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。
- 企業：ビュルケルトジャパン株式会社
- 価格：100万円 ~ 500万円
マスフローコントローラ - メーカー・企業22社の製品一覧とランキング
更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
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マスフローコントローラのメーカー・企業ランキング
更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
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- ITWジャパン株式会社 東京都/機械要素・部品
- 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 東京都/機械要素・部品
- ブロンコスト・ジャパン株式会社 東京都/産業用電気機器
- 4 株式会社リンテック 東京営業所 東京都/機械要素・部品
- 5 株式会社ＩＢＳ 本社（大阪工場/大阪支店）、東京支店、中部支店 大阪府/その他製造
マスフローコントローラの製品ランキング
更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
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- 株式会社フジキン『マスフローコントローラ』 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated)
- マスフローコントローラ/メータ『5850Eシリーズ』 ITWジャパン株式会社
- マスフローコントローラ/メータ SLAMfシリーズ※国内防爆認証 ITWジャパン株式会社
- 4 マスフローコントローラ『Aera FC-R7700シリーズ』 株式会社ＩＢＳ 本社（大阪工場/大阪支店）、東京支店、中部支店
- 4 サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』 ITWジャパン株式会社
マスフローコントローラの製品一覧
61～75 件を表示 ／ 全 104 件
表示件数
汎用型マスフローコントローラ『1179C』
標準3インチフットプリントで既存のガスラインを変更することなく設置可能！
『1179C』は、様々なアプリケーションに対応する汎用型の マスフローコントローラです。 10sccm～20simのフルスケールレンジがあり、0.2sccmの低流量まで 高速で再現性の高い流量制御が可能です。 また適合する圧カトランスデューサを接続することで圧力制御装置 としても使用可能。ほとんどの一般的なMFCと直接置換え可能です。 電気コネクタは業界標準品と同じピン配置、信号および機能を備えた Dサブコネクタで、ケーブルやコネクタの変更も不要です。 MKSおよび他社のMFC電源、表示器と互換性があります。 【特長】 ■要求の厳しいプロセスに対応 ■特許1取得済みのセンサ設計により、優れたゼロ安定性 ■フルスケールレンジ10sccm～20simで正確で再現性の高い流量測定、制御 ■アナログはフルスケールのパーセント精度 ■高速ウォームアップでダウンタイム低減 ■他のMKS製MFC、電源リードアウトと互換性あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本エム・ケー・エス株式会社
- 価格：応相談
マスフローコントローラ『Type GM51A』
ユーザーインタフェース内蔵によりレンジとガス種を簡単に変更でき在庫を削減！
『Type GM51A』は、幅広い用途に適した1.125"（28.6mm）幅メタルシール、 N2換算フルスケール5sccm～50slmのマスフローコントローラです。 実績のある特許取得熱センサとデザインに、デジタルフロー制御 エレクトロニクスを組み合わせました。 MKS制御アルゴリズムを使ったデジタル制御エレクトロニクスにより、流量 セットポイントに対し標準応答時間500msecと高速で再現性の高い応答をします。 多彩なガス種にN2換算フルスケール5sccm～50slmのマルチレンジで使用可能。 100種以上のガスおよび混合ガスのパラメータが既にメモリ登録されています。 電解研磨仕上げメタルシールにより、高純度プロセス用途に適しています。 【特長】 ■特許取得済みのサーマルセンサ設計による優れたゼロ安定性 ■セットポイント1%(校正ガス)の高精度で正確なプロセスコントロール ■ユーザーインタフェース内蔵 ■レンジとガス種を簡単に変更でき在庫を削減 ■in-situで機器監視、データ収集可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本エム・ケー・エス株式会社
- 価格：応相談
ALICATマスフローコントローラーMCシリーズ（納期4週間）
混合ガスにも対応！アナログ出力、RS-232C通信・バックライト付き液晶表示器を標準搭載しています。現在納期4週間。
『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCS／MCRSシリーズ」や「MCW/MCRWシリーズ」「MCV/MCVSシリーズ」 などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本スターテクノ株式会社
- 価格：10万円 ~ 50万円
ALICAT マスフローコントローラーMCEシリーズSEMI規格
SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT社製のマスフローコントローラー。
『MCE/MCESシリーズ』は、SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■10SCCMから20SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本スターテクノ株式会社
- 価格：応相談
ALICAT バイオリアクター向け高精度マスフローコントローラー
アリキャット BIOシリーズ！ 信頼性、適応性、互換性のあるフローコントロール
【BIOシリーズ】は、ALICAT(アリキャット)社製のラミナーフロー方式(差圧式)による10msの高速応答ができるマスフローコントローラー。 ・長期間の安定性：極めて低いゼロドリフト ・プロセス水汚染に対する保証 ・高コントラスト、くっきりディスプレイ ・ASME（アメリカ機械学会）推奨：316Lステンレス鋼とUSPクラスVI、 FDA（食品医薬品局）グレードのエラストマー ・再校正なし、精度損失なしにガス選択切り替えが可能 ・産業用イーサネット ・ワイドレンジ流量：1SCCM～5000SLPM ・高速データ記録を可能にする応答速度10ms ・柔軟なプロセス接続（SAE標準）
- 企業：日本スターテクノ株式会社
- 価格：応相談
高圧用 スマートシリーズマスフローコントローラ SLA5850
アナログとデジタルの両方のインターフェイスを搭載
特徴的なバルブ構造により 30MPaまでの超高圧仕様にも対応可能な、マスフローコントローラ
- 企業：川口液化ケミカル株式会社 川口事業所
- 価格：応相談
サーマル式 液体用マスフローコントローラ
スルータイプのセンサーをを採用
新しい熱力学的原理センサ設計(国際特許)に基づいた、液体用マスフローコントローラ
- 企業：川口液化ケミカル株式会社 川口事業所
- 価格：応相談
コリオリ式 液体・ガス用マスフローコントローラ
画期的設計 (特許)のコリオリ式質量流量センサを採用
計測が困難とされる小流量の液体分野において 比類ない高精度とゼロ安定性を提供する、液体・ガス用マスフローコントローラ
- 企業：川口液化ケミカル株式会社 川口事業所
- 価格：応相談
マスフローコントローラ『Aera FC-R7800シリーズ』
設定値入力後1秒未満で流量安定！高精度・高信頼のメタルシールモデル！
『Aera FC-R7800シリーズ』は、高精度の流量制御を行うだけでなく、 メタルシールによる優れた高い気密性を備えたシステムです。 主要なガス制御アプリケーションに適しています。 ⾼感度、⾼速応答性の⼩型センサーを搭載するなど技術の進歩により、 優れた制御性を発揮します。 【特長】 ■耐腐食設計 ■メタルシール採用 ■VCR、Swagelok互換の接続部 ■10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ ■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ＩＢＳ 本社（大阪工場/大阪支店）、東京支店、中部支店
- 価格：応相談
デジタルマスフローコントローラ Aera Transformer
包括的な通信・制御！コスト削減に寄与する汎用性に優れたマスフローコントローラ
『Aera Transformer』は、CAD、PVD、拡散、エッチングなど様々な アプリケーションに適したデジタルマスフローコントローラです。 当製品が生み出す薄膜成長とエッチング特性は、優れた均質性とともに 高い再現性を誇ります。 優れた応答性、正確性、再現性によって、装置の生産性と生産歩留まりが 向上します。 【特長】 ■マルチガス・マルチレンジ ■高速応答性 ■100％メタルシール・高純度設計 ■DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ＩＢＳ 本社（大阪工場/大阪支店）、東京支店、中部支店
- 価格：応相談
マスフロー マスフローコントローラ REC-2324 TYPE
一般産業機器にマッチした２４V駆動の単電源マスフローコントローラーです。
構造としては、磁気追従式となっており、金属テーパー管内のフロートの動きを追従し、正確に外部に指示いたします。
- 企業：大阪フローメーター工業株式会社 本社
- 価格：応相談
電流導入端子接続部品 同軸 真空側プラグ付きカプトンケーブル
超高真空環境で使用可能。豊富なラインナップからお選びください。
電流導入端子接続部品 同軸 真空側プラグ付きカプトン(R)ケーブルは、超高真空環境で使用可能です。豊富なラインナップから、最適なアイテムをお選び下さい。材質はシェルがSUS303/SUS304/SUS304+金メッキ、絶縁体はPEEK(R)、ケーブルはカプトン(R)です。電圧（V max.DC）はBNCタイプが1,000、SHV/MHVタイプが5,000、SMAタイプが700です。電流（A max.）は3、使用温度範囲（℃）は-75～250になります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：コスモ・テック株式会社
- 価格：応相談
サーマル式マスフローコントローラ EL-FLOW Base
コスト低減と多様な用途における柔軟性を追求した、新しいマスフローコントローラ。
EL-FLOW Baseシリーズ マスフローコントローラはブロンコストの最新の技術を取り入れつつ、標準的な機能に絞り込んで価格を抑えた低価格モデルです。 特にOEM向けに開発されたファーストレスポンス・マスフローコントローラです。 一般的なガスへの用途では正確な計器と安定した制御を提供します。 EL-FLOW Baseは特にOEM装置への設置などにおいて大変経済的なコストソリューションを提供しています。 これまでのF-201CB, F-201ABに加え、最大流量200 ln/min AirのF-202BBが加わりました。 詳しくはカタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
mini CORI-FLOW マスフローコントローラ（流量計）
センサー応答が高速のため、高速制御が可能になったマスフローコントローラ
「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ（流量計）」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。 センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。 従って例えば、分給等へのアプリケーションが期待できます。 【特長】 ○本体直結調節弁 ○高速応答 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
