更新日： 集計期間:2025年11月26日～2025年12月23日
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超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。
圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない 高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム 【特徴】 ○シンプルでデットスペースレスな構造 ○優れた圧力変動特性 上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため 上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成 ○フローファクターの採用 様々なガス種に対応可能 ○優れた精度 ○流量自己診断機能の搭載 ○すばやい応答性 ○マウントポジションフリー ○デバイスネット通信にも対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
![ビュルケルト_ラボカタログ[圧縮版]](https://image.mono.ipros.com/public/default/object/noimage_l.gif?w=280&h=280)
ラボ用機器／研究用機器を、さらに小型化／効率化できます
ビュルケルトの各製品が、ラボ用機器などで、どのようにお役立ていただいているか、記載している資料です。 お客様の設計や製造の改善に、少しでもお役にたてば、と思っております。 イプロスのファイル容量の関係で（ファイル容量の制限が最大2MB）、こちらの資料は圧縮版（１枚に２ページ印刷の配布資料型式）となっております。 圧縮していないものをご希望の方は、ビュルケルトまでご連絡ください。
ビュルケルトのマスフローコントローラは小～大流量を1台で簡単に制御できます！微小～高差圧(10kPa～1.0MPa)も対応！
気体（ガス）の流量制御はマスフローコントローラ（MFC）がおすすめです！ Industry4.0で注目されるドイツ製造業。ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトから、IoT時代に対応した”簡単にお使い頂ける”マスフローコントローラの（MFC）のご提案です！ ●ご使用条件に合わせて校正し出荷しますので、納品後すぐ使用可能！ ●専用電源は不要（DC24Vにて起動）で簡単導入 ●小流量から大流量まで（例えば2500Nl/min(N2)まで）を一台で制御可能 ●インライン式センサ搭載により10kPaの低差圧でもスムーズな制御を実現 ●1.0 MPa(10bar)の高差圧でもスムーズな制御 ●樹脂シールとシャットオフ機能により完全な締め切りを実現 ●高速で指示値（セットポイント）に追従し安定（0.3～0.5秒以内） 【ビュルケルトならでは＆IoT世代】 ●アナログ入出力信号だけではなく、OpenCAN、フィールドバス、RS485等の通信方式にも柔軟に対応 ●保護等級IP65取得機種も準備 ●メンテナンス性や省スペース性にも特化したご提案も可能です！
ビュルケルトのコリオリ式計測原理の液体MFC（マスフローコントローラ）は10～280g/minの液体流量を計測・コントロール可能
ビュルケルトのコリオリMFC（液体マスフローコントローラ）は、10～280g/minの液体流量を計測・コントロールします。 市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。
標準3インチフットプリントで既存のガスラインを変更することなく設置可能！
『1179C』は、様々なアプリケーションに対応する汎用型の マスフローコントローラです。 10sccm～20simのフルスケールレンジがあり、0.2sccmの低流量まで 高速で再現性の高い流量制御が可能です。 また適合する圧カトランスデューサを接続することで圧力制御装置 としても使用可能。ほとんどの一般的なMFCと直接置換え可能です。 電気コネクタは業界標準品と同じピン配置、信号および機能を備えた Dサブコネクタで、ケーブルやコネクタの変更も不要です。 MKSおよび他社のMFC電源、表示器と互換性があります。 【特長】 ■要求の厳しいプロセスに対応 ■特許1取得済みのセンサ設計により、優れたゼロ安定性 ■フルスケールレンジ10sccm～20simで正確で再現性の高い流量測定、制御 ■アナログはフルスケールのパーセント精度 ■高速ウォームアップでダウンタイム低減 ■他のMKS製MFC、電源リードアウトと互換性あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ユーザーインタフェース内蔵によりレンジとガス種を簡単に変更でき在庫を削減！
『Type GM51A』は、幅広い用途に適した1.125"（28.6mm）幅メタルシール、 N2換算フルスケール5sccm～50slmのマスフローコントローラです。 実績のある特許取得熱センサとデザインに、デジタルフロー制御 エレクトロニクスを組み合わせました。 MKS制御アルゴリズムを使ったデジタル制御エレクトロニクスにより、流量 セットポイントに対し標準応答時間500msecと高速で再現性の高い応答をします。 多彩なガス種にN2換算フルスケール5sccm～50slmのマルチレンジで使用可能。 100種以上のガスおよび混合ガスのパラメータが既にメモリ登録されています。 電解研磨仕上げメタルシールにより、高純度プロセス用途に適しています。 【特長】 ■特許取得済みのサーマルセンサ設計による優れたゼロ安定性 ■セットポイント1%(校正ガス)の高精度で正確なプロセスコントロール ■ユーザーインタフェース内蔵 ■レンジとガス種を簡単に変更でき在庫を削減 ■in-situで機器監視、データ収集可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
混合ガスにも対応！アナログ出力、RS-232C通信・バックライト付き液晶表示器を標準搭載しています。現在納期4週間。
『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCS／MCRSシリーズ」や「MCW/MCRWシリーズ」「MCV/MCVSシリーズ」 などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT社製のマスフローコントローラー。
『MCE/MCESシリーズ』は、SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■10SCCMから20SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
アリキャット BIOシリーズ！ 信頼性、適応性、互換性のあるフローコントロール
【BIOシリーズ】は、ALICAT(アリキャット)社製のラミナーフロー方式(差圧式)による10msの高速応答ができるマスフローコントローラー。 ・長期間の安定性：極めて低いゼロドリフト ・プロセス水汚染に対する保証 ・高コントラスト、くっきりディスプレイ ・ASME（アメリカ機械学会）推奨：316Lステンレス鋼とUSPクラスVI、 FDA（食品医薬品局）グレードのエラストマー ・再校正なし、精度損失なしにガス選択切り替えが可能 ・産業用イーサネット ・ワイドレンジ流量：1SCCM～5000SLPM ・高速データ記録を可能にする応答速度10ms ・柔軟なプロセス接続（SAE標準）
アナログとデジタルの両方のインターフェイスを搭載
特徴的なバルブ構造により 30MPaまでの超高圧仕様にも対応可能な、マスフローコントローラ
スルータイプのセンサーをを採用
新しい熱力学的原理センサ設計(国際特許)に基づいた、液体用マスフローコントローラ
画期的設計 (特許)のコリオリ式質量流量センサを採用
計測が困難とされる小流量の液体分野において 比類ない高精度とゼロ安定性を提供する、液体・ガス用マスフローコントローラ
設定値入力後1秒未満で流量安定！高精度・高信頼のメタルシールモデル！
『Aera FC-R7800シリーズ』は、高精度の流量制御を行うだけでなく、 メタルシールによる優れた高い気密性を備えたシステムです。 主要なガス制御アプリケーションに適しています。 ⾼感度、⾼速応答性の⼩型センサーを搭載するなど技術の進歩により、 優れた制御性を発揮します。 【特長】 ■耐腐食設計 ■メタルシール採用 ■VCR、Swagelok互換の接続部 ■10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ ■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
包括的な通信・制御！コスト削減に寄与する汎用性に優れたマスフローコントローラ
『Aera Transformer』は、CAD、PVD、拡散、エッチングなど様々な アプリケーションに適したデジタルマスフローコントローラです。 当製品が生み出す薄膜成長とエッチング特性は、優れた均質性とともに 高い再現性を誇ります。 優れた応答性、正確性、再現性によって、装置の生産性と生産歩留まりが 向上します。 【特長】 ■マルチガス・マルチレンジ ■高速応答性 ■100％メタルシール・高純度設計 ■DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
一般産業機器にマッチした２４V駆動の単電源マスフローコントローラーです。
構造としては、磁気追従式となっており、金属テーパー管内のフロートの動きを追従し、正確に外部に指示いたします。
