高圧用 スマートシリーズマスフローコントローラ SLA5850
アナログとデジタルの両方のインターフェイスを搭載
特徴的なバルブ構造により 30MPaまでの超高圧仕様にも対応可能な、マスフローコントローラ
- 企業:川口液化ケミカル株式会社 川口事業所
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年08月20日~2025年09月16日
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アナログとデジタルの両方のインターフェイスを搭載
特徴的なバルブ構造により 30MPaまでの超高圧仕様にも対応可能な、マスフローコントローラ
スルータイプのセンサーをを採用
新しい熱力学的原理センサ設計(国際特許)に基づいた、液体用マスフローコントローラ
画期的設計 (特許)のコリオリ式質量流量センサを採用
計測が困難とされる小流量の液体分野において 比類ない高精度とゼロ安定性を提供する、液体・ガス用マスフローコントローラ
包括的な通信・制御!コスト削減に寄与する汎用性に優れたマスフローコントローラ
『Aera Transformer』は、CAD、PVD、拡散、エッチングなど様々な アプリケーションに適したデジタルマスフローコントローラです。 当製品が生み出す薄膜成長とエッチング特性は、優れた均質性とともに 高い再現性を誇ります。 優れた応答性、正確性、再現性によって、装置の生産性と生産歩留まりが 向上します。 【特長】 ■マルチガス・マルチレンジ ■高速応答性 ■100%メタルシール・高純度設計 ■DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
一般産業機器にマッチした24V駆動の単電源マスフローコントローラーです。
構造としては、磁気追従式となっており、金属テーパー管内のフロートの動きを追従し、正確に外部に指示いたします。
超高真空環境で使用可能。豊富なラインナップからお選びください。
電流導入端子接続部品 同軸 真空側プラグ付きカプトン(R)ケーブルは、超高真空環境で使用可能です。豊富なラインナップから、最適なアイテムをお選び下さい。材質はシェルがSUS303/SUS304/SUS304+金メッキ、絶縁体はPEEK(R)、ケーブルはカプトン(R)です。電圧(V max.DC)はBNCタイプが1,000、SHV/MHVタイプが5,000、SMAタイプが700です。電流(A max.)は3、使用温度範囲(℃)は-75~250になります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
コスト低減と多様な用途における柔軟性を追求した、新しいマスフローコントローラ。
EL-FLOW Baseシリーズ マスフローコントローラはブロンコストの最新の技術を取り入れつつ、標準的な機能に絞り込んで価格を抑えた低価格モデルです。 特にOEM向けに開発されたファーストレスポンス・マスフローコントローラです。 一般的なガスへの用途では正確な計器と安定した制御を提供します。 EL-FLOW Baseは特にOEM装置への設置などにおいて大変経済的なコストソリューションを提供しています。 これまでのF-201CB, F-201ABに加え、最大流量200 ln/min AirのF-202BBが加わりました。 詳しくはカタログをダウンロードしてご覧下さい。
センサー応答が高速のため、高速制御が可能になったマスフローコントローラ
「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ(流量計)」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。 センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。 従って例えば、分給等へのアプリケーションが期待できます。 【特長】 ○本体直結調節弁 ○高速応答 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【ポンプシステム 事例2】超臨界ガス計測と制御
超臨界付近の流体;炭酸ガス(CO2)やエチレン(C2H4)等の計測は容易ではありません。 例えば炭酸ガスCO2は温度が20℃以上、圧力が約30baraぐらいになりますと臨海域にはいります。 このような条件では、温度、圧力変化の結果として物理特性;密度や比熱が急激に変化します。 従って、これらの流体をサーマル式で計測するのは非常に困難になります。 「Mini CORI-FLOW(R)」は物理的特性に関係なく真のマスフロー計測ですので、これらの問題を一気に解決してくれます。 【適用例】 ○流体がガス状、液状又はそれらの端境であっても、分子そのものの質量を計測 ○この測定原理は高精密で安定測定を提供してくれることをフィールドで認証済み 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
欧州で圧倒的シェア!液体・ガスともに広範な流量レンジをカバーできる!マスフロー測定・制御機器の総合カタログ進呈中!
ヨーロッパの流量測定・制御分野で圧倒的シェアを誇るブロンコスト・ハイテックが取り扱う、マスフローメーター・マスフローコントローラーの流量計総合カタログです。目的に必要な精度や流量レンジを兼ね揃えた機器がきっとみつかる広範なラインナップです。 1981年以来、サーマル式とコリオリ式を中心に微流量~大流量まで広範なレンジに対応した高精度の製品を展開しています。世界各国のR&D、工業分野で採用されています。小流領域特化のコリオリ製品も注目です。 【こんなことでお困りの方へ】 ■温度・圧力変動時の再現性を良くしたい ■計器が場所を取る ■液体を変える度の再校正を減らしたい 【掲載内容】 ○EL-FLOWシリーズ ○IN-FLOWシリーズ ○EX-FLOWシリーズ ○LOW-ΔP-FLOWシリーズ ○EL-PRESSシリーズ ○OEMソリューション ○LIQUI-FLOWシリーズ 他 ◆その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
OEMに最適。コスト低減と多様な用途における柔軟性を追求した、アナログI/O専用サーマル式デジタルマスフローコントローラ
EL-FLOW Classicシリーズ デジタルマスフローコントローラは、ブロンコストの最新技術を盛り込みつつ、流量測定・制御という基本的な機能に特化して価格を抑えたモデルです。 アナログI/O対応(デジタル通信非対応)、標準ガス(Air, N2, H2, O2, He, Ar, CO, CO2, N2O, CH4)向けのみのラインナップとし、納期を短くしています。 詳しくはカタログをご覧になるか、お問合せ下さい。
詰まりにくく、低圧損のマスフローメータ・コントローラです。腐食性ガスにも適合します。専用設計のセンサと層流素子を搭載しています。
LOW-ΔP-FLOWシリーズは、低圧損アプリケーション用にブロンコスト・ハイテックが開発したマスフローメータ/コントローラです。低圧損構造のセンサと層流素子を採用しており、低差圧での運転に最適です。 最小レンジ:0.2...10 mln/min 最大レンジ:20...1000 m3n/h 特徴 ・極低圧損 ・詰まりにくくパージし易い構造 ・工業仕様のハウジング(IP65)提供可能 低圧損マスフローコントローラLOW-ΔP-FLOWはコンパクト設計で、フローメータ、調節弁をワンボディーに収納された構成になっています。これらコンパクトモデルの最大流量キャパシティーは、運転条件にもよりますが、1...50 ln/min(空気ベース)になります。低差圧で大流量制御の場合は、圧力補償型ベローズバルブと低圧損タイプ流量計(コントローラ内蔵)との組合せで提供します。 さらに、機器はコンパクトな通信用PCBを追加することにより各種フィールドバスプロトコルに対応致します;DeviceNetTM, Profibus-DP(R), EtherCAT, Modbus又はFLOW-BUSプロトコル
センサー応答が高速のため、高速制御が可能になったマスフローコントローラ ※ナノ学会出展
「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ(流量計)」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。 センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。 従って例えば、分給等へのアプリケーションが期待できます。 【特長】 ○本体直結調節弁 ○高速応答 ★ナノ学会第16回大会に出展します! 日時:2018年5月10日(木)~12日(土) 会場:東京大学 浅野キャンパス 武田先端知ビル 武田ホール 5F ぜひこの機会にお越しください。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
経済性に優れた高精度ラバーシール
半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションが展開されています。 FC-R7700シリーズは、高い信頼性と優れた性能でプロセスおよび装置エンジニアの業務の円滑化に対応いたします。
高精度・信頼性のメタルシールモデル
FC-R7800シリーズは、高精度の流量制御を行うだけでなく、 メタルシールによる優れた高い気密性を備え、主要なガス制御アプリケーションに適したシステムです。 業界標準またはAera独自の電気系接続部を選択できるため、利便性があり、既存のマスフローコントローラ(MFC)と素早く簡単に交換できます。