更新日： 集計期間:2025年10月01日～2025年10月28日
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装置や工程のスループット増加に貢献する、大流量、高圧マスフローコントローラ(MFC)
大流量、高圧仕様のマスフローコントローラはビュルケルト！ 業界内にあるマスフローコントローラはある程度、仕様が固まっているものが多いなか、お客様においては、「もっと流量を出したい」、「減圧せずに流したい」、などのさまざまご要望があることを、近年の活動で知り得ました。 【ビュルケルトの産業用マスフローは】 ●大流量 → ～2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●高圧仕様 → ～1.0MPaまで対応 また ●低差圧仕様 → 5KPaから対応 ●タイトシャット可能 → 別置き電磁弁の費用とスペースを削減 ●応答速度 → 300msec～ ●暖機運転 → 1min 【さらにIoT世代のマスフローとして】 ●各種通信規格に対応 EtherCAT、EtherNet/IP、 Modbus/TCP、 PROFINETなど各種通信に対応
非常に小さな差圧で計測し、圧力損失が非常に小さく、低圧で使用する環境に最適なマスフローコントローラー。現在納期約4週間。
『MCW/MCRWシリーズ』は、非常に小さな差圧で計測が可能なため、圧力損失も非常に小さく、低圧でご使用される環境に最適なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した「MCS/MCRSシリーズ」、などもラインアップしています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから1000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
MCV/MCVSシリーズ（真空用シャットオフバルブ搭載）のALICAT社製のマスフローコントローラー。
『MCV/MCVSシリーズ』は、真空用シャットオフバルブ搭載のALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■10SCCMから20SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
BASISシリーズ！ 対応ガスはAirを含めて8種類。
ALICAT（アリキャット）社の標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用し質量流量測定を行います。 ■100msの制御応答 ・PD制御により短時間で目標流量へ到達。流量変化にすばやく追従し、安定性のある流量制御を行います。 ・ウォームアップ時間は70ms。すぐの稼動が可能です。 ■アナログ出力/入力、RS-485通信を標準搭載 ・0-5VDC入力による制御流量の設定が可能です。 ・また現在流量を0-5VDCで出力。ロガーなどによる記録が可能。 ・RS-485を標準搭載。PLCなどによる一括監視が可能です。
半導体ウエハプロセス、LCDプロセス、光ファイバプロセス、一般研究用など、あらゆるプロセスに対応
コストパフォーマンスを徹底追及した、アナログマスフローコントローラ
真空製膜装置から研究実験装置まで幅広い用途に対応
ガス・真空・低温機器供給のR＆D、川口液化ケミカル社が取扱う ローコスト・マスフローコントローラのご紹介です
300mmウエハープロセスに対応
ワイドレンジでの高精度、高速応答を実現したマスフローコントローラ
標準のコネクタと寸法を確保！経済性に優れた高精度ラバーシールモデル
『Aera FC-R7700シリーズ』は、さまざまなアプリケーションにおいて フィールドで活躍するマスフローコントローラです。 高精度の流量制御に実力を発揮するとともに、ゴムシールの採用により 経済性を向上しています。 また、高速応答性で、設定値入力後2秒未満で流量が安定します。 【特長】 ■エラストマー(ゴム)シール ■VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部 ■10sccm〜200slmのフルスケール流量レンジ ■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ■1.0x10-7Pa・m3/sec(He)以下の外部リークレート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
次世代PI技術！圧力の影響を受けにくいIGS方式対応のマスフローコントローラ
『Aera PI-980』は、次世代の半導体製造プロセスに対する需要拡大を 予期して開発されたプレッシャーインセンシティブタイプのマスフロー コントローラです。 優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、 生産歩留まりを改善します。 また、実ガスによる精度検証済みで、マルチガス・マルチレンジにも 対応します。 【特長】 ■プレッシャーインセンシティブ（圧力の影響を受けにくい）制御が可能 ■高い計測精度と再現性 ■IGS方式対応 ■実ガスによる精度検証済み、マルチガス・マルチレンジにも対応 ■フィールドでのプログラムが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
優れた性能、運用汎用性、簡単な操作性を兼ね備え、大幅なコスト削減に寄与します
『Aera FC-DR980』は、優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する デジタルマスフローコントローラです。 高品質の電子部品と耐久性に富む設計により、過酷な操作に耐え、1年以上 経過してもフルスケール流量の0.5％以下という優れた長期的ゼロドリフト 安定性を発揮します。 【特長】 ■アナログ、アナログ/デジタル、デジタルのモード選択可能 ■ピエゾ制御バルブ ■各種のアラーム/診断機能 ■使用ガスおよび流量レンジの選択可能 ※マルチガス・マルチレンジ仕様モデルにより対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
短納期、低価格で提供！高真空、超高真空容器へ使用する絶縁端子
当製品は、高真空、超高真空容器へ使用する絶縁端子です。 極低温タイプの絶縁端子は1/4インチから3/8インチ、 真空タイプの絶縁端子は～DC60KV、3インチまでの径があります。 真空タイプはより径の大きい絶縁円筒端子があり、 ～DC20KV、8インチまでの径を取り揃えています。 【特長】 ■絶縁端子と、より径の大きい円筒絶縁端子をご用意 ■極低温タイプと真空タイプをラインアップ ■取付部は溶接タイプ、ICFフランジ、NWフランジ等から選択可能（真空タイプ） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
用途・目的に沿った理想の機器を提供。高品質商品を集めた流量計総合カタログ
ブロンコスト・ジャパン社が取り扱う マスフローメーター・マスフローコントローラーの流量計総合カタログです 1981年以来ブロンコスト・ハイテックサーマルとコリオリ式マスフローメータ コントローラの分野で広範囲に渡る製品群を提供し続けています。 数多くのタイプの標準的、又はカストマイズされた計測機器がR&D分野 種々の工業分野又は危険場所でのアプリケーションにご利用いただいています。 【掲載内容】 ○EL-FROWシリーズ ○IN-FROWシリーズ ○Ex-FROWシリーズ ○LOW-P-FLOWシリーズ ○EL-PRESSシリーズ ○OEMソリューション ○LIQUI-FLOWシリーズ 他 ◆その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
700barまで対応できる高圧対応の流量計！用途・目的に沿った理想の機器を提供。高品質商品を集めた流量計総合カタログ
ブロンコスト・ジャパン社が取り扱う マスフローメーター・マスフローコントローラー（流量計）の総合カタログです 1981年以来ブロンコスト・ハイテックサーマルとコリオリ式マスフローメータ コントローラの分野で広範囲に渡る製品群を提供し続けています。 数多くのタイプの標準的、又はカストマイズされた計測機器がR&D分野 種々の工業分野又は危険場所でのアプリケーションにご利用いただいています。 【掲載内容】 ○EL-FLOWシリーズ ○IN-FLOWシリーズ ○Ex-FLOWシリーズ ○LOW-DP-FLOWシリーズ ○EL-PRESSシリーズ ○OEMソリューション ○LIQUI-FLOWシリーズ 他 ◆その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
用途・目的に沿った理想の機器を提供。高品質商品を集めた流量計総合カタログ
ブロンコスト・ジャパン社が取り扱う マスフローメーター・マスフローコントローラー（流量計）の総合カタログです 1981年以来ブロンコスト・ハイテックサーマルとコリオリ式マスフローメータ コントローラの分野で広範囲に渡る製品群を提供し続けています。 数多くのタイプの標準的、又はカストマイズされた計測機器がR&D分野 種々の工業分野又は危険場所でのアプリケーションにご利用いただいています。 【掲載内容】 ○EL-FROWシリーズ ○IN-FROWシリーズ ○Ex-FROWシリーズ ○LOW-P-FLOWシリーズ ○EL-PRESSシリーズ ○OEMソリューション ○LIQUI-FLOWシリーズ 他 ◆その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
11000ｍ3/hまで対応できる大流量対応の流量計！用途・目的に沿った理想の機器を提供。高品質商品を集めた流量計総合カタログ
ブロンコスト・ジャパン社が取り扱う マスフローメーター・マスフローコントローラー（流量計）の総合カタログです 1981年以来ブロンコスト・ハイテックサーマルとコリオリ式マスフローメータ コントローラの分野で広範囲に渡る製品群を提供し続けています。 数多くのタイプの標準的、又はカストマイズされた計測機器がR&D分野 種々の工業分野又は危険場所でのアプリケーションにご利用いただいています。 【掲載内容】 ○EL-FROWシリーズ ○IN-FROWシリーズ ○Ex-FROWシリーズ ○LOW-P-FLOWシリーズ ○EL-PRESSシリーズ ○OEMソリューション ○LIQUI-FLOWシリーズ 他 ◆その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
