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非常に小さな差圧で計測し、圧力損失が非常に小さく、低圧で使用する環境に最適なマスフローコントローラー。現在納期約4週間。
『MCW/MCRWシリーズ』は、非常に小さな差圧で計測が可能なため、圧力損失も非常に小さく、低圧でご使用される環境に最適なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した「MCS/MCRSシリーズ」、などもラインアップしています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから1000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
MCV/MCVSシリーズ（真空用シャットオフバルブ搭載）のALICAT社製のマスフローコントローラー。
『MCV/MCVSシリーズ』は、真空用シャットオフバルブ搭載のALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■10SCCMから20SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
BASISシリーズ！ 対応ガスはAirを含めて8種類。
ALICAT（アリキャット）社の標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用し質量流量測定を行います。 ■100msの制御応答 ・PD制御により短時間で目標流量へ到達。流量変化にすばやく追従し、安定性のある流量制御を行います。 ・ウォームアップ時間は70ms。すぐの稼動が可能です。 ■アナログ出力/入力、RS-485通信を標準搭載 ・0-5VDC入力による制御流量の設定が可能です。 ・また現在流量を0-5VDCで出力。ロガーなどによる記録が可能。 ・RS-485を標準搭載。PLCなどによる一括監視が可能です。
半導体ウエハプロセス、LCDプロセス、光ファイバプロセス、一般研究用など、あらゆるプロセスに対応
コストパフォーマンスを徹底追及した、アナログマスフローコントローラ
真空製膜装置から研究実験装置まで幅広い用途に対応
ガス・真空・低温機器供給のR＆D、川口液化ケミカル社が取扱う ローコスト・マスフローコントローラのご紹介です
300mmウエハープロセスに対応
ワイドレンジでの高精度、高速応答を実現したマスフローコントローラ
標準のコネクタと寸法を確保！経済性に優れた高精度ラバーシールモデル
『Aera FC-R7700シリーズ』は、さまざまなアプリケーションにおいて フィールドで活躍するマスフローコントローラです。 高精度の流量制御に実力を発揮するとともに、ゴムシールの採用により 経済性を向上しています。 また、高速応答性で、設定値入力後2秒未満で流量が安定します。 【特長】 ■エラストマー(ゴム)シール ■VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部 ■10sccm〜200slmのフルスケール流量レンジ ■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ■1.0x10-7Pa・m3/sec(He)以下の外部リークレート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
次世代PI技術！圧力の影響を受けにくいIGS方式対応のマスフローコントローラ
『Aera PI-980』は、次世代の半導体製造プロセスに対する需要拡大を 予期して開発されたプレッシャーインセンシティブタイプのマスフロー コントローラです。 優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、 生産歩留まりを改善します。 また、実ガスによる精度検証済みで、マルチガス・マルチレンジにも 対応します。 【特長】 ■プレッシャーインセンシティブ（圧力の影響を受けにくい）制御が可能 ■高い計測精度と再現性 ■IGS方式対応 ■実ガスによる精度検証済み、マルチガス・マルチレンジにも対応 ■フィールドでのプログラムが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
優れた性能、運用汎用性、簡単な操作性を兼ね備え、大幅なコスト削減に寄与します
『Aera FC-DR980』は、優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する デジタルマスフローコントローラです。 高品質の電子部品と耐久性に富む設計により、過酷な操作に耐え、1年以上 経過してもフルスケール流量の0.5％以下という優れた長期的ゼロドリフト 安定性を発揮します。 【特長】 ■アナログ、アナログ/デジタル、デジタルのモード選択可能 ■ピエゾ制御バルブ ■各種のアラーム/診断機能 ■使用ガスおよび流量レンジの選択可能 ※マルチガス・マルチレンジ仕様モデルにより対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
短納期、低価格で提供！高真空、超高真空容器へ使用する絶縁端子
当製品は、高真空、超高真空容器へ使用する絶縁端子です。 極低温タイプの絶縁端子は1/4インチから3/8インチ、 真空タイプの絶縁端子は～DC60KV、3インチまでの径があります。 真空タイプはより径の大きい絶縁円筒端子があり、 ～DC20KV、8インチまでの径を取り揃えています。 【特長】 ■絶縁端子と、より径の大きい円筒絶縁端子をご用意 ■極低温タイプと真空タイプをラインアップ ■取付部は溶接タイプ、ICFフランジ、NWフランジ等から選択可能（真空タイプ） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
用途・目的に沿った理想の機器を提供。高品質商品を集めた流量計総合カタログ
ブロンコスト・ジャパン社が取り扱う マスフローメーター・マスフローコントローラーの流量計総合カタログです 1981年以来ブロンコスト・ハイテックサーマルとコリオリ式マスフローメータ コントローラの分野で広範囲に渡る製品群を提供し続けています。 数多くのタイプの標準的、又はカストマイズされた計測機器がR&D分野 種々の工業分野又は危険場所でのアプリケーションにご利用いただいています。 【掲載内容】 ○EL-FROWシリーズ ○IN-FROWシリーズ ○Ex-FROWシリーズ ○LOW-P-FLOWシリーズ ○EL-PRESSシリーズ ○OEMソリューション ○LIQUI-FLOWシリーズ 他 ◆その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
マスフローコントローラのバルブ詰りなどのトラブル事例を掲載！
『マスフローコントローラ トラブル事例集』は、マスフローコントローラに関する 様々なトラブルの事象、原因、対応等の事例を掲載した事例集です。 【掲載事例】 ■マスフローコントローラのバルブ詰り ■マスフローへのオイル混入 ■マスフローのバルブ不具合 ■マスフローコントローラ 流量が出ない ■マスフローが流れにくい ほか 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ブロンコスト製品をお使いのお客様のためのサポートサービスです。24時間・週7日対応のサービスラインをご利用頂けます。
ブロンコスト製品をお使いのお客様のためのサービス体制です。全世界のサービス網により、夜間対応も可能です。
100msの制御応答、±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度、アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載
★ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 ★流量変化にすばやく追従。高速制御応答により希望の流量を短時間で得ることができます。 ★流量設定はフロントスイッチ操作のほか、アナログ入力、 RS-232C通信による設定も可能です。 ★質量流量 0-5VDC 出力を標準搭載。0-10VDC、1-5VDC、4-20mADCのご指定も可能です。また追加でアナログ第2出力も可能です。 ★微少の 0.5SCCM タイプから大流量の 5000SLPM タイプまで幅広くラインナップ。 ★混合ガスを含め98種類のガスが1台で制御が可能です。ガスの選択はフロントのスイッチ操作で簡単に行えます。 詳しくはお問い合わせいただくかカタログをダウンロードください。
明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術
この画期的な技術プラットフォームは、従来の技術と比べて、応答性、ガス流量安定性、計測精度を向上させるとともに、リアルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。 PI-980シリーズは、従来型のサーマル式の構造に、圧力センサ、温度センサならびに当社独自のNeuralStep制御技術を一体化することによって、従来型の製品に使われていたハイコストなガスパネル部品の必要性を減少します。また、マルチガス・マルチレンジ機能により、予備在庫の必要性が劇的に減り、コスト効率の改善にいっそう貢献します。 この次世代MFC技術は、統合診断機能に加え、フィールドですでに実績のある当社のD980シリーズ製品のプラットフォームと組み合わせたことで、装置稼働時間を向上させるとともに、迅速かつ容易なトラブルシューティングを実現します。
