マスフローコントローラのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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マスフローコントローラ - メーカー・企業20社の業務用製品ランキング | イプロスものづくり

更新日： 集計期間:2026年06月10日～2026年07月07日
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マスフローコントローラのメーカー・企業ランキング

更新日： 集計期間:2026年06月10日～2026年07月07日
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  1. ITWジャパン株式会社 東京都/機械要素・部品
  2. 日本スターテクノ株式会社 茨城県/産業用電気機器
  3. 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 東京都/機械要素・部品
  4. 4 ブロンコスト・ジャパン株式会社 東京都/産業用電気機器
  5. 5 コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡 京都府/産業用機械
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マスフローコントローラの製品ランキング

更新日： 集計期間:2026年06月10日～2026年07月07日
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  1. ALICAT 熱式流量計 小型ローコストマスフローコントローラー 日本スターテクノ株式会社
  2. 株式会社フジキン『マスフローコントローラ』 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated)
  3. マスフローコントローラ/メータ『5850Eシリーズ』 ITWジャパン株式会社
  4. 4 サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』 ITWジャパン株式会社
  5. 5 マスフローコントローラ/メータ　SLAMfシリーズ※国内防爆認証 ITWジャパン株式会社

マスフローコントローラの製品一覧

61～90 件を表示 ／ 全 109 件

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多様なガスやエアーの流量を確実に制御するマスフローコントローラ！

多様なガスやエアーの流量を確実に制御するマスフローコントローラ！

ビュルケルトのマスフローコントローラは小～大流量を1台で簡単に制御できます！微小～高差圧(10kPa～1.0MPa)も対応！

気体（ガス）の流量制御はマスフローコントローラ（MFC）がおすすめです！ Industry4.0で注目されるドイツ製造業。ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトから、IoT時代に対応した”簡単にお使い頂ける”マスフローコントローラの（MFC）のご提案です！ ●ご使用条件に合わせて校正し出荷しますので、納品後すぐ使用可能！ ●専用電源は不要（DC24Vにて起動）で簡単導入 ●小流量から大流量まで（例えば2500Nl/min(N2)まで）を一台で制御可能 ●インライン式センサ搭載により10kPaの低差圧でもスムーズな制御を実現 ●1.0 MPa(10bar)の高差圧でもスムーズな制御 ●樹脂シールとシャットオフ機能により完全な締め切りを実現 ●高速で指示値（セットポイント）に追従し安定（0.3～0.5秒以内） 【ビュルケルトならでは＆IoT世代】 ●アナログ入出力信号だけではなく、OpenCAN、フィールドバス、RS485等の通信方式にも柔軟に対応 ●保護等級IP65取得機種も準備 ●メンテナンス性や省スペース性にも特化したご提案も可能です！

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  • 流量制御
  • マスフローコントローラ

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コリオリ式マスフローコントローラType8756 高精度計測原理

コリオリ式マスフローコントローラType8756 高精度計測原理

ビュルケルトのコリオリ式計測原理の液体MFC（マスフローコントローラ）は10～280g/minの液体流量を計測・コントロール可能

ビュルケルトのコリオリMFC（液体マスフローコントローラ）は、10～280g/minの液体流量を計測・コントロールします。 市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。

  • バルブ
  • マスフローコントローラ

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汎用型マスフローコントローラ『1179C』

汎用型マスフローコントローラ『1179C』

標準3インチフットプリントで既存のガスラインを変更することなく設置可能！

『1179C』は、様々なアプリケーションに対応する汎用型の マスフローコントローラです。 10sccm～20simのフルスケールレンジがあり、0.2sccmの低流量まで 高速で再現性の高い流量制御が可能です。 また適合する圧カトランスデューサを接続することで圧力制御装置 としても使用可能。ほとんどの一般的なMFCと直接置換え可能です。 電気コネクタは業界標準品と同じピン配置、信号および機能を備えた Dサブコネクタで、ケーブルやコネクタの変更も不要です。 MKSおよび他社のMFC電源、表示器と互換性があります。 【特長】 ■要求の厳しいプロセスに対応 ■特許1取得済みのセンサ設計により、優れたゼロ安定性 ■フルスケールレンジ10sccm～20simで正確で再現性の高い流量測定、制御 ■アナログはフルスケールのパーセント精度 ■高速ウォームアップでダウンタイム低減 ■他のMKS製MFC、電源リードアウトと互換性あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • コントローラ
  • マスフローコントローラ

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マスフローコントローラ『Type GM51A』

マスフローコントローラ『Type GM51A』

ユーザーインタフェース内蔵によりレンジとガス種を簡単に変更でき在庫を削減！

『Type GM51A』は、幅広い用途に適した1.125"（28.6mm）幅メタルシール、 N2換算フルスケール5sccm～50slmのマスフローコントローラです。 実績のある特許取得熱センサとデザインに、デジタルフロー制御 エレクトロニクスを組み合わせました。 MKS制御アルゴリズムを使ったデジタル制御エレクトロニクスにより、流量 セットポイントに対し標準応答時間500msecと高速で再現性の高い応答をします。 多彩なガス種にN2換算フルスケール5sccm～50slmのマルチレンジで使用可能。 100種以上のガスおよび混合ガスのパラメータが既にメモリ登録されています。 電解研磨仕上げメタルシールにより、高純度プロセス用途に適しています。 【特長】 ■特許取得済みのサーマルセンサ設計による優れたゼロ安定性 ■セットポイント1%(校正ガス)の高精度で正確なプロセスコントロール ■ユーザーインタフェース内蔵 ■レンジとガス種を簡単に変更でき在庫を削減 ■in-situで機器監視、データ収集可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • コントローラ
  • その他プロセス制御
  • マスフローコントローラ

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ALICAT製品～12000SLPM：納期4～8週間／マスフロー

ALICAT製品～12000SLPM：納期4～8週間／マスフロー

混合ガスを含め1台で98種のガスに対応。±0.6% RDの正確さで高速応答。コントローラーは50ms-100msの制御応答。

『M/MCシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローメーター／コントローラーです。 【納期】 アリキャット製品の以下モデルの納期は 約４週間 となります。 ・フルスケール 2 mL/min ～ 1000 L/minの標準仕様のモデル　(M/MB/MC) ・フルスケール 2 mL/min ～ 100 L/minの低圧力損失のモデル　(MW/MWB/MCW) ※追加オプションの種類により納期が異なります。 ※コントローラーは圧力条件により納期が異なります。 それ以外のモデル、再校正、合計20台以上の納期は 6～8週間 となります。 【説明】 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■±0.6% RD(16.7～100% FS)の高い流量精度 ■0.5SCCMから12000SLPMまでラインアップ ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • IPROS96170152926107920888.png
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  • 流量制御
  • コリオリ式流量計
  • マスフローコントローラ

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ALICAT マスフローコントローラーMCS（腐食性／冷媒ガス）

ALICAT マスフローコントローラーMCS（腐食性／冷媒ガス）

高速応答・高速制御を実現！混合ガス対応！アナログ出力、RS-232C通信・バックライト付き液晶表示器を標準搭載。納期6-8週間。

『MCS/MCRSシリーズ』は、腐食性ガス／冷媒ガスを含め1台で128種類のガス流量の計測が可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから3000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ALICAT マスフローコントローラー MCE (SEMI規格)

ALICAT マスフローコントローラー MCE (SEMI規格)

SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT社製のマスフローコントローラー。納期6-8週間。

『MCE/MCESシリーズ』は、SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■10SCCMから20SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ALICAT マスフローコントローラーMCQ（高圧）

ALICAT マスフローコントローラーMCQ（高圧）

最大動作圧力は320PSIA(2.2MPaA)。耐圧は400PSIA(2.7MPaA)。混合ガスにも対応！納期6-8週間。

『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製の高圧タイプのマスフローコントローラーです。　 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCHQS／MCRQSシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ALICAT マスフローコントローラー MCD（デュアルバルブ）

ALICAT マスフローコントローラー MCD（デュアルバルブ）

バルブ2基搭載し双方向制御が可能。加圧や負圧、真空引きでの制御が行えます。腐食性ガスや低圧力損失対応モデル有。納期6-8週間。

『MCD/MCDSシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCDSシリーズ」や「MCDWシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ALICAT　バイオリアクター向け高精度マスフローコントローラー

ALICAT　バイオリアクター向け高精度マスフローコントローラー

アリキャット BIOシリーズ！ 信頼性、適応性、互換性のあるフローコントロール。納期6-8週間。

【BIOシリーズ】は、ALICAT(アリキャット)社製のラミナーフロー方式(差圧式)による10msの高速応答ができるマスフローコントローラー。 ・長期間の安定性：極めて低いゼロドリフト ・プロセス水汚染に対する保証 ・高コントラスト、くっきりディスプレイ ・ASME（アメリカ機械学会）推奨：316Lステンレス鋼とUSPクラスVI、 FDA（食品医薬品局）グレードのエラストマー ・再校正なし、精度損失なしにガス選択切り替えが可能 ・産業用イーサネット ・ワイドレンジ流量：1SCCM～5000SLPM ・高速データ記録を可能にする応答速度10ms ・柔軟なプロセス接続（SAE標準）

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  • 流量計
  • その他 流量計
  • バイオガス
  • マスフローコントローラ

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高圧用　スマートシリーズマスフローコントローラ　SLA5850

高圧用　スマートシリーズマスフローコントローラ　SLA5850

アナログとデジタルの両方のインターフェイスを搭載

特徴的なバルブ構造により 30MPaまでの超高圧仕様にも対応可能な、マスフローコントローラ

  • 流量制御
  • マスフローコントローラ

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サーマル式　液体用マスフローコントローラ　

サーマル式　液体用マスフローコントローラ　

スルータイプのセンサーをを採用

新しい熱力学的原理センサ設計(国際特許)に基づいた、液体用マスフローコントローラ

  • 流量制御
  • マスフローコントローラ

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コリオリ式　液体・ガス用マスフローコントローラ

コリオリ式　液体・ガス用マスフローコントローラ

画期的設計 (特許)のコリオリ式質量流量センサを採用

計測が困難とされる小流量の液体分野において 比類ない高精度とゼロ安定性を提供する、液体・ガス用マスフローコントローラ

  • 流量制御
  • マスフローコントローラ

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マスフロー　マスフローコントローラ　REC-2324 TYPE

マスフロー　マスフローコントローラ　REC-2324 TYPE

一般産業機器にマッチした２４V駆動の単電源マスフローコントローラーです。

構造としては、磁気追従式となっており、金属テーパー管内のフロートの動きを追従し、正確に外部に指示いたします。

  • 流量計
  • 流量制御
  • マスフローコントローラ

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電流導入端子接続部品　同軸 真空側プラグ付きカプトンケーブル

電流導入端子接続部品　同軸 真空側プラグ付きカプトンケーブル

超高真空環境で使用可能。豊富なラインナップからお選びください。

電流導入端子接続部品　同軸 真空側プラグ付きカプトン(R)ケーブルは、超高真空環境で使用可能です。豊富なラインナップから、最適なアイテムをお選び下さい。材質はシェルがSUS303/SUS304/SUS304+金メッキ、絶縁体はPEEK(R)、ケーブルはカプトン(R)です。電圧（V max.DC）はBNCタイプが1,000、SHV/MHVタイプが5,000、SMAタイプが700です。電流（A max.）は3、使用温度範囲（℃）は-75～250になります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

  • その他電子部品
  • ケーブル
  • マスフローコントローラ

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サーマル式マスフローコントローラ　EL-FLOW Base

サーマル式マスフローコントローラ　EL-FLOW Base

コスト低減と多様な用途における柔軟性を追求した、新しいマスフローコントローラ。

EL-FLOW Baseシリーズ　マスフローコントローラはブロンコストの最新の技術を取り入れつつ、標準的な機能に絞り込んで価格を抑えた低価格モデルです。 特にOEM向けに開発されたファーストレスポンス・マスフローコントローラです。 一般的なガスへの用途では正確な計器と安定した制御を提供します。 EL-FLOW Baseは特にOEM装置への設置などにおいて大変経済的なコストソリューションを提供しています。 これまでのF-201CB, F-201ABに加え、最大流量200 ln/min AirのF-202BBが加わりました。 詳しくはカタログをダウンロードしてご覧下さい。

  • その他計測・記録・測定器
  • 流量計
  • マスフローコントローラ

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mini CORI-FLOW マスフローコントローラ（流量計）

mini CORI-FLOW マスフローコントローラ（流量計）

センサー応答が高速のため、高速制御が可能になったマスフローコントローラ

「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ（流量計）」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。 センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。 従って例えば、分給等へのアプリケーションが期待できます。 【特長】 ○本体直結調節弁 ○高速応答 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • 流量計
  • 流量制御
  • マスフローコントローラ

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mini CORI-FLOWの適用（ポンプシステム　事例2）

mini CORI-FLOWの適用（ポンプシステム　事例2）

【ポンプシステム　事例2】超臨界ガス計測と制御

超臨界付近の流体；炭酸ガス(CO2)やエチレン(C2H4)等の計測は容易ではありません。 例えば炭酸ガスCO2は温度が20℃以上、圧力が約30baraぐらいになりますと臨海域にはいります。 このような条件では、温度、圧力変化の結果として物理特性；密度や比熱が急激に変化します。 従って、これらの流体をサーマル式で計測するのは非常に困難になります。 「Mini CORI-FLOW(R)」は物理的特性に関係なく真のマスフロー計測ですので、これらの問題を一気に解決してくれます。 【適用例】 ○流体がガス状、液状又はそれらの端境であっても、分子そのものの質量を計測 ○この測定原理は高精密で安定測定を提供してくれることをフィールドで認証済み 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • 流量制御
  • その他ポンプ
  • その他プロセス制御
  • マスフローコントローラ

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流量計マスフローメーター・マスフローコントローラー　総合カタログ

流量計マスフローメーター・マスフローコントローラー　総合カタログ

欧州で圧倒的シェア！液体・ガスともに広範な流量レンジをカバーできる！マスフロー測定・制御機器の総合カタログ進呈中！

ヨーロッパの流量測定・制御分野で圧倒的シェアを誇るブロンコスト・ハイテックが取り扱う、マスフローメーター・マスフローコントローラーの流量計総合カタログです。目的に必要な精度や流量レンジを兼ね揃えた機器がきっとみつかる広範なラインナップです。 1981年以来、サーマル式とコリオリ式を中心に微流量～大流量まで広範なレンジに対応した高精度の製品を展開しています。世界各国のＲ＆Ｄ、工業分野で採用されています。小流領域特化のコリオリ製品も注目です。 【こんなことでお困りの方へ】 ■温度・圧力変動時の再現性を良くしたい ■計器が場所を取る ■液体を変える度の再校正を減らしたい 【掲載内容】 ○EL-FLOWシリーズ ○IN-FLOWシリーズ ○EX-FLOWシリーズ ○LOW-ΔP-FLOWシリーズ ○EL-PRESSシリーズ ○OEMソリューション ○LIQUI-FLOWシリーズ　　他 ◆その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

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マスフローコントローラ EL-FLOW Classic

マスフローコントローラ EL-FLOW Classic

OEMに最適。コスト低減と多様な用途における柔軟性を追求した、アナログI/O専用サーマル式デジタルマスフローコントローラ

EL-FLOW Classicシリーズ　デジタルマスフローコントローラは、ブロンコストの最新技術を盛り込みつつ、流量測定・制御という基本的な機能に特化して価格を抑えたモデルです。 アナログI/O対応(デジタル通信非対応)、標準ガス(Air, N2, H2, O2, He, Ar, CO, CO2, N2O, CH4)向けのみのラインナップとし、納期を短くしています。 詳しくはカタログをご覧になるか、お問合せ下さい。

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LOW-ΔP-FLOW低圧損・腐食性ガス用マスフローコントローラ

LOW-ΔP-FLOW低圧損・腐食性ガス用マスフローコントローラ

詰まりにくく、低圧損のマスフローメータ・コントローラです。腐食性ガスにも適合します。専用設計のセンサと層流素子を搭載しています。

LOW-ΔP-FLOWシリーズは、低圧損アプリケーション用にブロンコスト・ハイテックが開発したマスフローメータ/コントローラです。低圧損構造のセンサと層流素子を採用しており、低差圧での運転に最適です。 最小レンジ：0.2...10 mln/min 最大レンジ：20...1000 m3n/h 特徴 ・極低圧損 ・詰まりにくくパージし易い構造 ・工業仕様のハウジング(IP65)提供可能 低圧損マスフローコントローラLOW-ΔP-FLOWはコンパクト設計で、フローメータ、調節弁をワンボディーに収納された構成になっています。これらコンパクトモデルの最大流量キャパシティーは、運転条件にもよりますが、1...50 ln/min（空気ベース）になります。低差圧で大流量制御の場合は、圧力補償型ベローズバルブと低圧損タイプ流量計（コントローラ内蔵）との組合せで提供します。 さらに、機器はコンパクトな通信用PCBを追加することにより各種フィールドバスプロトコルに対応致します；DeviceNetTM, Profibus-DP(R), EtherCAT, Modbus又はFLOW-BUSプロトコル

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mini CORI-FLOW マスフローコントローラ（流量計）

mini CORI-FLOW マスフローコントローラ（流量計）

センサー応答が高速のため、高速制御が可能になったマスフローコントローラ　※ナノ学会出展

「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ（流量計）」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。 センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。 従って例えば、分給等へのアプリケーションが期待できます。 【特長】 ○本体直結調節弁 ○高速応答 ★ナノ学会第16回大会に出展します！ 日時：2018年5月10日（木）～12日（土） 会場：東京大学 浅野キャンパス 武田先端知ビル 武田ホール 5F ぜひこの機会にお越しください。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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マスフローコントローラー『SFC6000D-5slm』

マスフローコントローラー『SFC6000D-5slm』

使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢です！半導体・分析機器・医療機器用

『SFC6000D-5slm』は、優れた価格性能比と納期が8週間という 非常に魅力的なマスフローコントローラーです。 小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化でき、 特にポータブルデバイスにとって決定的な利点に。 さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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マスフローコントローラー『SFC6000D-20slm』

マスフローコントローラー『SFC6000D-20slm』

優れた価格性能比！納期が8週間という非常に魅力的な製品です

『SFC6000D-20slm』は、非常に小さくて軽いため、デバイスの サイズと重量を最適化できるマスフローコントローラーです。 集積化が進み、使用する電子部品数が非常に少ないため、 サプライチェーンは堅牢。 さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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マスフローコントローラー『SFC5500-50sccm』

マスフローコントローラー『SFC5500-50sccm』

複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせた！医療、分析、産業の環境での幅広い用途に

『SFC5500-50sccm』は、マイクロサーマル測定原理に基づいた マスフローコントローラーです。 実績のあるCMOSens MEMS技術を活用。ドリフトすることがなく、市場で 再校正する必要がありません。 また、実現出来る幅広い流量制御範囲によって、一台の製品で複数の 流量範囲に対応できます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.05slm ■フルスケール流量：50sccm ■精度：0.2％FS or 2％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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マスフローコントローラー『SFC5500-10slm』

マスフローコントローラー『SFC5500-10slm』

フルスケール流量は10slm！複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせたシリーズ

『SFC5500-10slm』は、幅広い用途に適した標準品として入手可能な マスフローコントローラーです。 本製品は「SFC5400」と同等の上位パフォーマンスを誇るため、医療、分析、 産業の環境での幅広い用途に好適。 また、一台の製品で従来のマスフローコントローラーの複数の流量範囲に 対応できます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：10slm ■フルスケール流量：10000sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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マスフローコントローラ『1030/1050』

マスフローコントローラ『1030/1050』

幅広い分野で使用可能！ガス種限定仕様ローコストマスフローコントローラ

『1030/1050』は、ガス種限定仕様のローコストマスフローコントローラです。 基本性能を追求した独自技術により、コストを抑え、製品の性能と 信頼性を高めています。 ガス種はAir・N2・Ar・H2・CO2・O2・Heに対応。医薬・培養・バイオ・ 農業・溶接・蒸着コーティング・分析・各種研究や実験など幅広い 分野でご使用頂けます。 【特長】 ■気体用低コスト流量制御機器 ■ローコスト＆簡単操作 ■最大フルスケール流量：30 SLM・50SLM ■フローサージを抑制 ■流量設定／出力信号：0-5V ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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マスフローコントローラ『SEC-Z4400シリーズ』

マスフローコントローラ『SEC-Z4400シリーズ』

幅広いプロセスや用途に対応！中古装置のリファブに好適です

当社では、RoHS指令・CEマーキング対応の、株式会社堀場エステック製 マスフローコントローラ『SEC-Z4400シリーズ』を取り扱っております。 接ガス部はメタル仕様となっており、ピエゾバルブも搭載。 また、SEC-7300・4400シリーズの継手サイズ・ピン配列との 互換を確保しています。 【特長】 ■リプレイス・アップグレード ■高性能・高信頼性 ■フレキシビリティ ■RoHS指令・CEマーキング対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

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メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF100シリーズ』

メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF100シリーズ』

応答速度および繰り返し性に優れたガス流量コントロール用アプリケーション

『GF100シリーズ』は、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度 および超高清浄度のプロセスガス供給を実現したメタルシールマスフロー コントローラ/メータです。 高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性をご提供。 業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と 効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。 【特長】 ■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 ■セトリングタイム：700 ms - 1秒以下 ■フルスケール流量レート 最大300 slpm ■メタルシール流路：4µ または 10µ インチ Raの表面仕上げオプション ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサにより、温度が上昇しても、 　測定の再現性を向上　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

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高温マスフローコントローラ『5850EMHシリーズ』

高温マスフローコントローラ『5850EMHシリーズ』

実証された長期安定性！高温アプリケーション向けの超高清浄性能をご提供いたします

『5850EMHシリーズ』は、リークインテグリティの高いメタルシールに、 柔軟なアプリケーション対応を可能にする高温マスフローコントローラです。 さまざまなオプションを組み合わせ、先端の高温ガス測定および制御を実現。 当製品の中心は、電子出力信号と流量を表示する安定性の高いセンサーで、 この信号は、自動ゼロ調整回路を使用せず、表示、記録、制御を行う場合に 使用します。 【特長】 ■高リークインテグリティ（10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He 以下） ■幅広い流量レンジ（0.003～100 slpm） ■高清浄VAR 316Lステンレス製 ■粒子の発生を防ぐ ■ヘリウム漏れチェックポート ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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