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スタート時のオーバーシュートを抑制！低価格の高性能ガス流量制御器
『1000シリーズ』は、マスフローコントローラーの基本機能に特化した アナログ低価格モデルの高性能ガス流量制御器です。 各種分析・成膜・理化学などの実験研究・製造用途など幅広い分野で ご使用頂けます。 また、流量設定と表示のみのシンプル設計で操作が簡単な表示設定器付 専用電源「PA01」もご用意しております。 【特長】 ■低価格 ■コンパクトサイズ ■スタート時のオーバーシュートを抑制 ■バルブ型式：ノーマルオープン ■流量制御範囲：5～100％F.S. ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
マスフローコントローラーの基本機能に特化した低価格モデル！
『1000シリーズ』は、基本性能を追求した独自技術により、コストを抑え、 製品の性能と信頼性を高めたマスフローコントローラーです。 医薬・培養・バイオ・農業・溶接・蒸着コーティング・分析・各種研究や 実験など幅広い分野でご使用頂けます。 【特長】 ■気体用低コスト流量制御機器 ■ローコスト＆簡単操作 ■最大フルスケール流量：20 SLM ■フローサージを抑制 ■流量設定/出力信号：0-5V ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
生産装置への搭載、研究・開発など幅広い分野に対応！流量制御はお任せください！
エフコン株式会社は、マスフローコントローラをはじめとする 流量制御機器の製造メーカーです。 マスフローコントローラとは、ガスや液体の質量流量を計測し流量制御を 行う機器であり、高精度な流量計測・制御を求められるプロセスには 欠かせないものですが、高価な製品であるため、限られた分野でしか 使用されておりませんでした。 当社のマスフローコントローラは、基本性能を追求した独自技術により 低価格を実現した製品です。一般産業での使用、各種生産装置への搭載、 研究・開発など幅広い分野でご使用いただけます。 【事業内容】 ■流量制御機器の設計・製造・販売 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
第3世代の新しいQuantim QMC コリオリ式流量計は、微少流量の気体や液体の測定と制御のアプリケーションに好適です
Quantim(R) QMC コリオリ式マスフローコントローラとメータは、微少流量の気体や液体に対して極めて正確で安定した、再現性のある測定と制御を実現します。この第3世代の新しいQuantim QMC コリオリ式マスフローコントローラとメータは、プロセスの品質、生産の歩留まり、スループットを高めることで、ラボからパイロットプラント、生産までのスケールアップ期間の短縮に貢献します。 新しいQuantim QMC コリオリ式マスフローのシリーズは、ブルックスインスツルメントのQuantim 旧モデルと取付寸法、機能面で互換性があります。 【特長】 ■真の質量流量測定 ■正確な密度測定 ■I/Oオプションの追加: 0-10 Vdc, 0-20 mA, RS485 S-Protocol ■豊富なシール材質、証明書、認証のオプション ■アクセスの容易なサービスポート ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
長期安定性に優れ、生産の的確性を維持！信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います
『5850Eシリーズ』は、エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。 数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに使用された実績を持つ本シリーズは、独自の安定した流量センサを備え、現代の要求の厳しい工業生産プロセスに必要な信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います。 【特長】 ■取り外し可能な流量センサ ■取付姿勢の影響なし ■他のマスフローコントローラとの機械的/電気的互換性 ■電動式バルブオーバーライド ■耐腐食バルブ ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
国内防爆認証(JPEx)を正式取得！厳しい環境にも対応する耐久性！優れた精度を実現する精密マスフローコントロール！
粉塵、湿度、極端な温度、水分など、どんな厳しい条件でも、 『SLAMfシリーズ』エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータなら、 実証済みの「SLA5800ファミリ」ならではの高い精度と長期安定性を実現します。 特殊設計のNEMA4X/IP66規格筐体により、高度なデジタル電子部品を保護し、 プロセスに不可欠なガス/流体マスフローの安定した正確な測定と制御を行います。 防塵防爆エンクロージャー仕様のSLAMFシリーズは、 国内防爆認証(JPEx) 安全増防爆（MFC型式検定合格番号: DEK24.0048X、MFM型式検定合格番号: DEK24.0049X）を正式に取得したことで、 Zone2エリアへの導入・使用が可能となりました。 【特長】 ■NEMA4X / IP66級の高耐久性筐体 ■幅広い定格流量 - 0.003から20800 slpm ■幅広い温度と圧力条件に対応 ■優れた精度を実現 ■設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能 ※詳しくはPDFをダウンロード頂くか直接お問い合わせください。
すべてを可能にするMFC
超高速応答時間と高レベルな清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代の多変量計測、PTI（圧力変動耐性）メタルシールマスフローコントローラです。圧力と温度の変動によるプロセスガス流量の変動を最小限に抑制します。標準のMultiFlo テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。 その結果、 収率と生産性を最大限に拡張する業界最高のPTI性能とともに、各ポイントの圧力レギュレータ、圧力トランスデューサ、関連するハードウェア設置の必要性を減らすことにより、ガスパネルのサイズとコストを縮小します。 【特長】 ■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 ■セトリングタイム：300 ms - 700 ms以下 ■フルスケール流量レート 最大300 slpm ■メタルシール流路：4µ インチ Raの表面仕上げ ■SEMI F20準拠接ガス･接液部材質 ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサ など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
高圧ガス保安協会（KHK）の認証取得。都道府県の完成検査の手続きを簡略化。国内防爆（JPEx）の型式検定合格証も取得
サーマルマスフローコントローラ／メータ『SLA5800シリーズ』は、 カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備え、 水素・メタン・LNG・二酸化炭素・アンモニアなどの気体に対応した製品です。 「SLA5850 マスフローコントローラ ノーマルクローズバルブ」は、 高圧ガス保安協会（KHK）の認証を取得しており、 都道府県での完成検査が認定証の提出のみで済むため、 非常にスムーズな導入が可能になります。（フローメータでの対応も可能） 【特長】 ■DEKRAより、国内防爆（JPEx）の型式検定合格証を取得済 （対応品：マスフローコントローラ／メータ、プレッシャーコントローラ） ■化学・石油化学・燃料電池・ライフサイエンスなどの分野でも活躍 ■広範囲をカバーする流量レンジ ■1台で複数のガス・流量レンジに対応可能 ※詳しくはカタログをご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーしています！
産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。 化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。 ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空、圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。また、当社の製品は、熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。 【特長】 ■再現性の高い、高精度なガス供給 ■優れた品質、正確な厚み、膜厚の均一性 ■長期にわたる安定したプロセス制御 ■高機能な現場での流量診断とトレンド解析で、プロセスの歩留まりを最大化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デジタルマスフローコントローラです
独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。 【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御） ○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○SEMI STD.の各種面実装に対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
低価格でありながらマルチレンジに対応したマスフローコントローラです
MFC上部あるロータリスイッチにより各種ガスや各種レンジに変更可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○短納期対応モデル ○高速・高性能なピエゾアクチュエータ搭載 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○ロータリスイッチにより各種ガスや各種レンジに変更可能 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
Auシール、ピエゾアクチュエータを採用！各種デジタルインターフェイスにも対応しています
『MC-7000シリーズ』は、サーマルセンサで200msec以下の高速応答を 実現した高速応答マスフローコントローラです。 リンテック独自の自己温度補正方式を採用することで、腐食性ガスや 液化ガスにも対応し、流量精度は±1.0% S.P.を保証。 また、DeviceNetやEtherCATなど、各種デジタルインターフェイスに対応 しています。 【特長】 ■Auシール、ピエゾアクチュエータを採用 ■サーマルセンサで200msec以下の高速応答を実現 ■リンテック独自の自己温度補正方式を採用 ■腐食性ガスや液化ガスにも対応 ■流量精度は±1.0% S.P.を保証 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
N2、Air、H2等が対象！メタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータのご紹介
『MODEL EX-550 SERIES』は、ロータリースイッチによるガス種切替が 可能なメタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータです。 S.P.精度で高精度な計測ができ、全流量制御範囲は応答1sec以内。 RS485通信機能を有し、アナログ入出力0-5VDC/4-20mAや電源±15VDC/ 24VDCを選択いただけます。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：10SCCM～5SLM ■精度：±1％S.P.（25～100％F.S.）、±0.25％F.S.（～25％F.S.） ■S.P.精度で高精度な計測が可能 ■ロータリースイッチによるガス種切替可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
表示器一体型で各種機能使用可能！マスフローコントローラ/メータをご紹介
『MODEL 8700 SERIES』は、幅広い流量レンジに対応する表示器付 マスフローコントローラ/メータです。 各種機能（瞬時/積算流量表示、アラーム設定）を使用可能。対象流体は、 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体です。 また、RS485通信機能、アナログ入出力0-5VDC（4-20mAに変更可能）を 有しています。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±1～1.5％F.S. ■幅広い流量レンジに対応（N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで） ■アナログ入出力は表示器にて変更可能（出荷時 0-5VDC） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
N2、Air、H2、He等が対象！幅広い流量レンジに対応するスタンダードマスフローコントローラ
当社で取り扱う、スタンダードマスフローコントローラ『MODEL 3660 SERIES』 をご紹介します。 N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで幅広い流量レンジに対応。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は10SCCM～100SLMと なっております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±1～1.5％F.S. ■幅広い流量レンジに対応（N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
