マスフローコントローラのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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マスフローコントローラ - メーカー・企業20社の業務用製品ランキング | イプロスものづくり

更新日: 集計期間:2026年06月10日~2026年07月07日
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マスフローコントローラのメーカー・企業ランキング

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  1. ITWジャパン株式会社 東京都/機械要素・部品
  2. 日本スターテクノ株式会社 茨城県/産業用電気機器
  3. 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 東京都/機械要素・部品
  4. 4 ブロンコスト・ジャパン株式会社 東京都/産業用電気機器
  5. 5 コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡 京都府/産業用機械

マスフローコントローラの製品ランキング

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  1. ALICAT 熱式流量計 小型ローコストマスフローコントローラー 日本スターテクノ株式会社
  2. 株式会社フジキン『マスフローコントローラ』 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated)
  3. マスフローコントローラ/メータ『5850Eシリーズ』 ITWジャパン株式会社
  4. 4 サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』 ITWジャパン株式会社
  5. 5 マスフローコントローラ/メータ SLAMfシリーズ※国内防爆認証 ITWジャパン株式会社

マスフローコントローラの製品一覧

91~109 件を表示 / 全 109 件

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マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』

デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました!

『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー コントローラ/メータです。 さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、 フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。 MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。 1台のデバイスで、数千パターンの異なるガス・流量範囲の組み合わせに対応しています。 【特長】 ■専用のソフトウェアで設定変更が可能な、マルチガス/マルチレンジ機能 ■エラストマシールのオプションが豊富ため、さまざまなガスに対応 ■長期安定性に優れたハステロイ製センサを採用 ■実ガス試験に基づく100種類以上のガスデータを搭載 ■負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント  ±1%の制御精度を実現 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 流量計
  • 流量制御
  • マスフローコントローラ

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マスフローコントローラ/メータ『4800シリーズ』

スピード重視のフロープロセス向けの超高速応答!幅広い種類の非腐食性ガスに適しています

『4800シリーズ』は、応答時間が向上するに従って、プロセスの効率と生産性 も向上するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。 高度なMEMS式サーマルセンサは、コントロールバルブへの応答に最適化された 専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、 当製品は実流量を高速で追従させることができます。 【特長】 ■流量応答時間(セトリングタイム) 0.75秒以下 ■革新的MEMSセンサおよび専用PIDアルゴリズム ■通常のサーマル式MFCの半分で、コンパクトなサイズ ■RS-232によるデジタル対応 ■オプションのローカルオペレーターインターフェース(LOI)で  セットアップと操作を合理化 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 流量計
  • 流量制御
  • マスフローコントローラ

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圧力ベースマスフローコントローラ『GP200シリーズ』

最高の性能を最大限に引き出す!先駆的な半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー

GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と再現性が向上しています。 【特徴】 ■測定誤差の低減 ■すべてのプロセス条件に好適 ■高精度な流量制御 ■バルブリークを1/100に低減 ※詳しくはお問合せください。

  • その他計測・記録・測定器
  • マスフローコントローラ

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オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』

圧力制御を自動化し、圧力/背圧レギュレータとして使用できます!

オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』は、豊富なオプションと機能を備えています。 SLA/SLAMfシリーズ マスフローコントローラおよびメータと組み合わせることで、シングルプラットフォームの利点である、制御(プロセス)に一貫性を持たせることができます。 SLA/SLAMfシリーズは、国際標準にトレーサブルな一次流量校正システムを使用しており、当社の優れた計測システムおよび手法に基づき、高精度、ゼロ点の長期安定性、優れた再現性を特徴としています。

  • DS-PR-SLA5800-SLAMf-Series-RevB-PC-RT-ipn201701.jpg
  • 圧力制御
  • マスフローコントローラ

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マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』など2製品

1台のデバイスで複数のガスに対応するマスフローコントローラ/メータ。最大4台まで接続できるコンパクトなリードアウトユニットも紹介

『GF40シリーズ』は、1台で複数のガスに対応し プロセスの柔軟性と生産性を向上できるマスフローコントローラ/メータです。 メーカー独自の「MultiFloテクノロジー」を搭載し 高精度な流量制御や測定が可能で、多様なガスを使用するシステムに好適。 頻繁にガスの種類を変更する場合や、測定と制御精度を維持しつつ 範囲を再調整する必要のあるプロセス・施設で活躍します。 また、『0254』は電源供給とアナログ制御の機能に加え RS232シリアルポートを搭載したリードアウトユニットです。 RoHS指令に準拠し、ユーザーフレンドリーな操作性を提供。 多様なアプリケーションに簡単にインストールできる取付方法のオプションがあり 最大4台のBrooksマスフローまたは圧力デバイスに電力を供給します。 【特長】 ◎『GF40シリーズ』 ■豊富な実ガスデータを搭載 ■ガス種と流量レンジを変更できるため、1台で多様な研究テーマに対応可能 ◎『0254』 ■流量設定は瞬時制御とバッチ制御、流量表示は瞬時と積算に対応 ■省スペースで最大4台のマスフローコントローラ/メータを接続可能

  • s1.png
  • 電気計器・電位計(メータ)
  • マスフローコントローラ

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流量、圧力、蒸気および真空製品「総合カタログ」※流量計等を掲載!

コリオリ式マスフローや当社初の圧力式マスフローコントローラなどもラインアップ

当資料は、ブルックスインストルメントの流量、圧力、蒸気および 真空製品を掲載した総合カタログです。 クローズドループ、ブースト、ヒステリシスを排除した「SLA Series」 などのプレッシャーコントローラをはじめ、複数のガス種と流量レンジを 1台でカバーできる「GF40 Series」などのサーマル式マスフローや、 面積式流量計、圧力/真空製品などをラインアップ。 大変参考になる一冊となっておりますので、導入検討の際に ぜひご覧ください。 【掲載内容】 ■マスフロー&プレッシャーコントローラ ■面積式流量計 ■圧力/真空製品 ■セカンダリエレクトロニクス&ソフトウェア ■通信プロトコル ■サービス&サポート ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • 安全コントローラ
  • 圧力制御
  • 流量計
  • マスフローコントローラ

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エネルギー革新における精密制御の実現<アプリケーション事例紹介>

持続可能な未来を支える「ソリューション」

水素、燃料電池、CCUS、バイオ燃料、CNT製造。未来のエネルギーを支える現場には、正確な流れを見守る技術があります。ブルックスインスツルメントの流量計が、エネルギートランジションを支えます。 カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備えたサーマルマスフローコントローラ/メータ「SLA5800シリーズ」や、厳しい設置環境でも高い再現性と長期安定性を実現するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ「SLAMfシリーズ」などをラインアップ。 ISO/IEC17025認定校正が、次世代エネルギープロセスに求められる再現性を確かな基準で実現します。 【SLA5800シリーズ 特長】 ■DEKRAより、国内防爆(JPEx)の型式検定合格証を取得済  (対応品:マスフローコントローラ/メータ、プレッシャーコントローラ) ■化学・石油化学・燃料電池・ライフサイエンスなどの分野でも活躍 ■広範囲をカバーする流量レンジ ■1台で複数のガス・流量レンジに対応可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • 流量計
  • マスフローコントローラ

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脱炭素・環境対応技術の開発を支える超小型MFC「GCシリーズ」

小流量域での高い再現性と省スペース化を両立。CO₂削減、排ガス処理、代替燃料評価など研究開発を支える超小型マスフローコントローラ

化学・素材・エネルギー分野の研究開発では、CO₂削減、排ガス処理、代替燃料評価など、環境対応技術の開発が進んでいます。GCシリーズは、こうした用途で求められる小流量域での高い再現性と、省スペースで安定したガス制御を両立する、MEMS式の超小型マスフローコントローラです。 Air、N₂、O₂、CO₂、Ar、CO、CH₄、C₃H₈、N₂O等に対応し、フルスケール流量210~5000sccm(Air換算)、100:1の制御レンジ、±0.25% S.P.の再現性、応答時間は2秒以下(設定値がフルスケールの10%超の場合)を備えています。ラボ装置、小型試験装置、分析設備などに適しており、環境技術の開発を支えるガス制御技術として活用できます。

  • 流量計
  • その他検査機器・装置
  • マスフローコントローラ

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コフロック株式会社

気体・液体の計測・制御のことなら

お客様のニーズに合わせた一品一様のものづくりで、流体計測制御機器を製造・販売しています。半導体製造工程向けに開発した圧力変動に強いマスフローコントローラST-500や、液温変化時にも高精度な流量計測が可能なカルマン渦流量計FML-300を出展します。精密流量制御の技術力と、多様な産業・研究用途に対応する柔軟性が弊社の強みです。

  • その他
  • マスフローコントローラ

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週7日24時間サポート「ワールドワイドサポート」

ブロンコスト製品をお使いのお客様のためのサポートサービスです。24時間・週7日対応のサービスラインをご利用頂けます。

ブロンコスト製品をお使いのお客様のためのサービス体制です。全世界のサービス網により、夜間対応も可能です。

  • その他計測・記録・測定器
  • 流量計
  • マスフローコントローラ

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【英文市場調査レポート】マスフローコントローラの世界市場

『無料サンプル』進呈中!【PDFダウンロード】ボタンからお申し込み方法をご確認いただくか、関連リンクから直接お申し込みください。

マスフローコントローラ市場規模は2030年までに30億米ドルに達すると予想されており、予測期間中に8.3%のCAGRで市場成長が見込まれます。 2022年に市場は198万600台の数量に達し、8.1%(2019~2022年)の成長を遂げました。 さらに、代替エネルギー源は、生産プロセス中の正確なガス流量制御に依存することがよくあります。たとえば、太陽電池の製造では、MFCは基板上に半導体材料の薄膜を堆積する化学気相成長(CVD)プロセスで使用されるガスの流れを制御します。したがって、代替エネルギー源の需要が市場の成長を促進します。

  • その他の各種サービス
  • マスフローコントローラ

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【金属熱処理向け】MFC / MFM「SLA5800シリーズ」

高圧ガス保安協会(KHK)認証取得。熱処理工程のガス制御に。

金属熱処理業界では、製品品質を左右する熱処理工程において、ガスの流量を正確かつ安定的に制御することが不可欠です。特に、熱処理炉内の雰囲気ガスは、製品の硬度や強度に直接影響を及ぼすため、適切な流量管理が不良品の発生抑制につながります。 SLA5800シリーズは、熱処理工程で使用される多様なガスに対応し、雰囲気制御に求められる高い再現性と安定性を実現します。また、専用のBESTソフトウェアの機能により、スムーズな設備導入をサポートします。 また、エラストマーシール構造を採用することで、コストと耐久性のバランスに優れた設計を実現。長期運用における保守負荷の低減にも貢献し、熱処理設備の安定稼働を支えます。 【活用シーン】 ・熱処理炉へのガス供給 ・雰囲気ガスの流量制御 ・高精度な温度管理 【導入の効果】 ・熱処理工程の品質向上 ・不良品率の低減 ・高圧ガス関連の手続きの簡素化

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【研究機関向け】MFC / MFM「SLA5800シリーズ」

ガスの精密制御で、研究開発を加速。KHK認証取得で手続きもスムーズ。

研究機関における各種実験では、ガスの流量および圧力を正確に制御・測定できるかどうかが、実験結果の信頼性と再現性を大きく左右します。特に、カーボンニュートラル関連研究をはじめ、水素、メタン、LNG、二酸化炭素、アンモニアなどのガスを扱う実験においては、わずかな制御誤差が結果のばらつきや評価の不確実性につながる可能性があります。 不正確なガス制御は、実験条件の再現性を損ない、検証作業の増加や研究スケジュールの遅延を招く要因となります。 SLA5800シリーズは、こうした研究現場の課題に対応するため、高精度かつ安定したガス流量制御・測定性能を提供。実験条件の再現性向上とデータの信頼性確保を通じて、研究開発を強力にサポートします。 また、幅広いガス種に対応可能な設計により、基礎研究から応用研究、評価試験まで、多様な研究テーマに柔軟に対応できるマスフローコントローラとして活躍します。 【活用シーン】 ・ガス分析 ・反応実験 ・材料合成 ・燃料電池の研究 【導入の効果】 ・実験データの信頼性向上 ・研究効率の向上 ・高圧ガス関連の手続き簡素化

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【製薬向け】精密マスフローコントローラ「SLAMfシリーズ」

精密マスフローコントローラ。混合プロセスの精度を高め、医薬品品質の安定化に貢献。

医薬品製造において、混合プロセスのわずかな流量変動が製品の有効性や安全性に影響を及ぼします。そのため、ガス流量の高精度かつ安定した制御が不可欠です。 SLAMfシリーズ マスフローコントローラは、高精度制御と優れた長期安定性により、配合バランスの最適化を実現。製造から研究開発まで、幅広い工程において品質の一貫性向上を支援します。 【活用シーン】 ・ 医薬品製造におけるガス混合・供給制御 ・ 研究開発における精密ガス混合 ・ 品質管理工程での流量測定・モニタリング 【導入メリット】 ・ 混合精度の向上による製品品質の安定化 ・ 再現性の高いプロセス制御の実現 ・ 製造効率の向上とロス低減

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【研究機関向け】GP200シリーズ

最高の性能を最大限に引き出すGP200 金属密閉型マスフローコントローラ

研究機関における各種実験では、流量制御の精度がデータの信頼性を大きく左右します。特に微小流量領域においては、わずかな変動が測定結果のばらつきや再現性低下の要因となります。 GP200シリーズ マスフローコントローラは、差圧センサー技術を採用し、優れた応答性と高精度制御を実現。安定した流量供給により、実験データの信頼性向上と再現性の確保に貢献します。 【導入メリット】 ・高精度制御による実験データの信頼性向上 ・再現性の高い測定環境の構築 ・安定した流量供給による実験効率の向上

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【半導体成膜向け】GP200シリーズ

圧力ベースMFCで成膜プロセスの安定化と歩留まり向上を実現

半導体製造における成膜プロセスでは、ガス流量のわずかな変動が膜厚や膜質に大きな影響を与えます。特にCVD・PVD・ALD工程では、高精度かつ再現性の高い流量制御が、デバイス性能と歩留まりを左右する重要な要素です。GP200シリーズは、差圧センサーと最適化されたコントロールバルブ設計により、高精度な流量計測と優れた再現性を実現。安定したプロセス制御を支援し、高品質な薄膜形成に貢献します。 【活用シーン】 ・CVD(化学気相成長)プロセス ・PVD(物理気相成長)プロセス ・ALD(原子層堆積)プロセス 【導入メリット】 ・膜厚均一性の向上 ・組成制御精度の向上 ・プロセス安定化による歩留まり改善 ・ガス供給の再現性向上

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【環境向け】QuantimQMCコリオリ式マスフローコントローラ

微少流量を高精度に測定・制御し、排出ガス測定の信頼性向上に貢献

Quantim QMC コリオリ式マスフローコントローラは、気体・液体の微少流量を高精度かつ安定して測定・制御。真の質量流量測定により、環境モニタリングや排出ガス分析の高精度化に貢献します。 【排出ガス測定の課題解決に】 ・微少流量の気体・液体の高精度測定 ・排出ガス測定データの信頼性向上 ・環境規制・排出基準への対応強化 ・流量ばらつきによる測定誤差の低減 ・気体・液体の両方に対応した高精度制御 ・半導体・化学・研究用途における安定した微少流量管理 ・真空プロセス・精密コーティング工程の流量管理改善 ************************* 2026NEW環境展(東京ビッグサイト)に出展いたします! ************************* 会期:2026年5月20日(水)~5月22日(金) 時間:10:00~17:00(最終日は16:00まで) 会場:東京ビッグサイト 東展示棟 ブース:R811(東8ホール) ※日本測器株式会社様ブース内にて出展 皆様のご来場を心よりお待ちしております。 *************************

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【エネルギー業界向け】Quantim QMC

微少流量を高精度に制御し、ガス混合プロセスの安定化と品質向上に貢献

Quantim QMC コリオリ式マスフローコントローラは、微少流量の気体・液体を高精度かつ安定して測定・制御。真の質量流量測定により、ガス混合プロセスの最適化と安定運用に貢献します。 【課題解決】 ・微少流量領域での高精度なガス混合制御 ・ガス混合比率のばらつき低減 ・パイロットプラントから量産へのスムーズなスケールアップ ・エネルギー効率改善に向けた流量最適化 ・再現性の高い流量測定・制御環境の構築 ************************* 2026NEW環境展(東京ビッグサイト)に出展いたします! ************************* 会期:2026年5月20日(水)~5月22日(金) 時間:10:00~17:00(最終日は16:00まで) 会場:東京ビッグサイト 東展示棟 ブース:R811(東8ホール) ※日本測器株式会社様ブース内にて出展 皆様のご来場を心よりお待ちしております。 *************************

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【環境・バイオ・材料プロセス向け】BCU/Quantim QMC

液体プロセスを止めずに「見る」「測る」「制御する」― 環境・バイオ・材料プロセスに最適な液体流量ソリューション

Brooks Instrumentが提供する「BCUシリーズ」と「Quantim QMCシリーズ」は、環境・バイオ・材料プロセスにおける液体流量管理の課題を解決する2製品です。 ■BCUシリーズ クランプオン式超音波方式により、チューブを切断せず流体に一切触れることなく流量をリアルタイム計測します。汚染リスクや洗浄工数を排除し、シングルユース・ハイブリッド型バイオプロセスに最適。EtherNet/IPを標準搭載し、自動化スキッドへのシームレスな統合を実現します。 ■Quantim QMCシリーズ 第3世代デジタルアーキテクチャを採用したコリオリ式低流量マスフローコントローラ/メータです。液体の真の質量流量を直接計測し、質量流量・体積流量・密度・温度を同時出力。0.001〜27 kg/hの広いレンジと液体精度0.2% of rateを誇り、微小流量の高精度制御が求められる研究・製造現場を強力にサポートします。両製品ともソフトウェアを活用した設定・診断・保守の効率化に対応しています。 ※詳しくはPDF資料をご覧ください。お問い合わせもお待ちしております。

  • スクリーンショット 2026-06-04 142739.png
  • スクリーンショット 2026-06-11 133833.png
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  • 熱式流量計
  • 流量制御
  • マスフローコントローラ

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