プレート上ウェーハ厚さ測定機 (TME-12型)
セラミックプレートに貼り付けられたウェーハの厚さを光学プローブ/センサにて非接触測定する装置です。
測定したデータは、付属パソコンにて保存とグラフィカル表示が可能です。 プレートに貼り付けているウェーハの厚さを測定し、研磨前と研磨後の研磨状態をプレートに貼り付けた状態で確認できる装置です。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
厚さ測定器×株式会社ジャステム - メーカー・企業と製品の一覧
厚さ測定器の製品一覧
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厚さ測定機(TME-13型）
本機械は、φ4、5、6、8インチウェーハの厚さ測定する装置です。
厚さ測定は、レシピによる多点測定を行います。 測定センサは分光干渉方式のセンサを用いて片側より測定を行います。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
