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ウェハー保護に、たわみなく安定した吸着を実現
半導体製造業界において、ウェハー保護の工程では、微細な傷や汚染を防ぐための精密な固定が求められます。特に、薄くデリケートなウェハーを扱う際には、従来の真空チャック製品に見られるような、吸着面のエアー抜きの穴に素材が引き込まれて生じるたわみが、品質上の問題となるケースがありました。当社が提供する高精度多孔質セラミックス真空チャック『エアロフィックス』は、このような課題に対応するため開発されました。たわみのない部分吸着が可能で、ウェハーを安定的に固定し、保護します。 【活用シーン】 ・ウェハーの搬送・固定 ・精密な位置決めが必要な工程 【導入の効果】 ・ウェハーへのサクションマークの発生を抑制 ・デリケートな素材の安定した吸着
ウェーハ搬送の課題を解決！独自のセラミックス焼結技術で均一吸着
半導体製造業界において、ウェーハ搬送では、微細な回路を傷つけずに、かつ安定した吸着力が求められます。特に、デリケートなウェーハの取り扱いにおいては、均一な吸着力が不可欠であり、わずかな吸着ムラが製品の歩留まり低下につながる可能性があります。また、クリーンルーム環境での使用や、温度変化への対応も重要な課題となります。当社高精度多孔質セラミックス真空チャック『エアロフィックス』は、これらの課題に対し、均一な吸着力と優れた耐久性で応えます。 【活用シーン】 ・ウェーハの吸着・搬送 ・クリーンルーム環境での使用 ・温度変化のある環境での使用 【導入の効果】 ・ウェーハの安定した吸着と安全な搬送 ・製品歩留まりの向上 ・クリーンルーム環境での使用に対応 ・多様な搬送環境への適応
ガラス基板固定に。独自のセラミックス焼結技術で課題を解決
液晶パネル製造業界やガラス基板の固定においては、精密な位置決めと安定した吸着が求められます。特に、薄くデリケートなガラス基板を取り扱う際には、均一で確実な吸着力が不可欠であり、わずかなズレや衝撃が製品の品質に影響を与える可能性があります。また、製造工程における環境変化（ドライ、ウェット、高温）への対応も重要となります。高精度多孔質セラミックス真空チャック『エアロフィックス』は、これらの課題に対し、高性能・高精度な均一吸着力で応えます。 【活用シーン】 ・ガラス基板の固定 ・精密な位置決めが必要な工程 ・ドライ、ウェット、高温環境下での使用 【導入の効果】 ・ガラス基板の安定した固定による品質向上 ・製造工程の効率化 ・幅広い環境下での使用による汎用性の向上
浮く、止める、運ぶ！独自のセラミックス焼結技術で部品吸着の課題を解決
精密機械加工業界において、部品の吸着は、加工精度や生産効率に直結する重要な工程です。特に、微細な部品やデリケートな表面を持つワークの取り扱いにおいては、均一で安定した吸着力と、ワークへのダメージ低減が求められます。不適切な吸着方法は、部品のズレや破損、表面の汚染を引き起こし、製品の品質低下や再加工の手間につながる可能性があります。高精度多孔質セラミックス真空チャック『エアロフィックス』は、これらの課題に対し、独自のセラミックス焼結技術により、均一な吸着力を提供し、ワークを確実に保持します。 【活用シーン】 ・微細部品の精密な位置決め・吸着 ・デリケートな表面を持つワークの取り扱い ・クリーンルームでの部品搬送 ・高温環境下での部品固定 【導入の効果】 ・加工精度の向上 ・ワークの汚染リスク低減 ・生産効率の改善 ・既存装置への容易な導入によるコストダウン
クリーンルームでの無塵搬送を、軽さと強度で支えます。
クリーンルームでの無塵搬送においては、微細な異物混入を防ぎ、製品の品質を維持することが求められます。特に、デリケートなワークの搬送では、接触による汚染や傷のリスクを最小限に抑えることが重要です。当社の高精度多孔質セラミックス真空チャック・ロール『エアロフィックス』は、これらの課題に対し、非接触での搬送を実現し、ワークの汚染リスクを低減します。 【活用シーン】 ・クリーンルーム内での基板搬送 ・半導体製造工程でのウェハー搬送 ・精密部品の無塵搬送 ・フィルムの非接触搬送 【導入の効果】 ・ワークの汚染リスク低減 ・搬送時の傷つき防止 ・クリーン度維持による品質向上
シート位置決めを、より正確に、よりスムーズに。
印刷業界では、高品質な印刷物を製造するために、シートの正確な位置決めが求められます。特に、複雑なデザインや多色刷りの場合、わずかなズレも仕上がりに影響を与え、不良品の発生につながる可能性があります。また、シートの搬送中に傷や汚れが付着することも懸念されます。当社が提供する高精度多孔質セラミックス真空チャック『エアロフィックス』は、これらの課題に対応し、安定したシート位置決めを実現します。 【活用シーン】 ・印刷機へのシート供給時の位置決め ・断裁機へのシート搬送時の位置決め ・ラミネート機へのシート貼り合わせ時の位置決め 【導入の効果】 ・位置決め精度の向上による不良品削減 ・シート搬送時の安定化 ・ワークの汚染リスク低減
