浮く、止める、運ぶ！独自のセラミックス焼結技術により課題を解決します
『エアロフィックス』は、多孔質セラミックスでできた 真空チャックです。 主剤と助剤の共晶反応コントロールによるナノテム独自の セラミックス焼結技術により、2μmの気孔を均一に生成。 気孔率40％、軽さと強度の両立を実現しました。 ドライ環境はもちろんウェット環境、150℃までの高温環境 でも使用できます。ご用命の際はお気軽にご連絡ください。 【特長】 ■静電気防止材料として極薄基板などワークの防汚課題を解決 ■高性能・高精度な均一吸着力 ■部分吸着可能 ■省スペースを実現するサクションロール ■ワークの汚染リスクを低減する非接触浮上搬送を実現 ■既存装置にポンと置くだけで簡便＆コストダウン ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【黒2μmレギュラータイプの仕様(一部)】 ■孔径(μm)：2 ■硬度(HRHスケール)：90 ■気孔率(％)：40 ■曲げ強度(MPa)：50 ■主原料：アルミナ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社では、特殊砥石・真空吸着プレート・平面研削盤の製造販売、 精密研削・研磨・ダイシングの受託加工事業を展開しております。 また、高精度多孔質セラミックス真空チャック『エアロフィックス』などを 取り扱っております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
