ウェハー保護に、たわみなく安定した吸着を実現
半導体製造業界において、ウェハー保護の工程では、微細な傷や汚染を防ぐための精密な固定が求められます。特に、薄くデリケートなウェハーを扱う際には、従来の真空チャック製品に見られるような、吸着面のエアー抜きの穴に素材が引き込まれて生じるたわみが、品質上の問題となるケースがありました。当社が提供する高精度多孔質セラミックス真空チャック『エアロフィックス』は、このような課題に対応するため開発されました。たわみのない部分吸着が可能で、ウェハーを安定的に固定し、保護します。 【活用シーン】 ・ウェハーの搬送・固定 ・精密な位置決めが必要な工程 【導入の効果】 ・ウェハーへのサクションマークの発生を抑制 ・デリケートな素材の安定した吸着
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基本情報
【特長】 ・たわみのない部分吸着 ・大面積対応可能 ・発塵がない ・静電気が発生しない ・コストパフォーマンスが高い 【当社の強み】 当社は、特殊砥石・真空吸着プレート・平面研削盤の製造販売、精密研削・研磨・ダイシングの受託加工事業を展開しております。長年の経験と高い技術力で、お客様の多様なニーズにお応えいたします。高精度多孔質セラミックス真空チャック『エアロフィックス』をはじめ、お客様の課題解決に貢献する製品・サービスを提供しております。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
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用途／実績例
【用途】 ■固定器具：高い技術力で課題解決 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社では、特殊砥石・真空吸着プレート・平面研削盤の製造販売、 精密研削・研磨・ダイシングの受託加工事業を展開しております。 また、高精度多孔質セラミックス真空チャック『エアロフィックス』などを 取り扱っております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
