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【歩留まり改善】極薄ガラス・フィルム用の真空チャック|吸着痕ゼロ

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株式会社ナノテム/エアロフィックス

最終更新日:2026年09月16日

株式会社ナノテム
株式会社ナノテム
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<無料サンプル貸出中!>吸着痕による不良やワーク毎のチャック交換に悩んでいませんか?2μm気孔で薄物を面で均一固定!

薄型ガラスやフィルムの吸着時に発生する「サクションマーク(吸着痕)」や「歪み・割れ」による歩留まり低下に悩んでいませんか? 多孔質セラミックス真空チャック『エアロフィックス』は、2μmの超微細かつ均一な気孔によりワーク全体を「面」で保持。 従来の穴あきチャックのような局所的な吸引負荷をゼロにし、デリケートな薄物ワークの変形や傷を防止します。 【主な特長】 ■交換工数を削減:部分吸着に対応し、ワークサイズ変更ごとのチャック交換が不要 ■研磨工程を効率化:研磨時のワックス固定・洗浄などの関連工程を大幅削減 ■追加設備が不要:素材自体の除電特性により、イオナイザー設置コストを削減 ■ポン置きで即運用:既存チャックに乗せるだけの「トッププレート」で簡単導入 ■特殊環境に対応:発塵なし。150℃高温やウェット環境、ロール形状にも対応 ■カスタム対応:用途に応じて組成・形状・サイズ調整が可能。技術要望に柔軟対応 現在、お手持ちのワークで効果を直接試せる無料サンプル貸出や持ち込み実験を受付中! \ぜひ製品資料をダウンロードして詳細をご確認ください。お問合せもお気軽にどうぞ!/

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【歩留まり改善】極薄ガラス・フィルム用の真空チャック|吸着痕ゼロ

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基本情報

【導入メリット例】 ◎サクションマーク・たわみの解消  フィルムや極薄基板を歪みなくフラットに吸着固定・高速搬送 ◎ワックス固定・洗浄工程の削減  人工サファイア基板やLCD・LED研磨時のワックス貼り・剥がし・  洗浄作業を不要にし、作業効率の向上とコスト削減に貢献 ◎精密・安定浮上搬送  非接触浮上(精密浮上)でレーザーアニールなどの工程における  ピント合わせを容易にし、品質と作業効率の向上に貢献 ◎異物汚染・静電気トラブルの防止  内部からの発塵なし&除電特性により、歩留まり低下につながる汚染・帯電リスクを排除 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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当社では、特殊砥石・真空吸着プレート・平面研削盤の製造販売、 精密研削・研磨・ダイシングの受託加工事業を展開しております。 また、高精度多孔質セラミックス真空チャック『エアロフィックス』などを 取り扱っております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

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