更新日： 集計期間:2026年01月07日～2026年02月03日
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真空排気省エネソリューション！半導体デバイス工場の真空ファシリティへの応用
当資料は、ベックが取り扱う、真空集中排気システム『VIE-system』の ご紹介資料です。 現在の排気システムの問題点をはじめ、真空集中排気システムの紹介や VIE-system導入の効果などを掲載しています。 是非、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容】 ■ロードロック室 現在の排気システム ■ロードロック室 現在の排気システム（例） ■ロードロック室 真空集中排気システム ■VIE-system 導入の効果 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
排気側にセパレータを装着することで、排気と排水を分離することができる！
当社は「排気中の水を分解したい」というポンプのお悩みを解決します。 排気側にセパレータを装着します。分離した排水を再利用することが できるので省エネに貢献することが可能です。 また、セパレータには排気音を低減する効果もあります。 真空ポンプ「MEA」のセパレータ付き仕様は、セパレータが 組付いた状態で出荷されるため、施工が簡単でとても便利です。 【このようなお悩みを解決】 ■排気中の水分を分離したい ・排気中の水分を分離して再利用したい ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。【アルバック／ULVAC】
YTP シリーズは、「ピボット軸受＋磁気軸受（永久磁石）」を採用したターボ分子ポンプ UTM シリーズを使用した大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。START/STOP スイッチで自動で排気可能なSA タイプと、手動操作のM タイプをラインナップしています。 【特徴】 ○自動操作型(YTP-SAシリーズ)と手動操作型 (YTP-Mシリーズ)の2種類、排気速度も4種類の選択が可能 ○停電時は、自動でフォアバルブを閉めロータリーポンプ内を自動ベント →復電しても、排気ユニットは動作しない ○ターボ分子ポンプに使用しているフッ素油の飽和蒸気圧は、 10-11 Pa台(20℃)のため、限りなくオイルフリー ○ターボ分子ポンプは高性能軸受を採用しているため、 面倒なオイル交換やベアリング交換が不要 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！
空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ■開放運転時排気速度 800L/min ■水蒸気処理量 500g/hr ■排気速度 1000L/min ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
ロードロックチャンバーの排気向けの真空ポンプ。クラス最高レベルの排気速度を誇る製品です！
【製品説明】 多段ルーツ真空ポンプのTORRIシリーズは、ロードロックチャンバーの排気のためのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。 優れた到達真空度と最短クラスのチャンバーの排気時間が特徴です。 【特長】 ■ フレキシブル ロードロックチャンバー向けとしては極めて短い排気時間 ■ 高効率 省エネ、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム ■ コンパクト 非常に小型で軽量 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現！
省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設置面積は0.11m2（230×450mm）、重量は60kgです。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティです。国際規格適合で、用途に応じた製品仕様をご用意しております。ER100Dは、軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適、ER100DCは、耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気が可能【アルバック／ULVAC】
ドライ真空ポンプCRシリーズは、空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。 排気室内には油を使用しておらず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。 冷却水および窒素ガス不要。ランニングコストの低減に寄与します。 【ラインナップ】 ○CR16A ○CR30A ○CR60A ○CR300A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
排気中の水を分離して、水の飛散を防止！
ミウラの水封式真空ポンプ/MEA-セパレータ仕様は、 排気セパレータで排気と水を分離し、水の飛散を防止できる水封式真空ポンプです。 【特徴】 ○排気セパレータで排気と水を分離し、水の飛散を防止 ○ポンプ内には、衛生的な樹脂ケーシングとステンレス製の二段インペラを採用。 ○吸引トラブルや破損に強い構造 ○軽量コンパクトボディで省スペース ○付帯品を組込んでいるので、配管施工が簡単 ●詳しくは問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。
消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。【アルバック／ULVAC】
ECO-SHOCK は、現在ご使用のドライポンプに取り付けることによって、ドライポンプの消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。 不活性ガス排気用途でご使用中のドライポンプに最適です。 【特徴】 ○ドライ真空ポンプの消費電力を最大80%削減可能 ○全圧力領域において排気速度の低下なし ○設置が簡単 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
7分以内に大気圧から10Pa以下まで排気！当社の真空排気システムをご提供した事例
大型含浸装置において含浸タンク内を大気圧から真空状態に繰り返し排気 するために使用される、大型ルーツ真空ポンプを主ポンプとした「真空排気 システム」を導入した事例をご紹介いたします。 本事例では、大型電動機用真空含浸装置において、13m3の容積を持つ 含浸タンク内を、7分以内に大気圧から10Pa以下まで排気することが 求められました。 設定した真空度に到達すると、吸気口側に設けた真空スイッチにより、 ルーツ真空ポンプが起動。吸気口と排気口の間には弁体の自重によって 開閉する逃し弁を備えており、高圧側からのポンプ起動を可能にしています。 【特長】 ■設定した真空度に到達すると、吸気口側に設けた真空スイッチにより、 ルーツ真空ポンプが起動 ■吸気口と排気口の間には弁体の自重によって開閉する逃し弁を備えており、 高圧側からのポンプ起動が可能 ■電動機・真空スイッチ・電磁弁はすべて防爆仕様 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
排気速度250L/秒と77L/秒から選べるターボ分子ポンプ排気装置！ポンプや真空計の組合せは自由に選択可能です！
『HUVSシリーズ』は、高圧縮比（圧縮比1×10の11乗）のターボ分子ポンプ を採用したターボ分子ポンプ排気装置です。排気速度250L/秒と77L/秒の 2種類をラインナップ。フルレンジ真空計を標準で搭載。 ターボ分子ポンプ・ロータリーポンプ同時起動とロータリーポンプ単独起動 の切替機能も装備しております。 【特長】 ■ラインナップは排気速度250L/secと77L/secの2機種をご用意 ■高圧縮比（1×10の11乗のターボ分子ポンプを採用） ■ターボ分子ポンプ・ロータリーポンプ同時起動と ロータリーポンプ単独起動の切替機能付き ■フルレンジ真空計を標準搭載（表示はTMPコントーラ） ■任意メーカの排気ポンプを選定可能 ■停電時の逆流防止対策でフォアバルブは自動リークバルブを搭載 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
ウエハー・FPDの大口径化に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮
連通する時間はわずか10秒！アイドリング中にリザーバを排気するシステム
『エコバックシステム』は、真空ポンプのアイドリング中に複数のリザーバを排気する超高速排気システムです。 ポンプのアイドリング中の電気を有効に活用することができます。 大気圧⇒1kPa(7.6Torr)まで10秒以内、ポンプを追加することなく装置にアドオン／複数の装置で共用可能です。 真空ポンプを大容量のポンプにしなくても、粗引き時間が短縮、あるいは、同じ粗引き時間ならポンプを小型化することができます。 【特徴】 ○ポンプは大気圧から排気しないので、ポンプ負荷が軽減される ○ポンプ寿命やメンテナンス間隔が延びる ○水蒸気を含む気体の排気ができる ○ロータリーポンプの場合、オイルミストが激減する ○複数の装置でリザーバを共用することができる 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
低速運転により軸受・軸シール・タイミングギヤ等を長寿命化。高信頼性で分解・組立も容易
当社では、独自のスクリュー形状（Queen Bee Screw）により 驚くべき低速（3600min-1／60Hz、3000min-1／50Hz）を実現した 『ドライ真空ポンプ』を設計・製造・販売しています。 化学・医薬、自動車・電子部品、半導体・液晶など幅広い分野で活躍。 各種ラインアップから用途に応じた製品をお選びいただけます。 【特長】 ■低速運転で軸受等の長寿命化のほか、低騒音化・低振動化を実現 ■凝縮液やダストがポンプ内部に滞留すること無く、スムーズに排気可能 ■シンプルな構造で分解・組立が容易 ■優れた到達圧力が得られ、広範な圧力領域で連続運転可能 ■接ガス部は特殊コーティングにより優れた耐食性を発揮 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。【アルバック／ULVAC】
ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HRシリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。 大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能。 高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適です。 【ラインナップ】 ○GR60A ○GR90A ○GR180A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【省エネ】最少の消費電力で排気能力を最大化するメカニカルブースタ
後段の真空ポンプ（ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ）と 組合せることで、小さな動力で排気速度を大幅に増やし、 到達圧力を1～2桁低くすることができます。 ●排気効率が非常に高く、省エネで排気速度と到達圧力の向上ができます。 ●水封式真空ポンプにも対応した設計で高背圧にも耐えられるため、非常に堅牢です。 ●排気口の向きを下側／横側から選択できます。 ●真空ポンプの能力が落ちる到達圧力付近の排気速度をカバーできます。 ●真空スイッチ（圧力スイッチ）も付属できます。
オイルフリーでクリーンなダイアフラム式ドライポンプ。
吸気・排気両方に対応（JVP-20Proは吸気のみ）。 排気がクリーン、サンプルを汚染しません。 圧力調整可能・24時間連続稼働可能 過負荷・過熱・短絡保護機能を搭載し、安心して使用できます。 高精度の真空計を採用し、反応が速く正確に圧力を把握できます。 静音仕様で、動作音が小さく快適に使用できます。 コンパクトなサイズで、省スペース設置が可能です。
容易に操作が可能なエントリーモデル。費用対効果が高いのが特長。
特に小規模のラボなど、小型のチャンバーの排気に理想的な高真空排気ソリューション ■ 軽量でコンパクト ■ ドライ、高性能の排気ステーション - ターボ分子ポンプは90Lと250Lから選択可能 - バックポンプはシンプルなDIVAC 1.4ダイヤフラムポンプ ■ 内蔵コントローラがゲージ圧またはターボ分子ポンプの速度を表示。ポンプステーション全体をひとつで起動・停止するボタン ■ ライボルトのピラニ真空計またはペニング真空計を1台接続可能
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適な 水封式真空ポンプ
水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適な 水封式真空ポンプ 【特徴】 ○引火性ガスや腐食性ガスの排気ができる ○摩擦部分が少なく故障がないので連続運転に耐えられる ○低騒音でかつ振動が少ない ○連続排気で脈動がない ○軸封にメカニカルシールを使用し、メンテナンスが容易 ○全機種エルモ形で従来のナッシュ形よりも効率到達圧力がよい ○定流量弁を内蔵し適量給水方式を採用 ○LEH型は2段ポンプで高真空用に LEM型はモーター直結型ポンプでコンパクト、軽量 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロードください
メカニカルブースターポンプ
まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる 機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの 大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用する ○コンパクト設計なので、システムとしてまとめる事が容易 ○ベルト駆動型の大型ルーツ真空ポンプ（Rシリーズ）もラインアップ （宇宙試験用大型チャンバーなど大排気を必要とする用途にも対応） ○インバータ制御により、大気圧から駆動したり、吸入圧力が低い状態で 圧力コントロールをしたりする事ができる ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。
優れた真空性能と排気速度、低振動低騒音、自社製ブラシレスDCモータは各パラメータの設定によるデジタルカスタマイズが可能です。
・優れた排気速度で高真空に至ります ・堅牢設計 ・低振動・低騒音設計 N952KNDC-B 基本流量: 11 - 36 l/min 排気速度: 0.66 - 2.16 m3h 到達真空度: 1.5 mbar abs 許容最大吐出圧: 1 bar (0.1 MPa) N952KTE-W 基本流量: 32 l/min 排気速度: 1.92 m3h 到達真空度: 2 mbar abs 許容最大吐出圧: 1 bar (0.1 MPa) N952KT.29E-W 基本流量: 9- 32 l/min 排気速度: 0.54 - 1.92 m3h 到達真空度: 2 mbar abs 許容最大吐出圧: 1 bar (0.1 MPa)
非常に堅牢で排気特性の安定した大型の油回転真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】
PKS シリーズは、非常に堅牢で排気特性の安定した大型の油回転真空ポンプです。 金属・自動車産業をはじめ、化学・医薬・食品産業などの幅広い用途で使用いただけます。 分解、組立が極めて簡単。排気弁の点検も容易にできます。 【ラインナップ】 ○PKS-016 ○PKS-030 ○PKS-070 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
油ではなく水により、真空シール、回転部の潤滑、摺動部の冷却をおこないます。
水封式ポンプは、円形ケーシングと羽根車により本体を構成し、羽根車はケーシングと偏心した位置に取付けられています。ケーシング内に適当量封水を入れて羽根車を回転させますと、図のように、質量の大きい封水は、遠心力によってケーシング内壁に沿って同心のリング状になります。羽根車が回転することにより、この封水リングの内壁と羽根車の羽根によって囲まれた空間の容積が変化することを利用して、側壁または羽根車の内壁に設けられている吸・排気口を通して、吸入・圧縮・排気の作用を連続的に行います。さらに、高速回転により能率的に排気します。また封水は、吸気された気体が必ず排気されるように、シールの役目をしています。
低騒音、低排出、低メンテナンスの3拍子が揃った新製品。内蔵の排気フィルターによりオイルミストの排出とオイルロスを防止します。
『SOGEVAC NEO D』は、どのような吸気口圧力でも連続的に稼働し、 より少ない騒音と排出でよりよい職場環境を作り出します。 内蔵の排気フィルターがオイルミストの排出とオイルロスを防止、 クリーンなアプリケーションでは最長3年間メンテナンスフリーの運転が可能です。 【特長】 ■静かで使いやすい ■排気中のオイルスモークやオイルの損失がなく、クリーンな環境を確保 ■長い稼働：最長3年間メンテナンスフリー ■排気フィルタを内蔵、外付けのフィルターは不要 ■非常にコンパクト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※デモ機あり
高温の真空乾燥・ベーク処理を全自動で…DY-Pタイプ。 さらに大排気量のポンプを組込み 排気速度を大幅UP…DY-MPタイプ。
生産機として設計された自動式真空乾燥・ベーキング装置です。生産ライン用として求められる信頼性、耐久性、操作性を追及するとともに、Max 650℃までの高温処理を可能とした真空乾燥装置です。 到達圧力と排気速度の異なる2タイプ(DY-PとDY-MP) から、目的、用途に合った 機種をお選びください。 ■DY-Pタイプ 排気系が油回転真空ポンプ単独で構成され、到達圧力は×10Pa となります。 ■DY-MPタイプ 排気系が油回転真空ポンプとメカニカルブースターで構成され、到達圧力が×1Pa とDY-Pタイプより一桁良くなるとともに、メカニカルブースターにより大きな排気速度が得られます。ガスなどを多く含んだワークの大量処理に適しています。
熱膨張率の大きいオーステナイト系ステンレス（SCS13・14・16）を独自の冷却方式で接ガス部材質に採用！
『VPシリーズ』は、接ガス部の材質に耐食性を持つ オーステナイト系ステンレス鋼(SCS13・14・16)を 採用したルーツ式の真空ポンプです。 凝縮性ガスのほか、腐食性ガスの吸引にも対応。 吸入口径(D1)は50～125mmをラインアップしています。 【特長】 ■ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ■鋳造可能な耐食合金(Ni-Cr-Mo合金等)による製作も可能 ■5つのタイプから使用条件に合わせて選択可能 ■導入実績多数 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
リーズナブルな価格で、優れた性能をご提供します。
バリューラインの名にふさわしいリーズナブルな価格設定。 ・従来のシングルステージの速度と比較し、能力が改善されたタイプです。 ・フラップ弁を無くし、ゴミなどの影響を受け難いタイプです。 ・計量です。 ・取り付け易い組み込みプッシュインタイプです。
無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心してご利用可能！
『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行います。 油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られます。 【特長】 ■完全オイルフリー ■超高真空、極超真空 ■無人運転 ■不活性ガスの排気(ノーブルポンプ) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
