更新日： 集計期間:2025年11月19日～2025年12月16日
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ウエハー・FPDの大口径化に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮
台湾製真空ポンプは真空・排気とも油分を一切含みませんので作業環境および製品が油で汚染される心配はありません。
ドイツ製カーボンブレード、耐久性および低騒音を実現し、給油の必要はまったくなくメンテナンスフリーです。ロータリー式なので脈動の少ない安定した空気として、真空用・排気用としてご利用いただけます。
台湾製真空ポンプは真空・排気とも油分を一切含みませんので作業環境および製品が油で汚染される心配はありません。
ドイツ製カーボンブレード、耐久性および低騒音を実現し、給油の必要はまったくなくメンテナンスフリーです。ロータリー式なので脈動の少ない安定した空気として、真空用・排気用としてご利用いただけます。
ロボットのピック＆プレイスや真空包装、印刷業界での紙葉類処理を効率化する真空・加圧ソリューション！
【製品説明】 実績に裏打ちされたロータリーベーン原理で高速排気。ドライ式で排気がクリーン。これらの特徴が、スピードが肝心のロボットのピック＆プレイスや、クリーンな排気が重要となる真空包装、印刷業界での紙葉類処理でSECOが採用されている理由です。 【特長】 ■コンパクト：真空／圧縮空気源として各種装置に組み込み可能 ■終身潤滑ベアリング：優れたアップタイムを実現 ■自己潤滑ベーン：封液や潤滑液を使わないドライな圧縮が可能 ■高信頼：確立されたロータリーベーン原理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
脱泡・吸着・搬送などの用途で、封水給水量を大幅に節水！
ミウラの水封式真空ポンプ/MEA-節水仕様は、 水の飛散を防止し、かつ封水給水量を大幅に節水(約60%節水)できるポンプです。 【特徴】 ○排気セパレータで排気と水を分離し、水の飛散を防止 ○封水を一部循環して使用するので、約６０％の節水が可能（当社比） ＊１０kPa（絶対圧）～大気圧で使用される場合 ○ポンプ内には、衛生的な樹脂ケーシングとステンレス製の二段インペラを採用。 ○吸引トラブルや破損に強い構造 ○軽量コンパクトボディで省スペース ○付帯品を組込んでいるので、配管施工が簡単 ●詳しくは問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。
化学、製薬業界の各種プロセス用途をはじめとした多くのアプリケーションに！
COBRA NC シリーズは、効率性の優れたドライスクリューポンプです。 当シリーズは、今までの堅牢な構造はそのまま残し、改良を加えました。 非常に厳しいプロセス条件下でも、 特殊のコーティングを施した一体型の不等ピッチ形状スクリューロ ーターが安全性・信頼性の高い運転を実現し運転コストについても低減しています。 【特長】 ● 高度なスクリュー設計 ● 効率性：省エネ、低メンテナンス、 低運用コスト ● 堅牢性：ベーパーや粒子に対する優れ た耐性、セルフドレン ● 卓越した性能：吸気圧に関わらず優れた排気 速度をキープ ● フレキシブル：空冷方式、各種シーリング、 コーティングを選択可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
一段式の油回転式真空ポンプ。 低い騒音レベルとスムーズな操作性。幅広いラインナップから適したポンプを選択することが可能。
一般産業だけでなく研究開発分野においても適した油回転式真空ポンプ。 低～中真空の排気に適し、ルーツ真空ポンプやターボ分子ポンプなどと 組み合わせることにより高真空を得ることもできます。 排気速度10～750m3 x h-1の幅広いラインナップからお客様のニーズに適したポンプを選択できます。 【主な特徴】 - 低圧でも高い排気速度 - 低い騒音レベルとスムーズな操作 - 内蔵の効率的な排気フィルターによるオイルミストの少ない排気ガス - 冷却効率の高い空冷式（標準）・オプションで水冷式も選択可能 - 省スペース、簡単な設置 - 堅牢かつ容易なメンテナンス性 - SOGEVC SV 100B以上のサイズはルーツポンプに直接接続が可能 - 高い水蒸気許容量 - 豊富なアクセサリー ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
高温の真空乾燥・ベーク処理を全自動で…DY-Pタイプ。 さらに大排気量のポンプを組込み 排気速度を大幅UP…DY-MPタイプ。
生産機として設計された自動式真空乾燥・ベーキング装置です。生産ライン用として求められる信頼性、耐久性、操作性を追及するとともに、Max 650℃までの高温処理を可能とした真空乾燥装置です。 到達圧力と排気速度の異なる2タイプ(DY-PとDY-MP) から、目的、用途に合った 機種をお選びください。 ■DY-Pタイプ 排気系が油回転真空ポンプ単独で構成され、到達圧力は×10Pa となります。 ■DY-MPタイプ 排気系が油回転真空ポンプとメカニカルブースターで構成され、到達圧力が×1Pa とDY-Pタイプより一桁良くなるとともに、メカニカルブースターにより大きな排気速度が得られます。ガスなどを多く含んだワークの大量処理に適しています。
まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う！関連製品もご紹介
当資料では「メカニカルブースタ排気システム」について ご紹介しております。 大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組み合わせて使用することや、様々な 補助ポンプと組み合わせることで、適切な真空環境が提供されることなど を解説。 また、製品は特長や対応業界、系統図も掲載しております。写真付きで 関連製品もご紹介しておりますので、ぜひ、ご覧ください。 【掲載製品】 ■PRM/SRシリーズ ■PRLシリーズ ■PRDシリーズ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
真空包装機レンタル承ります。
■標準装備 ●理想的な加熱温度を設定・維持することができる加熱温度コントロール機構は下記の用途などに活躍します。 ・加熱温度の変化によるシールミスが許されない場合 ・長時間の連続使用、量産される場合 ・シール精度・強度が常に一定であることが要求される場合 ●薄型温度センサー（熱電対）をヒーターに接触させ、ヒーター温度をダイレクトに検出し制御します。 ●作業場環境（気温）の変化や長時間の使用による機械温度の上昇などにより設定したシール条件が変化することがありません。 ●「理想的な加熱温度」=「フィルムが溶ける温度」に加熱温度を設定することができますので、シール強度を向上させることができます。また、シール加熱･冷却に無駄がないので省エネルギー・高作業効率であるとともにヒーター、テフロンなどの部品寿命を長くします。
到達圧力に優れた真空ポンプとなっており、幅広い用途でご使用いただけます。【アルバック／ULVAC】
PVD シリーズは、信頼性・使いやすさから、長年主力ポンプとして、多くのお客様にご利用いただいている小型油回転真空ポンプです。 2段式回転翼型ポンプで到達圧力に優れた真空ポンプとなっており、幅広い用途でご使用いただけます。 【特徴】 ○ベルト駆動型の小型油回転真空ポンプ（ロータリーポンプ） ○排気特性が非常に優れている 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
新設計スクリューローターにより、優れた排気性能を発揮！
【主な特徴】 ◆ 環境に優しい完全オイルフリー ◆ 排気速度 ２５０ｍ３／ｈ（ＳＰ２５０）、６３０ｍ３／ｈ（ＳＰ６３０） ◆ 新設計スクリューローターにより、優れた排気性能を発揮（最高到達真空度：１Ｐａ以下) ◆ 新設計フラッシングキット搭載（オプション）により内部洗浄時間とコストを飛躍的に削減 ◆ 完全空冷（オプションにて水冷も可能） ◆ 独自のべアリング構造により、メンテナンス時ベアリングの脱着が不要。通常メンテナンス時間を大幅に短縮 ◆ 省エネ設計 ◆ パージガス機能を搭載。バインダー等、パーティクル吸い込みからシール部を完全保護 ◆ 独自のモニタリング機能 ＳＰガードを搭載。運転状況（振動、内部温度、背圧、等）を液晶モニターにて常時表示
豊富な実績に裏打ちされた直結ポンプのスタンダード
排気速度50～1300（60～1500）L/minまで7機種のラインナップがあり、お客様の用途・環境に合った最適な機器の選択が可能です。（60Hz）
『低騒音型ポンプ』として開発された油回転真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】
VD シリーズは「低騒音型ポンプ」として開発されたモータ直結油回転真空ポンプです。 蒸着・スパッタリング装置から真空包装機まで、真空をつくる根幹のポンプとして幅広い排気用途でご利用いただけます。 真空ポンプには作業環境の向上のため「静かさ」が強く求められています。VDシリーズは、このようなご要望に応え開発した低騒音型のモータ直結油回転真空ポンプ（ロータリーポンプ）です。また、メンテナンス性を重視した設計になっていますので、日常の保守・点検がたいへん容易です。特に静かさを求められる研究所から各種生産ラインに至るまで、幅広い用途でご使用いただけます。 【特徴】 ○低騒音 ○優れたメンテナンス性 ○大気圧付近のような高圧時においても安定した排気が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
