更新日： 集計期間:2025年10月01日～2025年10月28日
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【省エネ】最少の消費電力で排気能力を最大化するメカニカルブースタ
後段の真空ポンプ（ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ）と 組合せることで、小さな動力で排気速度を大幅に増やし、 到達圧力を1～2桁低くすることができます。 ●排気効率が非常に高く、省エネで排気速度と到達圧力の向上ができます。 ●水封式真空ポンプにも対応した設計で高背圧にも耐えられるため、非常に堅牢です。 ●排気口の向きを下側／横側から選択できます。 ●真空ポンプの能力が落ちる到達圧力付近の排気速度をカバーできます。 ●真空スイッチ（圧力スイッチ）も付属できます。
オイルフリーでクリーンなダイアフラム式ドライポンプ。
吸気・排気両方に対応（JVP-20Proは吸気のみ）。 排気がクリーン、サンプルを汚染しません。 圧力調整可能・24時間連続稼働可能 過負荷・過熱・短絡保護機能を搭載し、安心して使用できます。 高精度の真空計を採用し、反応が速く正確に圧力を把握できます。 静音仕様で、動作音が小さく快適に使用できます。 コンパクトなサイズで、省スペース設置が可能です。
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
優れた真空性能と排気速度、低振動低騒音、自社製ブラシレスDCモータは各パラメータの設定によるデジタルカスタマイズが可能です。
・優れた排気速度で高真空に至ります ・堅牢設計 ・低振動・低騒音設計 N952KNDC-B 基本流量: 11 - 36 l/min 排気速度: 0.66 - 2.16 m3h 到達真空度: 1.5 mbar abs 許容最大吐出圧: 1 bar (0.1 MPa) N952KTE-W 基本流量: 32 l/min 排気速度: 1.92 m3h 到達真空度: 2 mbar abs 許容最大吐出圧: 1 bar (0.1 MPa) N952KT.29E-W 基本流量: 9- 32 l/min 排気速度: 0.54 - 1.92 m3h 到達真空度: 2 mbar abs 許容最大吐出圧: 1 bar (0.1 MPa)
水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適な 水封式真空ポンプ
水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適な 水封式真空ポンプ 【特徴】 ○引火性ガスや腐食性ガスの排気ができる ○摩擦部分が少なく故障がないので連続運転に耐えられる ○低騒音でかつ振動が少ない ○連続排気で脈動がない ○軸封にメカニカルシールを使用し、メンテナンスが容易 ○全機種エルモ形で従来のナッシュ形よりも効率到達圧力がよい ○定流量弁を内蔵し適量給水方式を採用 ○LEH型は2段ポンプで高真空用に LEM型はモーター直結型ポンプでコンパクト、軽量 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロードください
メカニカルブースターポンプ
まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる 機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの 大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用する ○コンパクト設計なので、システムとしてまとめる事が容易 ○ベルト駆動型の大型ルーツ真空ポンプ（Rシリーズ）もラインアップ （宇宙試験用大型チャンバーなど大排気を必要とする用途にも対応） ○インバータ制御により、大気圧から駆動したり、吸入圧力が低い状態で 圧力コントロールをしたりする事ができる ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。
油ではなく水により、真空シール、回転部の潤滑、摺動部の冷却をおこないます。
水封式ポンプは、円形ケーシングと羽根車により本体を構成し、羽根車はケーシングと偏心した位置に取付けられています。ケーシング内に適当量封水を入れて羽根車を回転させますと、図のように、質量の大きい封水は、遠心力によってケーシング内壁に沿って同心のリング状になります。羽根車が回転することにより、この封水リングの内壁と羽根車の羽根によって囲まれた空間の容積が変化することを利用して、側壁または羽根車の内壁に設けられている吸・排気口を通して、吸入・圧縮・排気の作用を連続的に行います。さらに、高速回転により能率的に排気します。また封水は、吸気された気体が必ず排気されるように、シールの役目をしています。
低騒音、低排出、低メンテナンスの3拍子が揃った新製品。内蔵の排気フィルターによりオイルミストの排出とオイルロスを防止します。
『SOGEVAC NEO D』は、どのような吸気口圧力でも連続的に稼働し、 より少ない騒音と排出でよりよい職場環境を作り出します。 内蔵の排気フィルターがオイルミストの排出とオイルロスを防止、 クリーンなアプリケーションでは最長3年間メンテナンスフリーの運転が可能です。 【特長】 ■静かで使いやすい ■排気中のオイルスモークやオイルの損失がなく、クリーンな環境を確保 ■長い稼働：最長3年間メンテナンスフリー ■排気フィルタを内蔵、外付けのフィルターは不要 ■非常にコンパクト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※デモ機あり
熱膨張率の大きいオーステナイト系ステンレス（SCS13・14・16）を独自の冷却方式で接ガス部材質に採用！
『VPシリーズ』は、接ガス部の材質に耐食性を持つ オーステナイト系ステンレス鋼(SCS13・14・16)を 採用したルーツ式の真空ポンプです。 凝縮性ガスのほか、腐食性ガスの吸引にも対応。 吸入口径(D1)は50～125mmをラインアップしています。 【特長】 ■ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ■鋳造可能な耐食合金(Ni-Cr-Mo合金等)による製作も可能 ■5つのタイプから使用条件に合わせて選択可能 ■導入実績多数 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
リーズナブルな価格で、優れた性能をご提供します。
バリューラインの名にふさわしいリーズナブルな価格設定。 ・従来のシングルステージの速度と比較し、能力が改善されたタイプです。 ・フラップ弁を無くし、ゴミなどの影響を受け難いタイプです。 ・計量です。 ・取り付け易い組み込みプッシュインタイプです。
無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心してご利用可能！
『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行います。 油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られます。 【特長】 ■完全オイルフリー ■超高真空、極超真空 ■無人運転 ■不活性ガスの排気(ノーブルポンプ) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
台湾製真空ポンプは真空・排気とも油分を一切含みませんので作業環境および製品が油で汚染される心配はありません。
ドイツ製カーボンブレード、耐久性および低騒音を実現し、給油の必要はまったくなくメンテナンスフリーです。ロータリー式なので脈動の少ない安定した空気として、真空用・排気用としてご利用いただけます。
扱いやすさと低価格にフォーカスした水封式真空ポンプ。真空乾燥、除水、減圧、脱気、蒸留、濃縮、滅菌などに必須の真空サプライにお勧め
★特徴その１★ 取付け簡単:ユニバーサルフランジを採用。JIS、ANSI、DIN/ENに 簡単に取付け可能です ★特徴その２★ 手早く交換:ベアリング・ボックス・カバーを外すだけでシール、 ベアリングの交換ができます。ポンプの分解不要なため、現場で 手早く作業可能です ★特徴その３★ 低価格:構造をシンプルにすることで小型化と低価格化を実現 ★特徴その４★ 材質の標準化を図り、短納期対応可能です
コンパクトかつお手頃価格のオイルフリー式ダイヤフラム真空ポンプです。 手動で排気速度を任意に調整可能な機能を備えております。
LABOPORT N96.18
ウエハー・FPDの大口径化に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮
