更新日： 集計期間:2026年06月10日～2026年07月07日
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40％のサイズダウン！組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバーにより高効率を実現
『エクセルポンプ』は、小型軽量の真空ポンプです。 イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発した ポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータを採用。 また、NEG(非蒸発型ゲッタ)ポンプの内蔵によりXHVの達成を可能にしました。 【特長】 ■UHV、XHV領域での高い排気能力 ■高効率ベーキングの実現 ■小型、軽量 ■クリーンルーム対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現！あらゆる製造装置に組み込みが可能
『MU-XE シリーズ』は、同クラスで、世界最省クラスの省エネとフットプリントを 両立したルーツ型ドライ真空ポンプです。 あらゆる製造装置に組込みが可能です。 ロードロック及び搬送室等のクリーン排気プロセス用途に最適です。 【仕様】 ■消費電力0.25kW ■A3以下の230×450mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【モータ 一体型】低騒音で耐久性に優れた、小型液封式（水封式）真空ポンプです。
ニクニの液封式（水封式）真空ポンプは安全性＆経済性に優れています。 ■安全性 羽根車の各セルにおいて水がピストン運動することによりガスの吸引・圧縮を行うため、ミストや水蒸気を含んだガスの移送も全く支障はありません。ポンプ内部には金属接触がなく、液膜により完全にシールされているためモレがなく、爆発性のあるガスや腐食性の高いガスの吸引・圧縮に適します。 ■経済性 高効率設計により経済性を追求、大幅に消費動力を削減します。（2作動型に比べ30％の省エネが可能）液封構造によりガスのリークはありません。高価なガスの圧送、圧縮に効果的です。 ■低騒音 シャフト1回転で羽根車のセルの数だけの吸引・圧縮が連続的に行われるため、脈動・振動がありません。また消音セパレータとの組合せにより騒音は極めて低く押えられます。 ■耐久性 シンプル構造と堅牢構造に加え、ポンプ内にシール部以外の摺動部や機械的接触がないため、耐久性に優れています。側気口構造のため磨耗に強く、内気口型のものに比べて長期間高性能を維持します。 ■清浄性 油回転式のようなオイルミス卜の発生がなく、清浄な環境を守ります。
高温の真空乾燥・ベーク処理を全自動で…DY-Pタイプ。 さらに大排気量のポンプを組込み 排気速度を大幅UP…DY-MPタイプ。
生産機として設計された自動式真空乾燥・ベーキング装置です。生産ライン用として求められる信頼性、耐久性、操作性を追及するとともに、Max 650℃までの高温処理を可能とした真空乾燥装置です。 到達圧力と排気速度の異なる2タイプ(DY-PとDY-MP) から、目的、用途に合った 機種をお選びください。 ■DY-Pタイプ 排気系が油回転真空ポンプ単独で構成され、到達圧力は×10Pa となります。 ■DY-MPタイプ 排気系が油回転真空ポンプとメカニカルブースターで構成され、到達圧力が×1Pa とDY-Pタイプより一桁良くなるとともに、メカニカルブースターにより大きな排気速度が得られます。ガスなどを多く含んだワークの大量処理に適しています。
7分以内に大気圧から10Pa以下まで排気！当社の真空排気システムをご提供した事例
大型含浸装置において含浸タンク内を大気圧から真空状態に繰り返し排気 するために使用される、大型ルーツ真空ポンプを主ポンプとした「真空排気 システム」を導入した事例をご紹介いたします。 本事例では、大型電動機用真空含浸装置において、13m3の容積を持つ 含浸タンク内を、7分以内に大気圧から10Pa以下まで排気することが 求められました。 設定した真空度に到達すると、吸気口側に設けた真空スイッチにより、 ルーツ真空ポンプが起動。吸気口と排気口の間には弁体の自重によって 開閉する逃し弁を備えており、高圧側からのポンプ起動を可能にしています。 【特長】 ■設定した真空度に到達すると、吸気口側に設けた真空スイッチにより、 ルーツ真空ポンプが起動 ■吸気口と排気口の間には弁体の自重によって開閉する逃し弁を備えており、 高圧側からのポンプ起動が可能 ■電動機・真空スイッチ・電磁弁はすべて防爆仕様 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
再現性・リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能！真空計として優れた特長を持っています
『M-311HG』は、トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。 イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、 広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。 センサは実績のあるミニチュアゲージ（MG-2Iタイプ）を使用しています。 【特長】 ■ワイドな圧力測定範囲 ■高応答アナログ出力 ■4つのエミッション電流設定モード ■省スペース・低消費電力 ■安全性と環境に配慮した製品でRoHSおよびCEマーキングに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
お客様の用途・環境に合った最適な機器の選択が可能です。
すべてにグレードアップした新世代の直結 ”ニュー・ディグニティー（高品位）Λ（ラムダ）シリーズ
無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心してご利用可能！
『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行います。 油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られます。 【特長】 ■完全オイルフリー ■超高真空、極超真空 ■無人運転 ■不活性ガスの排気(ノーブルポンプ) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
豊富な実績に裏打ちされた直結ポンプのスタンダード
排気速度50～1300（60～1500）L/minまで7機種のラインナップがあり、お客様の用途・環境に合った最適な機器の選択が可能です。（60Hz）
【高さわずか16cm！】～卓上真空包装機に適したコンパクトデザイン～Ｏ５シリーズ誕生
『ロータリーベーンオイル潤滑式真空ポンプ』の新シリーズが誕生しました。 最大の特長として、3種のポンプを入れ替えるだけで、装置の設計変更無しで装置3バージョンが実現可能です！ ◎紹介動画の配信・データシート進呈中 【特長】 ■モジュラーデザインによりカスタマイズが可能 ■高さわずか16センチ！卓上真空包装機に適したコンパクトデザイン ■耐久性がアップ！過酷な環境にも耐えうる ■メンテナンス、パーツ交換も簡単に！ ただ今、試験導入を受け付けております！ ※営業担当もしくはHPよりお問い合わせくださいませ。
錆・汚れに強く、洗浄も簡単な真空包装機
ベルトの上に袋詰めされた商品を並べるだけで真空、シール、排出の工程が自動的に行われ、量産に威力を発揮します。
従来製品の2倍以上（当社比）のテーブル最高速度を実現！
超小型装置の分野で定評のある、トラックレール幅2mmのIKOマイクロリニアウェイLと、ねじ径2mmの精密研削ボールねじを組み込んだ、極めて小形な精密位置決めテーブルです。
豊富な実績に裏打ちされた真空乾燥器・真空乾燥装置のスタンダード。研究開発、生産プロセスなど幅広い用途に対応する万能タイプ。
DQ-P（ポンプ組込タイプ） 省スペースのポンプ組込み一体型、停電時 のオイルバック防止など保護対策も充実。 DQ-S（卓上タイプ） 設置場所に合わせた真空ポンプとのつなぎ 方が可能、スペースを有効利用できます。
お客様からの実験依頼（真空乾燥・真空ベーキング処理など）にお応えしております。
佐藤真空社では、従来の設備に加え、高真空（×10^4Pa）/高温（Max 500℃）での 処理を可能とする実験装置を新たに導入し、お客様のワークサンプルテスト用 として常設しております。
到達圧力 ×10^1Pa により、多様な研究開発の要請にお応えする真空乾燥装置です。
外装はオールステンレス製の美しいヘアライン仕上げで、設置場所に合わせた 真空ポンプとのつなぎ方が可能です。 実験机の上などのスペースを有効利用できる真空乾燥装置です。
取扱いが簡単で堅牢！リレー接点を2点装備し、システム制御にも使用可能です
『DG-2B/DG-2B2』は、メーターと本体（アンプ）が分かれている セパレートタイプのペニング真空計で、設置場所を選ばず、装置への 取付に適しています。 「ペニング真空計」は、磁場中における放電電流を検出して測る真空計です。 冷陰極放電なのでフィラメントの焼損もなく、一気圧でスイッチを入れても 故障を起こすことはありません。 また「DG-2B2」は、リレー接点を2点装備しているのでシステム制御にも 使用する事が可能。その他、お客様のご要望に応じて改良が可能です。 【特長】 ■セパレートタイプ ■設置場所を選ばず、装置への取付に好適 ■測定球はマグネットに特殊合金を使用 ■測定球フィラメントの焼損等がなく堅牢 ■圧力のインジケーターとして容易に使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
軽量・コンパクトな位置決めテーブルが新登場！
主要構成部品に高強度アルミニウム合金を使用し、U字形のベッドの内側にスライドテーブルを配置した構造の軽量・コンパクトな位置決めテーブルです。
ストローク全域の位置決め精度を保証！高分解能と高速移動の両立が可能
『TX…M/CTX…M』は、各部精度を徹底的に追求し、エアステージに迫る 位置決め精度を実現した高精密位置決めテーブルです。 エア供給装置などは不要なので、システム構成がシンプルとなり、 省スペースや装置コストの削減が可能。 リニアエンコーダは、アブソリュート型とインクリメンタル型の 選択ができます。 【特長】 ■転がり案内方式 ■超高精度リニアエンコーダの搭載 ■高い位置決め精度と分解能を実現 ■アブソリュート型リニアエンコーダの選択が可能 ■ローラタイプ直動案内機器の採用で高い走行性能を実現 ■シンプルなシステム構成が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超高精密位置決めを可能に！多様なニーズにお応えする豊富なバリエーション
『TXシリーズ』は、フルクローズドループ制御による高精度な 位置決め制御が行える、リニアエンコーダ付きの指定が可能な、 単軸仕様の高精密位置決めテーブルです。 新たにアブソリュート型リニアエンコーダを追加し、 お客様の装置に好適なリニアエンコーダを選択可能。 また、直交型の二軸仕様（CTX…M）もご用意しております。 【特長】 ■新たにアブソリュート型リニアエンコーダを追加 ■お客様の装置に好適なリニアエンコーダを選択可能 ■充実したサイズバリエーション ■直交型の二軸仕様（CTX…M）もご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【使い方も簡単】50～200nmサイズのLNPで8段階のTFRを10分でスクリーニング！0.5～200 mLまで実績あり
脂質ナノ粒子製造装置「Nunchuck」は、完璧なサイズの脂質ナノ粒子（LNP）を作製するために必要な2つの重要ステップ、すなわち全流量 (Total Flow Rate, TFR） スクリーニングとLNP処方を組み合わせた、最初で唯一のプラットフォームです。 一度に一つの流量しか測定できないワークフローの繰り返しはもうやめて、一度だけで完了する究極のLNP作製法をお試しください。 【特長】 ・わずか10分で8段階のTFRをスクリーニングして最適な条件を素早く見つけ、その後すぐに0.5～200 mLのLNPの作製に移ることが可能 ・必要量が0.5 mLであるか200 mLであるかにかかわらず、Nunchuckはどの容量でも同じ高品質のLNPを作製することが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ステンレスが溶ける環境でも止まらない。200μm厚膜PFAコーティングと縦型構造で、高腐食性ガスの吸引プロセスに長期安定稼働を。
「腐食性ガスでポンプの劣化が早い」「凝縮液の処理に手間がかかる」 そのお悩み、TRVシリーズが解決します。 ■ ステンレスでは限界な腐食性ガスへの対応 酸性・アルカリ性の高腐食性ガスにも耐えるPFAフッ素樹脂を、200μmの厚膜でコーティング。 薄膜品と異なりピンホールレス相当の品質を実現し、腐食リスクを大幅に低減します。 ■ 凝縮液を「自然に」排出する縦型構造 ガス流路を上から下へ配置した独自の縦型設計により、ミスト・凝縮液が吐出口へ自然流下し、大気圧下で容易に排出・回収できます。 液溜まりによるトラブルを防ぎ、メンテナンス負荷を軽減します。 ■ 過酷な運転条件にも安定対応 ・大気圧〜締切運転まで安定稼働 ・120℃までの高温ガスに対応 ・メカニカルブースターとの組み合わせで幅広い真空域をカバー ・電動機は防爆対応も可能 ・設置面積が小さく、装置への組み込みに好適 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくかお気軽にお問い合わせください。
溶接では難しい、異なる金属材料同士の接合や、複雑形状・微小材料の接合も実現
『拡散接合装置』は、当社独自の真空技術によって金属材料を 原子レベルで接合し、異なる材料同士の接合も可能になる製品です。 溶接で問題となる材料の変形が少なく、何層にも積層ができるので、 高精度な加工や微小な材料の接合も可能です。 【特長】 ■プログラムによる細かな温度管理が可能 ■材料を溶かさずに接合が可能 ■リースでのお取扱いにも対応 ※詳しくは資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
持ち上げ装置1台に複数使用する事で高さや形の違うワークの処理が可能
サクションカップ「Bシリーズ」1段ベローズモデルは、小さくて薄いワークをはがすための動作に最適です。 持ち上げ装置1台に複数のショートベローズカップを使用する事で高さや形の違うワークの処理が可能になります。 また、ベローズのサクションカップは薄いワークを分離するためにわずかに持ち上げる動きをします。 【特徴】 ○高さ調整に適している ○導電性シリコンのサクションカップは、 静電気対策が必要なワークの取扱いに適している ○透明のシリコンは、FDAに適応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
真空経路内の損失のリスクがなく、過剰な装置に費用がかかることがない
吸引点に真空ポンプ／カートリッジを直接配置する分散型システムは、真空経路内の損失のリスクがなく、過剰な装置に費用がかかることがありません。 不要な容積を排気する必要がないので、応答時間が大幅に短縮されます。 さらに個々のサクションカップは独立しているので、どのサクションカップで圧力損失が発生しても他のサクションカップには影響しません。 【特徴】 ○低エネルギー ○サイクル時間が最速 ○製品取扱いに関する安全性が最も高い ○ゾーンへの分割が容易な柔軟性の非常に高いデザインが適用されている ○トラブルシューティングが非常に容易 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
真空経路内の損失のリスクがなく、過剰な装置に費用がかかることがありません
吸引点に真空ポンプ／カートリッジを直接配置する分散型システムは、真空経路内の損失のリスクがなく、過剰な装置に費用がかかることがありません。 不要な容積を排気する必要がないので、応答時間が大幅に短縮されます。 さらに個々のサクションカップは独立しているので、どのサクションカップで圧力損失が発生しても他のサクションカップには影響しません。 【特徴】 ○容易に設置することができる ○真空検出と制御が容易 ○ツールのアーム端が軽い ○フィルターの選択が容易 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
窒素ガス発生装置などをお取り扱い！製品とその生産能力に好適な包装形態をご提案
ニチモウ株式会社では、包装関連の機械を取り扱っております。 ピロー包装機、ストレッチ包装機、深絞り包装機、 真空パック包装機など包装に関連する各種機械をご用意。 製品とその生産能力に適した包装形態を提案いたします。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【取扱機械(一部)】 ■給袋式ロータリー真空包装機 ■ガス充填パック包装機 ■シール機 ■バンド掛け梱包機 ■封函機 ■製函機 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
据付面積：550×570×821mm！真空包装機をご検討、お困りの方は是非ご相談下さい！
『MDJ-V002D』は、深型真空チャンバー型の真空包装機です。 有効シール長は、450mm×2本。 オプションにてガス置換装置をご用意しています。 当社は、様々なニーズにお応えする真空包装機を提供致します。 真空包装機の「部品・修理・新規購入」でご検討、お困りの方は 是非ご相談下さい。 【仕様】 ■据付面積：550×570×821mm ■チャンバー内寸：470×425×260mm ■有効シール長：450mm×2本 ■オプション：ガス置換装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ダブルステージ水封式真空ポンプ。欧州CE規格標準（UL規格 中国GB規格にも対応）
スペック社 水封式真空ポンプ【ＶHCシリーズ 】は水封式真空ポンプの構造により、水分を含んだガスの吸引も可能です。また２段式インペラーの構造により、高真空度を達成できます。 またスペックポンプは欧州CEマーク標準（アメリカULマーク 中国GBマークにも対応）です。その他にはRoHS対応もしています。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい
水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。【アルバック／ULVAC】
ドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10,000 ～ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PRC-A シリーズは、PMB-C（M）同様、汎用型としての使用はもちろんのこと、特にポンプ外部および内部のクリーン度が要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたルーツ型ポンプです。 PMB-040C, PMB-060C は、熱処理炉、溶解炉や大型成膜装置などの大容量排気として最適です。 【ラインナップ】 ○PMB-001C,CM ○PMB-003C,CM ○PRC-003A ○PRC-006A ○PRC-012A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ミウラの真空ポンプは、省スペースで封水量も少ない！ランニングコストを大幅に低減
当社は「エゼクタを使用して真空引きをしている」「機器の省スペース化、 コストダウンをしたい」というポンプのお悩みを解決します。 当社の真空ポンプは、封水量が少ないので水エゼクタに比べてランニング コストを大幅に低減することができます。使用条件によっては節水仕様に することでさらにランニングコスト低減も可能です。 また、当製品はモータ直結式構造のため省スペースにて設置できます。 【このようなお悩みを解決】 ■真空装置のランニングコストを下げたい ・真空引きをするために水エゼクタを使用しているが ランニングコストがかかる ■真空装置の省スペース化をしたい ・水エゼクタを使用して真空引きをしているが設備が大きいために 設置・保全に手間がかかる ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
