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空気と微量の液体を同時吸引可能！
『MF-5』は、小型で偏心量を少なく取り、ダイアフラムへの負担が 少なくすむダイアフラムタイプの真空ポンプです。 無給油式ドライタイプのポンプのため、接ガス部に油を 使用しておりません。 また、特殊ガスの吸引ができ、ガスによりダイアフラムの材質を 変更可能ですので、ガスをご使用の場合は必ずお問合せください。 【特長】 ■低振動、低騒音 ■使用電圧単相 100V ■サーマルプロテクター内蔵 ■電源接続 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
真空ポンプの特長や機能など掲載しております
当カタログは、無給油ロータリー真空ポンプ・ブロワー（コンプレッサー）を 製作している株式会社三津海製作所の真空ポンプ・ブロワーに関する資料です。 様々な真空ポンプの特長や機能、選定する際に必要になる計算式、 一般的な真空回路を掲載しております。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。 【掲載内容】 ■用途と適用産業界 ■真空ポンプ・ブロワー機能一覧 ■ダイアフラム真空ポンプの特長 ■ロータリー真空ポンプの特長 ■ピストン真空ポンプの特長 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
お客様の用途・環境に合った最適な機器の選択が可能です。
すべてにグレードアップした新世代の直結 ”ニュー・ディグニティー（高品位）Λ（ラムダ）シリーズ
油ではなく水により、真空シール、回転部の潤滑、摺動部の冷却をおこないます。
水封式ポンプは、円形ケーシングと羽根車により本体を構成し、羽根車はケーシングと偏心した位置に取付けられています。ケーシング内に適当量封水を入れて羽根車を回転させますと、図のように、質量の大きい封水は、遠心力によってケーシング内壁に沿って同心のリング状になります。羽根車が回転することにより、この封水リングの内壁と羽根車の羽根によって囲まれた空間の容積が変化することを利用して、側壁または羽根車の内壁に設けられている吸・排気口を通して、吸入・圧縮・排気の作用を連続的に行います。さらに、高速回転により能率的に排気します。また封水は、吸気された気体が必ず排気されるように、シールの役目をしています。
高真空・高温対応 全自動式真空乾燥・真空ベーキング装置。油拡散ポンプ排気系とターボ分子ポンプ排気系の2タイプがあります。
高真空・高温対応 全自動式真空乾燥・真空ベーキング装置。油拡散ポンプ排気系(×10^3Pa)…DH-DPタイプ真空乾燥器。ターボ分子ポンプ排気系(×10^4Pa)…DH-TPタイプ真空乾燥器。 ■生産機として設計された自動式真空乾燥・真空ベーキング装置です。 生産ライン用として求められる信頼性、安全性、操作性を追及するとともに、Max 650℃までの高温処理を可能とした真空乾燥装置です。 本シリーズの2 タイプは、油拡散ポンプとターボ分子ポンプという、到達圧力だけでなく方式も異なる真空ポンプをメインとしておりますので、クリーン度を要求されるケースなど、目的・用途に合ったタイプからご選択ください。
豊富な実績に裏打ちされた真空乾燥器・真空乾燥装置のスタンダード。研究開発、生産プロセスなど幅広い用途に対応する万能タイプ。
DQ-P（ポンプ組込タイプ） 省スペースのポンプ組込み一体型、停電時 のオイルバック防止など保護対策も充実。 DQ-S（卓上タイプ） 設置場所に合わせた真空ポンプとのつなぎ 方が可能、スペースを有効利用できます。
高温の真空乾燥・ベーク処理を全自動で…DY-Pタイプ。 さらに大排気量のポンプを組込み 排気速度を大幅UP…DY-MPタイプ。
生産機として設計された自動式真空乾燥・ベーキング装置です。生産ライン用として求められる信頼性、耐久性、操作性を追及するとともに、Max 650℃までの高温処理を可能とした真空乾燥装置です。 到達圧力と排気速度の異なる2タイプ(DY-PとDY-MP) から、目的、用途に合った 機種をお選びください。 ■DY-Pタイプ 排気系が油回転真空ポンプ単独で構成され、到達圧力は×10Pa となります。 ■DY-MPタイプ 排気系が油回転真空ポンプとメカニカルブースターで構成され、到達圧力が×1Pa とDY-Pタイプより一桁良くなるとともに、メカニカルブースターにより大きな排気速度が得られます。ガスなどを多く含んだワークの大量処理に適しています。
熱膨張率の大きいオーステナイト系ステンレス（SCS13・14・16）を独自の冷却方式で接ガス部材質に採用！
『VPシリーズ』は、接ガス部の材質に耐食性を持つ オーステナイト系ステンレス鋼(SCS13・14・16)を 採用したルーツ式の真空ポンプです。 凝縮性ガスのほか、腐食性ガスの吸引にも対応。 吸入口径(D1)は50～125mmをラインアップしています。 【特長】 ■ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ■鋳造可能な耐食合金(Ni-Cr-Mo合金等)による製作も可能 ■5つのタイプから使用条件に合わせて選択可能 ■導入実績多数 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ
【特徴】 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で 運転を実現し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能 その他の特殊材質についても対応可能 ○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 ○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える ○高温ガス130℃を直接吸引することができる(標準材・FC) ○吸引と同時に圧送ができる（特殊仕様により0.1MPa・Gまで可能） ○大気圧から締切り運転まで各真空度での連続運転が可能
ドライ真空ポンプの問題点を解決！
四葉機械製作所独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプ 【特徴】 ○排気には封水・封油を含まずクリーンな真空 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現 ○独自の技術を基に研究開発された直接冷却方式 回転するローター内部とケーシング･ジャケットを直接、冷却液で圧縮熱を除去 常に一定のクリアランスと安定した真空度を保つ ○凝縮性ガス対応 ○ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ○ジャケット部のスケール付着対応 ○封液を使用しないので、廃液処理費が不要 ○ISO14001、PRTR等の環境対策に最適 ○直接冷却方式の為、各段クーラーが不要でコンパクト ○ケーシング内の洗浄にも対応可能。
腐食性ガスの吸引に最適！
熱膨張率の大きいオーステナイト系ステンレス（SCS13・14・16）を独自の冷却方式で接ガス部材質に採用したドライ真空ポンプ
化学メーカー・製薬メーカーで採用実績多数有！腐食に強いステンレス製真空ポンプ。ガスと液体が混合しない構造で、水処理の必要もなし！
『VPシリーズ』は、接ガス部の材質に耐食性を持つ オーステナイト系ステンレス鋼(SCS13・14・16)を 採用したルーツ式の真空ポンプです。 凝縮性ガスのほか、腐食性ガスの吸引にも対応。 吸入口径(D1)は50～125mmをラインアップしています。 【特長】 ■ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ■鋳造可能な耐食合金(Ni-Cr-Mo合金等)による製作も可能 ■5つのタイプから使用条件に合わせて選択可能 ■導入実績多数 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
腐食性ガスに最適！
ドライ真空ポンプ全般で難しいとされている熱膨張率の大きいオーステナイト系ステンレス（SCS13・14・16）を独自の冷却方式で接ガス部材質に採用したドライルーツ式真空ポンプで多くの納入実績を積んでいます。また、鋳造可能な耐食合金（Ni - Cr - Mo合金等）の製作も可能です。腐食でお困りのユーザー様は是非、ご検討下さい。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
薬品・食品開発に！腐食知らず！フッ素樹脂ライニングを施したドライ真空ポンプ！
『フッ素樹脂ライニング施工ルーツ式ドライ真空ポンプ』は、 真空ポンプ内に厚み150μm以上のフッ素樹脂ライニングを施工。 薬品や食品開発時に使われるハロゲン系ガスや 強酸性流体による腐食を抑制します。 貸出機をご用意していますので、ご希望の方はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■セラミック製液封ポンプより低価格 ■封液不要、なので性能が安定・ランニングコスト削減 ■ポンプの起動が早い ■医薬・試薬・農薬・化学・高機能材・非鉄金属・新素材などに ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
定期メンテナンスは6年に一度のロングライフを実現！トータルコストの低減を追求した、空冷式ドライ真空ポンプ！
定期メンテナンスは6年に一度のメンテナンスサイクルを実現 トータルコストの低減を追求した、空冷式ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○ポンピング部に接触部が無いため 長期の使用による性能劣化がない 〇ロータリーポンプのような 油煙の発生・真空チャンバーの汚染無し ○空冷方式を採用 冷却水が不要なため、設置場所を選ばない ○ガスバラスト機構の採用により水蒸気排気が可能 ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードください
水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適な 水封式真空ポンプ
水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適な 水封式真空ポンプ 【特徴】 ○引火性ガスや腐食性ガスの排気ができる ○摩擦部分が少なく故障がないので連続運転に耐えられる ○低騒音でかつ振動が少ない ○連続排気で脈動がない ○軸封にメカニカルシールを使用し、メンテナンスが容易 ○全機種エルモ形で従来のナッシュ形よりも効率到達圧力がよい ○定流量弁を内蔵し適量給水方式を採用 ○LEH型は2段ポンプで高真空用に LEM型はモーター直結型ポンプでコンパクト、軽量 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロードください
世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現！あらゆる製造装置に組み込みが可能
『MU-XE シリーズ』は、同クラスで、世界最省クラスの省エネとフットプリントを 両立したルーツ型ドライ真空ポンプです。 あらゆる製造装置に組込みが可能です。 ロードロック及び搬送室等のクリーン排気プロセス用途に最適です。 【仕様】 ■消費電力0.25kW ■A3以下の230×450mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 省エネ「だけじゃない」 - 軽負荷からエッチングまで幅広い用途で使用可能
『MU-PE/HE シリーズ』は、軽負荷からエッチングまで幅広い用途で使用可能な ルーツ型ドライ真空ポンプです。 HOT-N2パージを搭載したMU-HEシリーズ (※オプション対応) 【仕様】 ■プロセス耐性 ■消費電力0.6kW ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください
メンテナンスサイクルの信頼性を引継ぎつつ静音性を向上 外観デザインを一新！ NeoDry-Gシリーズ
定期メンテナンスは6年に一度のロングライフを実現！ NeoDry-Eシリーズと比較しデザインを一新、静音性能、水蒸気処理能力がパワーアップしたGシリーズをリリース！ 【特徴】 〇100V/200Vどちらでも使用できるワイド電源仕様 〇静音化 〇水蒸気処理量アップ！ 〇IEC電源コネクタ採用！ 〇高調波規格標準対応！ 〇シリアル通信機能装備！ ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードください
エッチングなどのミディアムプロセスにおいて世界NO.1の低消費電力を実現！ 新しい外観デザインでNewリリース
プロセス耐性と省エネ性能がさらに進化！ 外観を刷新し、省フットプリントデザイン！ 【仕様】 ■プロセス耐性の継承と進化 ■低消費電力 ■世界最小クラスの省フットプリント ■SENI/CE/NRTL 各規格に対応
プロセス耐性に優れたドライ真空ポンプ！ 新しい外観デザインでNewリリース
独自形状の竪型スクリュー 特殊材料による高い耐食性と豊富な温度バリエーションにより幅広いプロセスへの対応を実現 外観を刷新し、省フットプリントデザイン！ 【仕様】 ■プロセス耐性の継承と進化 ■低消費電力 ■省フットプリント ■SENI/CE/NRTL 各規格に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください
医療用電気機器規格IEC60601-1対応！ATX電源mPCSAシリーズ
医療用電気機器規格IEC60601-1対応！ATX電源「mPCSAシリーズ」 【特徴】 ○安全規格UL、CSA、IEC60601-1・UL、CSA、IEC60950取得！ ○入力のL（ライブ)ライン・N（ニュートラルライン）の両ラインにヒューズを内蔵、二重強化絶縁を行っている為お客様にて入力ヒューズや絶縁トランスを別途ご用意いただく必要はありません。 ○低漏れ電流仕様 ○耐電圧（1次-2次間）：4kV ○雑音端子電圧クラスB準拠 ○全出力、最小負荷電流0A仕様 ○RoHS指令適合 ○出力ハーネス着脱方式採用 ●その他の機能や詳細については、カタログをダウンロードしてください。
大きな包装物や 小袋の大量パックに最適なタイプ
オールステンレスで錆に強く衛生的！ 柔らかい物や潰れ易い物をソフトにゆっくりと真空パックする ソフトエアー機能 ワンタッチ、10コース選択可能で使い易い操作パネル チャンバー内寸法 617×642×220 (幅×奥行×高さ) シール有効寸法 550ｍｍ
自動車エアコンの真空引きに最適
真空ポンプ「TW-05A・TW-05AS」は、電磁弁（逆流防止）付タイプと電磁弁無しタイプの２種類をご用意。圧縮方式はロータリーベーンで、排気速度は20ℓ（50HZ）・30ℓ（60HZ）です。R12・R134両方使用可能です。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。
高所・狭所・電源事情もなんのその！軽量・小型・コードレスな充電式真空ポンプ
『1.5CFM』は、3.6kgと小型・軽量な真空ポンプです。 大容量のスタミナバッテリにより、1回の充電で約60分の連続運転が可能。(18V6.0Ah使用時) 「特殊金属フィルター内蔵排気口」搭載で、排気時の油煙を大幅に カットすることができます。 また「逆止弁内蔵ボールバルブ」により、真空ポンプオイルの逆流を 防止します。 【特長】 ■小型・軽量の3.6kg(バッテリ装着時) ■長時間 ■高真空 ■高安全 ■クリーン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
