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周囲の粉塵等を吸い込まないので、吸着面を汚しません！
『NCTNシリーズ』は、円周ノズルから空気を本体にそって噴出させること で生じる負圧を利用し、ワークを吸引する吸着痕対策非接触搬送機器です。 ワークが接近すると空気が反発力として作用しワークの接触を 阻止するため非接触で懸垂保持することが可能。 強い吸引力を有するため非接触での搬送方法だけではなく、積極的に 弾性体等に接触させ保持する使用方法にも有効です。 【特長】 ■ガラスや半導体ウェハー等の非接触搬送が可能 ■通気性のあるワーク、多少の凹凸のあるワークでも保持が可能 ■吸引力が強力 ■ワークにパッド痕や傷をつけない ■メンテナンスが不要 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
グリーンシートを空気で運ぶ
セラミックグリーンシート非接触搬送装置「フロートチャックSAG型」は、気体を空気を噴出することにより、セラミックグリーンシートを非接触にて懸垂保持し、搬送します。 セラミックグリーンシート非接触搬送装置「フロートチャックSAG型」は、ノズルより噴出する高速空気流が直接グリーンシートルに衝突しない機構のノズルを装着し、高速の噴出空気流により120μm厚さの薄い、脆いグリーンシートの破損、損傷を防いぐ機構になっております。、 また「セラミックグリーンシート非接触搬送装置「フロートチャックSAG型」 は使用空気量が少なく、効率が良い。 ◎特徴 １．セラミックグリーンシートを非接触にて 搬送・ハンドリングする。 ２．スルーホール、穴あきシートも搬送可能 ３．120μm厚さの薄いセラミックグリーンシートを損傷・破損しない ４．セラミックグリーンシートを撓まさずに搬送可能 ５．空気消費量が少ない。 ６．環境をよごさない。
排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、 位置決機構を装着したクリンルームで使用可能なベルヌーイチャック。
1.排気回収機構：クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWAS型」は、保持するウエハに対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。 ノズルより噴出した高速空気流はクッション室壁面およびウエハと接触することなく作動面とウエハとの空隙に流入する。 クッション室に生じるエゼクタ効果による負圧発生量も増加し、負圧発生が効率良く行われてます。 作動面とウエハとの間隙を通過した排出空気は、周囲を取り巻くフードにより補足され、排気口より吸引され所定の場所に排出される。そのため高速空気噴流がクリーンルーム内に流入することが少なく、ゴミの排出、塵の巻き上げることがありません ２．位置決め機構：「フロートチャックWAS型」に装着しているガイドは、保持ウエハの外周可触部に接触するガイド底端部の形状が保持ウエハの自由移動を規制する機構になっているため、ウエハを非接触にて保持しているのに拘わらず位置決めが可能であります。
