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空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送! ベルヌーイチャック
新機構「気体垂直噴流方式」を採用しております。、気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。「フロートチャック」は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、ワークを空中に浮遊した無接触（非接触）状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜することが可能です。
偏向板・フィルム・ＦＰＣを高速にて精度よく積層する
送られてきたフィルムを非接触にて、精度よく揃えて集積する。 本装置は、弊社が開発しました空気を噴出することにより偏向板・ＦＰＣ・フィルムを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂する無接触搬送装置「フロートチャック」にて構成される保持装置と、ワーク進行と同調して走行する「非接触支持走行装置」を採用しております。薄いワーク、柔軟なワークを汚れの付着・損傷させることなく、高速にて確実に精度よく集積いたします。
送られてきた偏向板・フィルム・シートを非接触、高速、精度積層する
１． 特徴 ａ．非接触にて積層・段積みする ｂ．フィルムに傷・汚れを付着させない ｃ．高速である。 ｅ．クリーンである。 ２．適応 ａ．偏向板 ｂ．ＦＰＣ ｃ．プラスチック板 ｄ．光輝金属板
ウエハを手操作により非接触にて掴むピンセット
手操作により非接触にてウエハを掴み、搬送する。 きず、汚れ、破損がない。
ウエハをキャリアーへ非接触にて挿入・取り出しをするロボットハンド
非接触にてウエハを搬送可能。ハンドが薄いためキャリアーへのウエハの出し入れが可能。クリーンルーム内で使用可能。アライメントが可能。
積層された通気性シート、フィルム、不織布、紙を非接触搬送装置「フロートチャック」にて１枚ずつ高速にて供給する
通気性の薄いシート。フィルム、不織布、紙に対応。１枚ずつ送り出す。高速。
微小レンズを非接触にて搬送する。
カメラ付き携帯電話のレンズ、デジタルカメラ、医療用カメラ、工業用小型カメラの微小レンズを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送します。傷、汚れを付着させません。
超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置
◎特長 １．超薄反りウエハ・板状体を非接触にて把持、搬送 ２．ウエハに損傷を与えない ３．汚れを付けない ◎ 適応 １．反りのあるウエハ ２．GaSaウエハ ３．極薄ウエハ ４．表面処理ウエハ
積層フィルムを１枚ずつ送り出し、搬送し、積み重ねる装置
◎特徴 偏光板・ガラス・ウエハ・フィルム・紙・布他シートを １．積層したフィルムを１枚づつ送り出す。 ２．先端部が垂れ下がることなく搬送する。 ３．精度良く積層する。 ４．キズ、汚れを付着させない。 ５．ストレスをかけない。 ６．静電気を生じない。
くうきりゅうによりシーとを送り出し・搬送・積層する
アモルファス太陽電池、偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）により積層したシートを１枚ずつ送り出し、先端部に垂れが生じないように搬送し、精度良く積層する装置である フィルム送出部では「空気流による送出機構」（特許）を採用し、フィルムを一枚づつ確実に送り出しす。搬送部は「フロートチャック」を採用し、搬送課程ではフィルム先端部に垂れ下がりを生じさせることなく搬送が可能である。そのためセンサーを用いたフィルムの反射、透過の欠点検査が可能である。 積層部は、非接触搬送装置「フロートチャック」により構成される「非接触懸垂コンベア」により薄い、柔軟性のあるフィルムを水平状態にて落下させ、高速にて精度良く積層する。
非接触ロボットハンド
気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、プリント基板、セラミック基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワーク等に対応
フィルム・シート搬送装置
フィルム、プリント基板、スルホール基板、紙、不織布、柔軟シート、通気性シートを気体を噴出することにより保持、搬送するチャック。
プリフォームレンズを非接触把持し、プレス金型に投入・取り出します。
プレス前後のプリフォームレンズ移載装置「SRLフロートチャックPF型」は、プリフォームレンズをプレス成形にて製作時に、プレス機より完全非接触にて取り出す装置です。 空気を噴出することによりエゼクタ効果およびベルヌーイ効果による負圧発生作用と、圧力室型エアクッション効果および気流のクッション効果による正圧発生作用とにより、レンズを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂保持し搬送します。 このプリフォームレンズをプレス金型に非接触にて投入・取り出装置「SRLフロートチャックPF型」は、レンズ表面はもとよりレンズ端面にも接触しません。このためレンズ表面および側端部に傷を付けたり汚したりすることが無く、また発塵を防止いたします
太陽電池・ソーラーウエハ非接触搬送装置
太陽電池ソーラーウエハ、シリコン太陽電池、アモルファス太陽電池、薄膜太陽電池セルを気体を空気を噴出することにより、太陽電池ソーラーセルを非接触にて搬送する。 ノズルより噴出する高速空気流が直接ソーラーセルに衝突しないようなノズルを装着し、高速の噴出空気流により薄い、脆いソーラーセルの破損、損傷を防いぐ機構になっております。 また「太陽電池ウエハ非接触搬送装置」 は使用空気量が少なく、効率が良い。 また排気流を周囲に排出しない構造ですので環境を汚しません。
ガラス基板を非接触にて搬送システム
この度、新たに開発した「フロートチャックＣ型」シリーズはさらに、慣性力の効果を付加し、最大限活用するものである。気体噴出機構に新機構を採用しており、従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、気体消費量がほぼ半減している。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きいワーク、特に第８世代大型ガラス基板（2200mmｘ2200mm）およびＰＤＰ大型ガラス基板 (2000mmx2000mm)の非接触搬送用に採用が検討されている。また排出気体が減少するためクリーンルームでの使用も可能である。、保持安定性に優れ、衝撃に強く、ガラス基板にストレスをかけることがない。薄い半導体ウエハの非接触搬送にも多く採用されている。
