ウエハを手操作により非接触にて掴むピンセット
手操作により非接触にてウエハを掴み、搬送する。 きず、汚れ、破損がない。
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基本情報
ピンセットのように手操作により、ウエハに向かって気体を噴出することにより、ウエハを非接触にて吸着し、搬送します。ウエハ、チップ、レンズ等のワークにキズ、汚れを付着させません。
価格情報
-
納期
~ 1週間
用途／実績例
ウエハ、チップ、レンズ、セラミック基板、ガラス基板 化合物半導体、薄厚ウェーハをオフラインで取り扱うためにt手操作によるピンセットです。ウェーハが吐出エアーにてストレスを受けることがございません。
企業情報
当社にて発明、開発した垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）を用いたウエハ、液晶ガラス基板、ＰＤＰ、セラミック、プリント基板、ＦＰＣ基板、フィルム、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。