超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置
◎特長 １．超薄反りウエハ・板状体を非接触にて把持、搬送 ２．ウエハに損傷を与えない ３．汚れを付けない ◎適応 １．反りのあるウエハ ２．GaSaウエハ ３．極薄ウエハ ４．表面処理ウエハ
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基本情報
ＧａＡｓウエハ、超薄ウエハなどの反りのあるウエハを非接触にて搬送します。「超薄反り板状体非接触チャック」は、気体を噴出することによりウエハを非接触にて懸垂保持します。本装置は、新しく開発した気体噴出ノズル、排出部（Pat.Pend．）を採用し反りにあるウエハに非接触搬送を可能にしました。
価格情報
-
納期
~ 1週間
用途／実績例
ＧａＡｓウエハ、極薄ウエハなどの反りのあるウエハを非接触にて搬送します。 「反りのウエハ非接触搬送装置」は、気体を噴出することによりウエハを非接触にて懸垂保持します。本装置は、新しく開発した気体噴出ノズル、排出部（Pat.Pend．）を採用し反りにあるウエハに非接触搬送を可能にしました。
企業情報
当社にて発明、開発した垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）を用いたウエハ、液晶ガラス基板、ＰＤＰ、セラミック、プリント基板、ＦＰＣ基板、フィルム、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。
