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気体垂直気体噴流方式のベルヌーイチャック

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フロートチャックWSA型

最終更新日:2018年08月17日

有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送! ベルヌーイチャック

新機構「気体垂直噴流方式」を採用しております。、気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。「フロートチャック」は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、ワークを空中に浮遊した無接触(非接触)状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜することが可能です。

    ウエハーCVD装置多関節ロボット
P1000792.JPG

気体垂直気体噴流方式のベルヌーイチャック

P1000792.JPG
P1000792.JPG
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基本情報

新機構「気体垂直噴流方式」を採用しております。、気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。 半導体ウエハ、LCD・PDPガラス基板、、ディスク、プリント・セラミック基板、スルーホール基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワークを空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送する。

価格情報

9〜19万円

納期

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※-

用途/実績例

気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。 ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。汚染、損傷、パッド跡の付着がない。半導体ウエハ、LCD・PDPガラス基板、、ディスク、プリント・セラミック基板、スルーホール基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワーク等に対応。 ウエハ、LCD・PDPガラス基板を無接触にて搬送する装置

企業情報

有限会社ソーラーリサーチ研究所

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当社にて発明、開発した垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」(特許)を用いたウエハ、液晶ガラス基板、PDP、セラミック、プリント基板、FPC基板、フィルム、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。

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