オーダメイドの垂直気体噴流方式非接触搬送装置「フロートチャックSAC型」
ベルヌーイ効果・エゼクタ効果・コアンダー効果を持つベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」の新機構を採用したオーダメイドの「ベルヌーイチャック・非接触搬送装置」製作いたします。 新機構:非接触搬送装置「フロ-トチャックSAC型」には吸引力を生じるエゼクタ効果を高めるためにコアンダー効果を付加させました。 ベルヌーイ効果と併せて高効率、気体消費量の少ない非接触搬送装置です 新方式「気流垂直噴流方式」ベルヌーイチャックを採用した非接触搬送装置です。
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基本情報
非接触搬送装置「フロートチャックSA-C(SAN)型」は、ワークに向かって噴出することにより、非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 作動面とワークとの間隙が大きい場合、気体噴出部ノズル、クッション室および作動面とワークとの間隙はそれぞれエゼクターのノズル、真空室およびデフューザの機能をはたします。そのためクッション室には負圧が生じワークを引き寄せることになります。ワークが引き寄せられ作動面との間隙が小さくなると、クッション室は圧力室型エアクッション(ホバークラフト)の機能をはたし、クッション室の圧力は急激に上昇し、ワークを引き離します。このクッション室の均衡した圧力を保つ作動面とワークとの距離を自動的に保持する距離にて、ワークを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。
価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
用途/実績例
下記の非接触搬送装置「フロートチャックSAC型」を製作 ○非接触ハンド(Siウエハ 化合物半導体ウエハ 太陽電池ウエハ inPウエハ他) ○ガラス基板(~10G) ○50μmt ガラス ○ウエハチップ ○レンズ ○非接触ピンセット ○不織布
詳細情報
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8Gガラス基板非接触搬送装置 8Gガラス基板非接触搬送装置
企業情報
当社にて発明、開発した垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」(特許)を用いたウエハ、液晶ガラス基板、PDP、セラミック、プリント基板、FPC基板、フィルム、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。