2Dマッピングシステム - メーカー・企業と製品の一覧

膜厚2Dマッピングシステム　FALCO

薄膜の厚さ分布を高速測定！

FALCO 膜厚2Dマッピングシステムは、おもにガラスや半導体ウェーハ上に形成された薄膜の厚さ分布を高速に、 また高い分解能で測定することのできるシステムです。 条件にもよりますが、数nmの薄膜からμmオーダーの比較的厚い領域（Si 換算）まで、 高い精度で値を確定することができます。

• 企業：オプトシリウス株式会社
• 価格：応相談

• 膜厚計