膜厚2Dマッピングシステム FALCO
薄膜の厚さ分布を高速測定!
FALCO 膜厚2Dマッピングシステムは、おもにガラスや半導体ウェーハ上に形成された薄膜の厚さ分布を高速に、 また高い分解能で測定することのできるシステムです。 条件にもよりますが、数nmの薄膜からμmオーダーの比較的厚い領域(Si 換算)まで、 高い精度で値を確定することができます。
- 企業:オプトシリウス株式会社
- 価格:応相談
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薄膜の厚さ分布を高速測定!
FALCO 膜厚2Dマッピングシステムは、おもにガラスや半導体ウェーハ上に形成された薄膜の厚さ分布を高速に、 また高い分解能で測定することのできるシステムです。 条件にもよりますが、数nmの薄膜からμmオーダーの比較的厚い領域(Si 換算)まで、 高い精度で値を確定することができます。