薄膜の厚さ分布を高速測定！
FALCO 膜厚2Dマッピングシステムは、おもにガラスや半導体ウェーハ上に形成された薄膜の厚さ分布を高速に、 また高い分解能で測定することのできるシステムです。 条件にもよりますが、数nmの薄膜からμmオーダーの比較的厚い領域（Si 換算）まで、 高い精度で値を確定することができます。
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基本情報
分解能: 0.001 nm 精度: NIST準拠ウェハ1000 nm<±1% 再現性: 0.01 nm(アクティブ層)、0.04 nm(BOX層)、3σ(SOIウェハ例) 長期安定性: 0.01 nm (アクティブ層)、0.04nm(BOX層)3σ(平均)(SOIウェハ例) スループット: 60枚/時(300mmウェハ、1mm空間分解能) ※層の種類と空間分解能により異なります。 空間分解能: 最大0.2 mm(300 mmウェハ)
価格帯
納期
用途／実績例
酸化膜、窒化膜ほかSOIなどの各層の厚さ測定 出荷時の全数検査 成膜プロセスのモニタリング・研究開発
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企業情報
オプトシリウスは、分光器や測定器関連製品、光部品の輸入販売する技術商社です。 主要取扱製品は、世界最大級のシェアを誇るオーシャンオプティクス社製小型分光器と、世界標準のラブスフェア社の積分球です。 その他、マルチスペクトルセンサ/マルチスペクトルカメラや、小型で高速データ所得可能な色彩輝度計、マルチモード光ファイバ対応のスイッチ、量子ドットなどの材料、赤外ディテクタなどの光部品を扱っております。 当社が正規輸入代理店として取り扱っているメーカー一覧、および 各メーカー製品の詳細情報は弊社HPからご覧頂けます。