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ALD成膜装置 - 企業1社の製品一覧

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粉体低温(室温)ALD成膜装置 CMP-400

ALDでは難しいと言われている低温(室温)&大気圧中で粉体成膜が可能!

特徴】  ・大気圧中で旋回流を利用した粉体成膜  ・用途に応じた膜厚の制御が可能  ・室温で成膜可能 【応用例】  ・全固体電池用粉体に対するSiO、Al2O3成膜 【成膜のご相談やテスト成膜可能です】  クリエイティブコーティングスでは、テスト成膜やサンプル作成を承っております。  お客様のご要望を聞きし、適した装置、膜種や膜厚のご提案も可能です。  まずはお気軽にご相談ください。 ++++++++++++++++++++++++++++++ 時代と環境が求める次世代の気相技術を提供します。 半導体向け低温(室温)ALD装置と粉体低温(室温)ALD成膜装置の二刀流技術で技術革新に貢献します。

  • プラズマ表面処理装置
  • 表面処理受託サービス
  • その他半導体製造装置

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