【EDSによる分析事例】Cuパッドの接合界面
各元素の分布を2次元的に見ることが可能！多層状の試料の分析の際にも有効な場合があります
Cuパッドの接合界面におけるEDSによる分析事例をご紹介いたします。 金属間化合物の定性分析(点分析)と半定量分析では、各特性X線の強度 (カウント数)を調べることで含有元素の濃度を算出。金属間化合物等は 算出された濃度比により、形成された化合物を推定することが可能です。 また線分析では、SEM画像で指定した線状の各元素の濃度分布をプロファイル することができるため、分析箇所の元素濃度変化を確認できます。 【EDSによる分析の特長】 ■金属間化合物の定性分析(点分析)と半定量分析 ・各特性X線の強度(カウント数)を調べることで含有元素の濃度を算出 ・金属間化合物等は算出された濃度比により、形成された化合物を推定 ■線分析 ・SEM画像で指定した線状の各元素の濃度分布をプロファイルできる ・分析箇所の元素濃度変化を確認することが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社アイテス
- 価格：応相談
